Plasma and ion beam surface modification at Lawrence Berkeley National Laboratory

Surface processing by metal plasma and ion beams can be effected using the dense metal plasma formed in a vacuum arc discharge embodied either in a “metal plasma immersion” configuration or as a vacuum arc ion source. In the former case the substrate is immersed in the plasma and repetitively pulse-...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Вопросы атомной науки и техники
Дата:2000
Автор: Brown, I.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2000
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82401
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Plasma and ion beam surface modification at Lawrence Berkeley National Laboratory / I. Brown // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 3. — С. 133-137. — Бібліогр.: 29 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine