Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере

Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере

Разработана установка для высокодозной имплантации металлических ионов в диапазоне энергий 20…500 кэВ. Использован газомагнетронный источник ионов металлов распылительного типа. Проведено компьютерное моделирование процессов экстракции ионного пучка из плазменной границы источника ионов и его трансп...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Вопросы атомной науки и техники
Дата:2015
Автори: Батурин, В.А., Еремин, С.А., Пустовойтов, С.А., Литвинов, П.А., Карпенко, А.Ю., Мирошниченко, В.И.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2015
Теми:
Диагностика и методы исследований
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82461
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере / В.А. Батурин, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, П.А. Литвинов, А.Ю. Карпенко, В.И. Мирошниченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 2. — С. 204-209. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-82461
record_format dspace
spelling Батурин, В.А.
Еремин, С.А.
Пустовойтов, С.А.
Литвинов, П.А.
Карпенко, А.Ю.
Мирошниченко, В.И.
2015-05-29T18:18:34Z
2015-05-29T18:18:34Z
2015
Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере / В.А. Батурин, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, П.А. Литвинов, А.Ю. Карпенко, В.И. Мирошниченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 2. — С. 204-209. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
1562-6016
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82461
537.534.3:621.384.6
Разработана установка для высокодозной имплантации металлических ионов в диапазоне энергий 20…500 кэВ. Использован газомагнетронный источник ионов металлов распылительного типа. Проведено компьютерное моделирование процессов экстракции ионного пучка из плазменной границы источника ионов и его транспортировки в ионно-оптической системе имплантера. Получены масс-спектры пучков ионов.
Розроблено установку для високодозної імплантації металевих іонів у діапазоні енергій 20…500 кеВ. Використанo газомагнетронне джерело іонів металів розпилювального типу. Проведено комп’ютерне моделювання процесів екстракції іонного пучка з плазмової границі джерела іонів та транспортування пучка в іонно-оптичній системі імплантера. Отримано мас-спектри пучків іонів.
Installation for high-dose implantation of metal ions with energies of 20…500 keV was designed. Gas magnetron metal ion source of sputter type was used. Computer simulation of processes of ion beam extraction from plasma boundary of the ion source and beam transporting in the ion-optic system of the implanter was made. Mass-spectra of ion beams were obtained.
Авторы выражают благодарность В.Е. Сторижко и В.Н. Воеводину за постановку задачи и постоянное внимание к работе. Работа выполнена при поддержке гранта НАН Украины №К-9-69/2013.
ru
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Диагностика и методы исследований
Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере
Генерація та формування пучків металевих іонів на високодозному іонному імплантері
Generation and formation of metal ion beams on high-dose ion implanter
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере
spellingShingle Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере
Батурин, В.А.
Еремин, С.А.
Пустовойтов, С.А.
Литвинов, П.А.
Карпенко, А.Ю.
Мирошниченко, В.И.
Диагностика и методы исследований
title_short Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере
title_full Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере
title_fullStr Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере
title_full_unstemmed Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере
title_sort генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере
author Батурин, В.А.
Еремин, С.А.
Пустовойтов, С.А.
Литвинов, П.А.
Карпенко, А.Ю.
Мирошниченко, В.И.
author_facet Батурин, В.А.
Еремин, С.А.
Пустовойтов, С.А.
Литвинов, П.А.
Карпенко, А.Ю.
Мирошниченко, В.И.
topic Диагностика и методы исследований
topic_facet Диагностика и методы исследований
publishDate 2015
language Russian
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Генерація та формування пучків металевих іонів на високодозному іонному імплантері
Generation and formation of metal ion beams on high-dose ion implanter
description Разработана установка для высокодозной имплантации металлических ионов в диапазоне энергий 20…500 кэВ. Использован газомагнетронный источник ионов металлов распылительного типа. Проведено компьютерное моделирование процессов экстракции ионного пучка из плазменной границы источника ионов и его транспортировки в ионно-оптической системе имплантера. Получены масс-спектры пучков ионов. Розроблено установку для високодозної імплантації металевих іонів у діапазоні енергій 20…500 кеВ. Використанo газомагнетронне джерело іонів металів розпилювального типу. Проведено комп’ютерне моделювання процесів екстракції іонного пучка з плазмової границі джерела іонів та транспортування пучка в іонно-оптичній системі імплантера. Отримано мас-спектри пучків іонів. Installation for high-dose implantation of metal ions with energies of 20…500 keV was designed. Gas magnetron metal ion source of sputter type was used. Computer simulation of processes of ion beam extraction from plasma boundary of the ion source and beam transporting in the ion-optic system of the implanter was made. Mass-spectra of ion beams were obtained.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82461
citation_txt Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере / В.А. Батурин, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, П.А. Литвинов, А.Ю. Карпенко, В.И. Мирошниченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 2. — С. 204-209. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT baturinva generaciâiformirovaniepučkovmetalličeskihionovnavysokodoznomionnomimplantere
AT ereminsa generaciâiformirovaniepučkovmetalličeskihionovnavysokodoznomionnomimplantere
AT pustovoitovsa generaciâiformirovaniepučkovmetalličeskihionovnavysokodoznomionnomimplantere
AT litvinovpa generaciâiformirovaniepučkovmetalličeskihionovnavysokodoznomionnomimplantere
AT karpenkoaû generaciâiformirovaniepučkovmetalličeskihionovnavysokodoznomionnomimplantere
AT mirošničenkovi generaciâiformirovaniepučkovmetalličeskihionovnavysokodoznomionnomimplantere
AT baturinva generacíâtaformuvannâpučkívmetalevihíonívnavisokodoznomuíonnomuímplanterí
AT ereminsa generacíâtaformuvannâpučkívmetalevihíonívnavisokodoznomuíonnomuímplanterí
AT pustovoitovsa generacíâtaformuvannâpučkívmetalevihíonívnavisokodoznomuíonnomuímplanterí
AT litvinovpa generacíâtaformuvannâpučkívmetalevihíonívnavisokodoznomuíonnomuímplanterí
AT karpenkoaû generacíâtaformuvannâpučkívmetalevihíonívnavisokodoznomuíonnomuímplanterí
AT mirošničenkovi generacíâtaformuvannâpučkívmetalevihíonívnavisokodoznomuíonnomuímplanterí
AT baturinva generationandformationofmetalionbeamsonhighdoseionimplanter
AT ereminsa generationandformationofmetalionbeamsonhighdoseionimplanter
AT pustovoitovsa generationandformationofmetalionbeamsonhighdoseionimplanter
AT litvinovpa generationandformationofmetalionbeamsonhighdoseionimplanter
AT karpenkoaû generationandformationofmetalionbeamsonhighdoseionimplanter
AT mirošničenkovi generationandformationofmetalionbeamsonhighdoseionimplanter
first_indexed 2025-12-07T18:03:38Z
last_indexed 2025-12-07T18:03:38Z
_version_ 1850873603276406784

Схожі ресурси