Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz multicusp ion source
A 4.7 cm diameter and 8 cm long 27.12 MHz radio-frequency (RF) inductively coupled multicusp ion source has been designed for ion beam applications. Ion energy distribution functions (IED) of the extracted helium and argon ion beams were measured by use of a retarding field energy analyzer. Influe...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2009 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/88321 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz multicusp ion source / V.I. Voznyi, V.I. Miroshnichenko, S.N. Mordyk, V.E. Storizhko, D.P. Shulha // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 1. — С. 142-144. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-88321 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Voznyi, V.I. Miroshnichenko, V.I. Mordyk, S.N. Storizhko, V.E. Shulha, D.P. 2015-11-11T20:01:25Z 2015-11-11T20:01:25Z 2009 Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz multicusp ion source / V.I. Voznyi, V.I. Miroshnichenko, S.N. Mordyk, V.E. Storizhko, D.P. Shulha // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 1. — С. 142-144. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.70.Gw, 52.50.Dg https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/88321 A 4.7 cm diameter and 8 cm long 27.12 MHz radio-frequency (RF) inductively coupled multicusp ion source has been designed for ion beam applications. Ion energy distribution functions (IED) of the extracted helium and argon ion beams were measured by use of a retarding field energy analyzer. Influence of the RF power, gas pressure and the extraction voltage on the ion energy spread of the beam is described. The ion energy spread is found to be 7 eV for helium beam at 200 W RF power and gas pressure of 5 mTorr. Розроблено 27,12 МГц мультикаспове ВЧ- іонне джерело діаметром 4,7 см і завдовжки 8 см для іонно- пучкових застосувань. Обмірювано функції розподілу іонів з енергії (ФРІЕ) витягнутого гелієвого та аргонового пучків за допомогою енергоаналізатора із затримуючим полем. Розглянуто вплив ВЧ- потужності, тиску газу та витягаючої напруги на енергетичний розкид іонів пучка. Мінімальний енергетичний розкид іонів гелієвого пучка дорівнює 7 еВ при 200 Вт ВЧ- потужності та 5 мТорр тиску газу. Разработан 27,12 МГц- мультикасповый ВЧ- ионный источник диаметром 4,7 см и длиной 8 см для ионно- пучковых приложений. Измерены функции распределения ионов по энергии (ФРИЭ) извлеченного гелиевого и аргонового пучков с помощью энергоанализатора с задерживающим полем. Рассмотрено влияние ВЧ- мощности, давления газа и вытягивающего напряжения на энергетический разброс ионов пучка. Минимальный энергетический разброс ионов гелиевого пучка равен 7 эВ при 200 Вт ВЧ- мощности и 5 мТорр давления газа. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz multicusp ion source Вимірювання аксіального розкиду іонів з енергії 27,12 МГц мультикаспового іонного джерела Измерения аксиального разброса ионов по энергии 27,12 МГц мультикаспового ионного источника Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz multicusp ion source |
| spellingShingle |
Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz multicusp ion source Voznyi, V.I. Miroshnichenko, V.I. Mordyk, S.N. Storizhko, V.E. Shulha, D.P. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title_short |
Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz multicusp ion source |
| title_full |
Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz multicusp ion source |
| title_fullStr |
Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz multicusp ion source |
| title_full_unstemmed |
Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz multicusp ion source |
| title_sort |
axial energy spread measurements of a 27.12 mhz multicusp ion source |
| author |
Voznyi, V.I. Miroshnichenko, V.I. Mordyk, S.N. Storizhko, V.E. Shulha, D.P. |
| author_facet |
Voznyi, V.I. Miroshnichenko, V.I. Mordyk, S.N. Storizhko, V.E. Shulha, D.P. |
| topic |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| publishDate |
2009 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Вимірювання аксіального розкиду іонів з енергії 27,12 МГц мультикаспового іонного джерела Измерения аксиального разброса ионов по энергии 27,12 МГц мультикаспового ионного источника |
| description |
A 4.7 cm diameter and 8 cm long 27.12 MHz radio-frequency (RF) inductively coupled multicusp ion source has
been designed for ion beam applications. Ion energy distribution functions (IED) of the extracted helium and argon ion
beams were measured by use of a retarding field energy analyzer. Influence of the RF power, gas pressure and the
extraction voltage on the ion energy spread of the beam is described. The ion energy spread is found to be 7 eV for
helium beam at 200 W RF power and gas pressure of 5 mTorr.
