Magnetron with a concave hemispherical cathode
A magnetron set up with a hemispherical concave cathode has been worked out for the first time. The cathode center of curvature was registered with the sputtered surface. An aluminum nitride film was sputtered by this magnetron in the pulse regime. The pulse duration was about 2 ms. The film thick...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2009 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/88319 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Magnetron with a concave hemispherical cathode / B.V. Stetsenko, A.I. Shchurenko, Yu.G. Zavyalov // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 1. — С. 134-135. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-88319 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Stetsenko, B.V. Shchurenko, A.I. Zavyalov, Yu.G. 2015-11-11T19:59:58Z 2015-11-11T19:59:58Z 2009 Magnetron with a concave hemispherical cathode / B.V. Stetsenko, A.I. Shchurenko, Yu.G. Zavyalov // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 1. — С. 134-135. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 85.45.Db;85.45.Fd https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/88319 A magnetron set up with a hemispherical concave cathode has been worked out for the first time. The cathode center of curvature was registered with the sputtered surface. An aluminum nitride film was sputtered by this magnetron in the pulse regime. The pulse duration was about 2 ms. The film thickness was between 10 to 12 nm. The sputtering rate was about 50 nm/s. The magnetron characteristics agree with a qualitative model of the magnetron. Вперше створено модель магнетрону з напівсферичним катодом, що увігнутий у бік поверхні, на яку проводиться напорошення. В імпульсному режимі напорошена плівка нітриду алюминию, товщина якої в центрі запорошеної області дорівнює 10 нм, а поблизу края катоду – 12 нм. Швидкість запорошення − 50 нм/с. Характеристики магнетрону якісно відповідають модельним розрахункам. Впервые создана модель магнетрона с полусферическим катодом, вогнутым в сторону напыляемой поверхности. В импульсном режиме напылена плёнка нитрида алюминия, толщина которой в центре запыленной площадки равна 10 нм, а вблизи края катода − 12 нм. Скорость напыления − 50 нм/c. Характеристики магнетрона качественно соответствуют модельным расчётам. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Magnetron with a concave hemispherical cathode Магнетрон з увігнутим напівсферичним катодом Магнетрон с вогнутым полусферическим катодом Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Magnetron with a concave hemispherical cathode |
| spellingShingle |
Magnetron with a concave hemispherical cathode Stetsenko, B.V. Shchurenko, A.I. Zavyalov, Yu.G. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title_short |
Magnetron with a concave hemispherical cathode |
| title_full |
Magnetron with a concave hemispherical cathode |
| title_fullStr |
Magnetron with a concave hemispherical cathode |
| title_full_unstemmed |
Magnetron with a concave hemispherical cathode |
| title_sort |
magnetron with a concave hemispherical cathode |
| author |
Stetsenko, B.V. Shchurenko, A.I. Zavyalov, Yu.G. |
| author_facet |
Stetsenko, B.V. Shchurenko, A.I. Zavyalov, Yu.G. |
| topic |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| publishDate |
2009 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Магнетрон з увігнутим напівсферичним катодом Магнетрон с вогнутым полусферическим катодом |
| description |
A magnetron set up with a hemispherical concave cathode has been worked out for the first time. The cathode
center of curvature was registered with the sputtered surface. An aluminum nitride film was sputtered by this magnetron
in the pulse regime. The pulse duration was about 2 ms. The film thickness was between 10 to 12 nm. The sputtering
rate was about 50 nm/s. The magnetron characteristics agree with a qualitative model of the magnetron.
Вперше створено модель магнетрону з напівсферичним катодом, що увігнутий у бік поверхні, на яку
проводиться напорошення. В імпульсному режимі напорошена плівка нітриду алюминию, товщина якої в
центрі запорошеної області дорівнює 10 нм, а поблизу края катоду – 12 нм. Швидкість запорошення − 50 нм/с.
Характеристики магнетрону якісно відповідають модельним розрахункам.
Впервые создана модель магнетрона с полусферическим катодом, вогнутым в сторону напыляемой
поверхности. В импульсном режиме напылена плёнка нитрида алюминия, толщина которой в центре
запыленной площадки равна 10 нм, а вблизи края катода − 12 нм. Скорость напыления − 50 нм/c.
Характеристики магнетрона качественно соответствуют модельным расчётам.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/88319 |
| citation_txt |
Magnetron with a concave hemispherical cathode / B.V. Stetsenko, A.I. Shchurenko, Yu.G. Zavyalov // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 1. — С. 134-135. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT stetsenkobv magnetronwithaconcavehemisphericalcathode AT shchurenkoai magnetronwithaconcavehemisphericalcathode AT zavyalovyug magnetronwithaconcavehemisphericalcathode AT stetsenkobv magnetronzuvígnutimnapívsferičnimkatodom AT shchurenkoai magnetronzuvígnutimnapívsferičnimkatodom AT zavyalovyug magnetronzuvígnutimnapívsferičnimkatodom AT stetsenkobv magnetronsvognutympolusferičeskimkatodom AT shchurenkoai magnetronsvognutympolusferičeskimkatodom AT zavyalovyug magnetronsvognutympolusferičeskimkatodom |
| first_indexed |
2025-12-07T20:13:52Z |
| last_indexed |
2025-12-07T20:13:52Z |
| _version_ |
1850881796496949248 |