Фазообразование в нанокристаллических покрытиях состава Mo₂N, полученных вакуумно–дуговым осаждением молибдена в присутствии азота
Исследован фазовый состав нанокристаллических нитридных покрытий, полученных вакуумно-дуговым осаждением молибдена в присутствии азота. Обнаружено, что вакуумно-дуговое осаждение высокочистого молибдена в присутствии азота при давлении в диапазоне 0,14…0,18 Па приводит к образованию покрытий н...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2009 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90788 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Фазообразование в нанокристаллических покрытиях состава Mo₂N, полученных вакуумно–дуговым осаждением молибдена в присутствии азота / В.М. Шулаев , О.В. Соболь , А.А. Андреев , И.М. Неклюдов , В.А. Столбовой // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 6. — С. 262-267. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |