Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере
Разработана установка для высокодозной имплантации металлических ионов в диапазоне энергий 20…500 кэВ. Использован газомагнетронный источник ионов металлов распылительного типа. Проведено компьютерное моделирование процессов экстракции ионного пучка из плазменной границы источника ионов и его трансп...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2015 |
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2015
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82461 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере / В.А. Батурин, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, П.А. Литвинов, А.Ю. Карпенко, В.И. Мирошниченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 2. — С. 204-209. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862716313463422976 |
|---|---|
| author | Батурин, В.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, С.А. Литвинов, П.А. Карпенко, А.Ю. Мирошниченко, В.И. |
| author_facet | Батурин, В.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, С.А. Литвинов, П.А. Карпенко, А.Ю. Мирошниченко, В.И. |
| citation_txt | Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере / В.А. Батурин, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, П.А. Литвинов, А.Ю. Карпенко, В.И. Мирошниченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 2. — С. 204-209. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Разработана установка для высокодозной имплантации металлических ионов в диапазоне энергий 20…500 кэВ. Использован газомагнетронный источник ионов металлов распылительного типа. Проведено компьютерное моделирование процессов экстракции ионного пучка из плазменной границы источника ионов и его транспортировки в ионно-оптической системе имплантера. Получены масс-спектры пучков ионов.
Розроблено установку для високодозної імплантації металевих іонів у діапазоні енергій 20…500 кеВ. Використанo газомагнетронне джерело іонів металів розпилювального типу. Проведено комп’ютерне моделювання процесів екстракції іонного пучка з плазмової границі джерела іонів та транспортування пучка в іонно-оптичній системі імплантера. Отримано мас-спектри пучків іонів.
Installation for high-dose implantation of metal ions with energies of 20…500 keV was designed. Gas magnetron metal ion source of sputter type was used. Computer simulation of processes of ion beam extraction from plasma boundary of the ion source and beam transporting in the ion-optic system of the implanter was made. Mass-spectra of ion beams were obtained.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:03:38Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-82461 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:03:38Z |
| publishDate | 2015 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Батурин, В.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, С.А. Литвинов, П.А. Карпенко, А.Ю. Мирошниченко, В.И. 2015-05-29T18:18:34Z 2015-05-29T18:18:34Z 2015 Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере / В.А. Батурин, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, П.А. Литвинов, А.Ю. Карпенко, В.И. Мирошниченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 2. — С. 204-209. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82461 537.534.3:621.384.6 Разработана установка для высокодозной имплантации металлических ионов в диапазоне энергий 20…500 кэВ. Использован газомагнетронный источник ионов металлов распылительного типа. Проведено компьютерное моделирование процессов экстракции ионного пучка из плазменной границы источника ионов и его транспортировки в ионно-оптической системе имплантера. Получены масс-спектры пучков ионов. Розроблено установку для високодозної імплантації металевих іонів у діапазоні енергій 20…500 кеВ. Використанo газомагнетронне джерело іонів металів розпилювального типу. Проведено комп’ютерне моделювання процесів екстракції іонного пучка з плазмової границі джерела іонів та транспортування пучка в іонно-оптичній системі імплантера. Отримано мас-спектри пучків іонів. Installation for high-dose implantation of metal ions with energies of 20…500 keV was designed. Gas magnetron metal ion source of sputter type was used. Computer simulation of processes of ion beam extraction from plasma boundary of the ion source and beam transporting in the ion-optic system of the implanter was made. Mass-spectra of ion beams were obtained. Авторы выражают благодарность В.Е. Сторижко 
 и В.Н. Воеводину за постановку задачи и 
 постоянное внимание к работе.
 Работа выполнена при поддержке гранта НАН 
 Украины №К-9-69/2013. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Диагностика и методы исследований Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере Генерація та формування пучків металевих іонів на високодозному іонному імплантері Generation and formation of metal ion beams on high-dose ion implanter Article published earlier |
| spellingShingle | Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере Батурин, В.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, С.А. Литвинов, П.А. Карпенко, А.Ю. Мирошниченко, В.И. Диагностика и методы исследований |
| title | Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере |
| title_alt | Генерація та формування пучків металевих іонів на високодозному іонному імплантері Generation and formation of metal ion beams on high-dose ion implanter |
| title_full | Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере |
| title_fullStr | Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере |
| title_full_unstemmed | Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере |
| title_short | Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере |
| title_sort | генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере |
| topic | Диагностика и методы исследований |
| topic_facet | Диагностика и методы исследований |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82461 |
| work_keys_str_mv | AT baturinva generaciâiformirovaniepučkovmetalličeskihionovnavysokodoznomionnomimplantere AT ereminsa generaciâiformirovaniepučkovmetalličeskihionovnavysokodoznomionnomimplantere AT pustovoitovsa generaciâiformirovaniepučkovmetalličeskihionovnavysokodoznomionnomimplantere AT litvinovpa generaciâiformirovaniepučkovmetalličeskihionovnavysokodoznomionnomimplantere AT karpenkoaû generaciâiformirovaniepučkovmetalličeskihionovnavysokodoznomionnomimplantere AT mirošničenkovi generaciâiformirovaniepučkovmetalličeskihionovnavysokodoznomionnomimplantere AT baturinva generacíâtaformuvannâpučkívmetalevihíonívnavisokodoznomuíonnomuímplanterí AT ereminsa generacíâtaformuvannâpučkívmetalevihíonívnavisokodoznomuíonnomuímplanterí AT pustovoitovsa generacíâtaformuvannâpučkívmetalevihíonívnavisokodoznomuíonnomuímplanterí AT litvinovpa generacíâtaformuvannâpučkívmetalevihíonívnavisokodoznomuíonnomuímplanterí AT karpenkoaû generacíâtaformuvannâpučkívmetalevihíonívnavisokodoznomuíonnomuímplanterí AT mirošničenkovi generacíâtaformuvannâpučkívmetalevihíonívnavisokodoznomuíonnomuímplanterí AT baturinva generationandformationofmetalionbeamsonhighdoseionimplanter AT ereminsa generationandformationofmetalionbeamsonhighdoseionimplanter AT pustovoitovsa generationandformationofmetalionbeamsonhighdoseionimplanter AT litvinovpa generationandformationofmetalionbeamsonhighdoseionimplanter AT karpenkoaû generationandformationofmetalionbeamsonhighdoseionimplanter AT mirošničenkovi generationandformationofmetalionbeamsonhighdoseionimplanter |