Buchumschlag

Plasma and ion beam surface modification at Lawrence Berkeley National Laboratory

Surface processing by metal plasma and ion beams can be effected using the dense metal plasma formed in a vacuum arc discharge embodied either in a “metal plasma immersion” configuration or as a vacuum arc ion source. In the former case the substrate is immersed in the plasma and repetitively pulse-...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2000
1. Verfasser:	Brown, I.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2000
Schlagworte:	Low Temperature Plasma and Plasma Technologies
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82401
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Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Plasma and ion beam surface modification at Lawrence Berkeley National Laboratory / I. Brown // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 3. — С. 133-137. — Бібліогр.: 29 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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