Фазообразование в нанокристаллических покрытиях состава Mo₂N, полученных вакуумно–дуговым осаждением молибдена в присутствии азота

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2009
• Main Authors: Шулаев, В.М., Соболь, О.В., Андреев, А.А., Неклюдов, И.М., Столбовой, В.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2009
• Subjects: Физика и технология конструкционных материалов
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90788
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Фазообразование в нанокристаллических покрытиях состава Mo₂N, полученных вакуумно–дуговым осаждением молибдена в присутствии азота / В.М. Шулаев , О.В. Соболь , А.А. Андреев , И.М. Неклюдов , В.А. Столбовой // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 6. — С. 262-267. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Исследован фазовый состав нанокристаллических нитридных покрытий, полученных вакуумно-дуговым
 осаждением молибдена в присутствии азота. Обнаружено, что вакуумно-дуговое осаждение высокочистого
 молибдена в присутствии азота при давлении в диапазоне 0,14…0,18 Па приводит к образова...