Зображення обкладинки

Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере

Разработана установка для высокодозной имплантации металлических ионов в диапазоне энергий 20…500 кэВ. Использован газомагнетронный источник ионов металлов распылительного типа. Проведено компьютерное моделирование процессов экстракции ионного пучка из плазменной границы источника ионов и его трансп...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2015
Автори:	Батурин, В.А., Еремин, С.А., Пустовойтов, С.А., Литвинов, П.А., Карпенко, А.Ю., Мирошниченко, В.И.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2015
Теми:	Диагностика и методы исследований
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/82461
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере / В.А. Батурин, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, П.А. Литвинов, А.Ю. Карпенко, В.И. Мирошниченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 2. — С. 204-209. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Экспериментальная установка для получения кластерных пучков
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Программа для численного моделирования системы извлечения ионного пучка в плазменном источнике ионов
за авторством: Пустовойтов, С.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Новые разработки ВЧ-фокусировки пучков ионов
за авторством: Бомко, В.А., та інші
Опубліковано: (2003)

Формирование приповерхностных слоев при низкоэнергетичном высокодозном ионно-плазменном облучении поверхности меди
за авторством: Сафонов, В.И., та інші
Опубліковано: (2000)

Формирование пучков тяжелых ионов в начальной части ускоряющей структуры предобдирочной секции линейного ускорителя Лумзи
за авторством: Бомко, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2007)

Количественное определение прочности сцепления тонких металлических пленок со стеклом
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Источник ионов для установки ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2
за авторством: Марченко, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Ускоритель совмещенных пучков тяжелых и легких ионов
за авторством: Ильенко, Б.П., та інші
Опубліковано: (2008)

Экспериментальный комплекс для изучения деформации материалов под пучком ионов азота
за авторством: Бомко, В.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Первичные характеристики пучка источника многозарядных ионов для ЭСУ «Сокол»
за авторством: Глазунов, Л.С., та інші
Опубліковано: (2010)

Автоматизированный гониометр для исследования местоположения примесных атомов в монокристаллах методом каналирования ионов
за авторством: Внученко, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Масс-спектрометр вторичных нейтралей на базе ионного имплантера
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Образование кубического нитрида бора в термоупругих пиках ионов B⁺ при ионном осаждении покрытий
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2009)

Разогрев пучков металлических углеродных нанотрубок в режиме проводимости жидкости Латтинжера
за авторством: Данильченко, Б.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Экспериментальное исследование автоэмиссионного способа получения пучков высокозарядных ионов
за авторством: Иванов, Б.И., та інші
Опубліковано: (2012)

Моделирование интеллектуального управления кристаллизацией металлических расплавов
за авторством: Кривонос, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2009)

Генерация второй СВЧ гармоники и МК спектроскопия металлических стекол Ni-Nb
за авторством: Балкашин, О.П., та інші
Опубліковано: (2001)

Источник монохроматического рентгеновского излучения на основе двухступенчатого вторичного излучателя
за авторством: Мамалуй, А.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Формирование ценностных ориентиров российской библиотеки в контексте реалий современного общества
за авторством: Вихрева, Г.М.
Опубліковано: (2008)

Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Определение содержания легких элементов по совмещенным спектрам рентгеновской флуоресценции и дифракции
за авторством: Михайлов, И.Ф., та інші
Опубліковано: (2013)

Ускоряющая структура с пространственно-однородной квадрупольной фокусировкой (ПОКФ) для ускорения пучков тяжелых ионов
за авторством: Бомко, В.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Морфоструктурные особенности морского дна на участках газопроявлений в северо-западной части Черного моря
за авторством: Пасынков, А.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Нагрев ионов и управление процессом их нагрева в сепарационных устройствах с помощью электронных пучков
за авторством: Скибенко, Е.И., та інші
Опубліковано: (2010)

Двойникование в фуллеритовых пленках при ионном облучении аргоном
за авторством: Бажин, А.И., та інші
Опубліковано: (2011)

Структурно-фазовые превращения в поверхностных слоях и свойства металлических материалов после импульсного воздействия пучков частиц
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2003)

Формирование интенсивных электронных пучков в протяженном плазменном диоде с металлогидридным инжектором предварительной плазмы
за авторством: Целуйко, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2003)

Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Особенности применения металлогидридного катода в пеннинговском ионном источнике
за авторством: Середа, И.Н., та інші
Опубліковано: (2008)

Экспериментальная установка для анализа вторичных нейтральных частиц
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Ингибирование разряда металлических ионов на ртутном электроде алифатическими и ароматическими альдегидами
за авторством: Лошкарев, М.А., та інші
Опубліковано: (1984)

Количественные показатели зоопланктона Куршского залива при разных способах отбора проб
за авторством: Семенова, А.С.
Опубліковано: (2011)

Особенности диагностики функционального состояния одноклеточных водорослей в жидких средах люминесцентными методами
за авторством: Вакуленко, О.В., та інші
Опубліковано: (2013)

Метод прижизненной морфометрии ядерных эритроцитов рыб
за авторством: Андреева, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2012)

Ультразвуковые исследования остаточных макронапряжений в стали 15Х2НМФА после одноосного сжатия
за авторством: Запорожец, О.И., та інші
Опубліковано: (2015)

Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2002)

Методические особенности пробоподготовки взвешенных веществ и донных отложений
за авторством: Жежеря, В.А., та інші
Опубліковано: (2015)

Н.Н. Мурзакевич и античное нумизматическое собрание Одесского общества истории и древностей
за авторством: Булатович, С.А.
Опубліковано: (2011)

Разработка сверхпроводящих магнитных линз для фокусировки пучков легких ионов с энергией порядка 10 МэВ
за авторством: Бутенко, В.И., та інші
Опубліковано: (2008)