Impact of N₂+H₂ mixture plasma on carbon-containing film

• Опубліковано в: : Вопросы атомной науки и техники
• Дата: 2006
• Автори: Voitsenya, V.S., Masuzaki, S., Motojima, O., Sagara, A., Jacob, W.
• Формат: Стаття
• Мова: English
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
• Теми: Plasma dynamics and plasma wall interaction
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82153
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Impact of N₂+H₂ mixture plasma on carbon-containing film / V.S. Voitsenya, S. Masuzaki, O. Motojima, A. Sagara, W. Jacob // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 6. — С. 141-143. — Бібліогр.: 16 назв. — англ.

The short review is done of published data on impact of plasma produced in the N₂+H₂ mixture on carbon and organic films. It is concluded that such plasma can be much more effective in cleaning of the walls of fusion devices from a carbon-based contaminating deposit in comparison with plasmas of...