Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz multicusp ion source
A 4.7 cm diameter and 8 cm long 27.12 MHz radio-frequency (RF) inductively coupled multicusp ion source has
 been designed for ion beam applications. Ion energy distribution functions (IED) of the extracted helium and argon ion
 beams were measured by use of a retarding field energy...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2009 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2009
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/88321 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz
 multicusp ion source / V.I. Voznyi, V.I. Miroshnichenko, S.N. Mordyk, V.E. Storizhko, D.P. Shulha // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 1. — С. 142-144. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862745526321020928 |
|---|---|
| author | Voznyi, V.I. Miroshnichenko, V.I. Mordyk, S.N. Storizhko, V.E. Shulha, D.P. |
| author_facet | Voznyi, V.I. Miroshnichenko, V.I. Mordyk, S.N. Storizhko, V.E. Shulha, D.P. |
| citation_txt | Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz
 multicusp ion source / V.I. Voznyi, V.I. Miroshnichenko, S.N. Mordyk, V.E. Storizhko, D.P. Shulha // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 1. — С. 142-144. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | A 4.7 cm diameter and 8 cm long 27.12 MHz radio-frequency (RF) inductively coupled multicusp ion source has
been designed for ion beam applications. Ion energy distribution functions (IED) of the extracted helium and argon ion
beams were measured by use of a retarding field energy analyzer. Influence of the RF power, gas pressure and the
extraction voltage on the ion energy spread of the beam is described. The ion energy spread is found to be 7 eV for
helium beam at 200 W RF power and gas pressure of 5 mTorr.
Розроблено 27,12 МГц мультикаспове ВЧ- іонне джерело діаметром 4,7 см і завдовжки 8 см для іонно-
пучкових застосувань. Обмірювано функції розподілу іонів з енергії (ФРІЕ) витягнутого гелієвого та
аргонового пучків за допомогою енергоаналізатора із затримуючим полем. Розглянуто вплив ВЧ- потужності,
тиску газу та витягаючої напруги на енергетичний розкид іонів пучка. Мінімальний енергетичний розкид іонів
гелієвого пучка дорівнює 7 еВ при 200 Вт ВЧ- потужності та 5 мТорр тиску газу.
Разработан 27,12 МГц- мультикасповый ВЧ- ионный источник диаметром 4,7 см и длиной 8 см для ионно-
пучковых приложений. Измерены функции распределения ионов по энергии (ФРИЭ) извлеченного гелиевого и
аргонового пучков с помощью энергоанализатора с задерживающим полем. Рассмотрено влияние ВЧ-
мощности, давления газа и вытягивающего напряжения на энергетический разброс ионов пучка. Минимальный
энергетический разброс ионов гелиевого пучка равен 7 эВ при 200 Вт ВЧ- мощности и 5 мТорр давления газа.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:41:05Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-88321 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T20:41:05Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Voznyi, V.I. Miroshnichenko, V.I. Mordyk, S.N. Storizhko, V.E. Shulha, D.P. 2015-11-11T20:01:25Z 2015-11-11T20:01:25Z 2009 Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz
 multicusp ion source / V.I. Voznyi, V.I. Miroshnichenko, S.N. Mordyk, V.E. Storizhko, D.P. Shulha // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 1. — С. 142-144. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.70.Gw, 52.50.Dg https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/88321 A 4.7 cm diameter and 8 cm long 27.12 MHz radio-frequency (RF) inductively coupled multicusp ion source has
 been designed for ion beam applications. Ion energy distribution functions (IED) of the extracted helium and argon ion
 beams were measured by use of a retarding field energy analyzer. Influence of the RF power, gas pressure and the