Розроблено 27,12 МГц мультикаспове ВЧ- іонне джерело діаметром 4,7 см і завдовжки 8 см для іонно-
пучкових застосувань. Обмірювано функції розподілу іонів з енергії (ФРІЕ) витягнутого гелієвого та
аргонового пучків за допомогою енергоаналізатора із затримуючим полем. Розглянуто вплив ВЧ- потужності,
тиску газу та витягаючої напруги на енергетичний розкид іонів пучка. Мінімальний енергетичний розкид іонів
гелієвого пучка дорівнює 7 еВ при 200 Вт ВЧ- потужності та 5 мТорр тиску газу.
Разработан 27,12 МГц- мультикасповый ВЧ- ионный источник диаметром 4,7 см и длиной 8 см для ионно-
пучковых приложений. Измерены функции распределения ионов по энергии (ФРИЭ) извлеченного гелиевого и
аргонового пучков с помощью энергоанализатора с задерживающим полем. Рассмотрено влияние ВЧ-
мощности, давления газа и вытягивающего напряжения на энергетический разброс ионов пучка. Минимальный
энергетический разброс ионов гелиевого пучка равен 7 эВ при 200 Вт ВЧ- мощности и 5 мТорр давления газа.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/88321 |
| citation_txt |
Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz multicusp ion source / V.I. Voznyi, V.I. Miroshnichenko, S.N. Mordyk, V.E. Storizhko, D.P. Shulha // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 1. — С. 142-144. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT voznyivi axialenergyspreadmeasurementsofa2712mhzmulticuspionsource AT miroshnichenkovi axialenergyspreadmeasurementsofa2712mhzmulticuspionsource AT mordyksn axialenergyspreadmeasurementsofa2712mhzmulticuspionsource AT storizhkove axialenergyspreadmeasurementsofa2712mhzmulticuspionsource AT shulhadp axialenergyspreadmeasurementsofa2712mhzmulticuspionsource AT voznyivi vimírûvannâaksíalʹnogorozkiduíonívzenergíí2712mgcmulʹtikaspovogoíonnogodžerela AT miroshnichenkovi vimírûvannâaksíalʹnogorozkiduíonívzenergíí2712mgcmulʹtikaspovogoíonnogodžerela AT mordyksn vimírûvannâaksíalʹnogorozkiduíonívzenergíí2712mgcmulʹtikaspovogoíonnogodžerela AT storizhkove vimírûvannâaksíalʹnogorozkiduíonívzenergíí2712mgcmulʹtikaspovogoíonnogodžerela AT shulhadp vimírûvannâaksíalʹnogorozkiduíonívzenergíí2712mgcmulʹtikaspovogoíonnogodžerela AT voznyivi izmereniâaksialʹnogorazbrosaionovpoénergii2712mgcmulʹtikaspovogoionnogoistočnika AT miroshnichenkovi izmereniâaksialʹnogorazbrosaionovpoénergii2712mgcmulʹtikaspovogoionnogoistočnika AT mordyksn izmereniâaksialʹnogorazbrosaionovpoénergii2712mgcmulʹtikaspovogoionnogoistočnika AT storizhkove izmereniâaksialʹnogorazbrosaionovpoénergii2712mgcmulʹtikaspovogoionnogoistočnika AT shulhadp izmereniâaksialʹnogorazbrosaionovpoénergii2712mgcmulʹtikaspovogoionnogoistočnika |
| first_indexed |
2025-12-07T20:41:05Z |
| last_indexed |
2025-12-07T20:41:05Z |
| _version_ |
1850883509574434816 |