 extraction voltage on the ion energy spread of the beam is described. The ion energy spread is found to be 7 eV for
 helium beam at 200 W RF power and gas pressure of 5 mTorr. Розроблено 27,12 МГц мультикаспове ВЧ- іонне джерело діаметром 4,7 см і завдовжки 8 см для іонно-
 пучкових застосувань. Обмірювано функції розподілу іонів з енергії (ФРІЕ) витягнутого гелієвого та
 аргонового пучків за допомогою енергоаналізатора із затримуючим полем. Розглянуто вплив ВЧ- потужності,
 тиску газу та витягаючої напруги на енергетичний розкид іонів пучка. Мінімальний енергетичний розкид іонів
 гелієвого пучка дорівнює 7 еВ при 200 Вт ВЧ- потужності та 5 мТорр тиску газу. Разработан 27,12 МГц- мультикасповый ВЧ- ионный источник диаметром 4,7 см и длиной 8 см для ионно-
 пучковых приложений. Измерены функции распределения ионов по энергии (ФРИЭ) извлеченного гелиевого и
 аргонового пучков с помощью энергоанализатора с задерживающим полем. Рассмотрено влияние ВЧ-
 мощности, давления газа и вытягивающего напряжения на энергетический разброс ионов пучка. Минимальный
 энергетический разброс ионов гелиевого пучка равен 7 эВ при 200 Вт ВЧ- мощности и 5 мТорр давления газа. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz multicusp ion source Вимірювання аксіального розкиду іонів з енергії 27,12 МГц мультикаспового іонного джерела Измерения аксиального разброса ионов по энергии 27,12 МГц мультикаспового ионного источника Article published earlier |
| spellingShingle | Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz multicusp ion source Voznyi, V.I. Miroshnichenko, V.I. Mordyk, S.N. Storizhko, V.E. Shulha, D.P. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title | Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz multicusp ion source |
| title_alt | Вимірювання аксіального розкиду іонів з енергії 27,12 МГц мультикаспового іонного джерела Измерения аксиального разброса ионов по энергии 27,12 МГц мультикаспового ионного источника |
| title_full | Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz multicusp ion source |
| title_fullStr | Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz multicusp ion source |
| title_full_unstemmed | Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz multicusp ion source |
| title_short | Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz multicusp ion source |
| title_sort | axial energy spread measurements of a 27.12 mhz multicusp ion source |
| topic | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/88321 |
| work_keys_str_mv | AT voznyivi axialenergyspreadmeasurementsofa2712mhzmulticuspionsource AT miroshnichenkovi axialenergyspreadmeasurementsofa2712mhzmulticuspionsource AT mordyksn axialenergyspreadmeasurementsofa2712mhzmulticuspionsource AT storizhkove axialenergyspreadmeasurementsofa2712mhzmulticuspionsource AT shulhadp axialenergyspreadmeasurementsofa2712mhzmulticuspionsource AT voznyivi vimírûvannâaksíalʹnogorozkiduíonívzenergíí2712mgcmulʹtikaspovogoíonnogodžerela AT miroshnichenkovi vimírûvannâaksíalʹnogorozkiduíonívzenergíí2712mgcmulʹtikaspovogoíonnogodžerela AT mordyksn vimírûvannâaksíalʹnogorozkiduíonívzenergíí2712mgcmulʹtikaspovogoíonnogodžerela AT storizhkove vimírûvannâaksíalʹnogorozkiduíonívzenergíí2712mgcmulʹtikaspovogoíonnogodžerela AT shulhadp vimírûvannâaksíalʹnogorozkiduíonívzenergíí2712mgcmulʹtikaspovogoíonnogodžerela AT voznyivi izmereniâaksialʹnogorazbrosaionovpoénergii2712mgcmulʹtikaspovogoionnogoistočnika AT miroshnichenkovi izmereniâaksialʹnogorazbrosaionovpoénergii2712mgcmulʹtikaspovogoionnogoistočnika AT mordyksn izmereniâaksialʹnogorazbrosaionovpoénergii2712mgcmulʹtikaspovogoionnogoistočnika AT storizhkove izmereniâaksialʹnogorazbrosaionovpoénergii2712mgcmulʹtikaspovogoionnogoistočnika AT shulhadp izmereniâaksialʹnogorazbrosaionovpoénergii2712mgcmulʹtikaspovogoionnogoistočnika |