Buchumschlag

Ion beam system for nanotrimming of functional microelectronics layers

This paper concerns with investigation of the trimming process which uses ion beam etching for high-precision adjustment of the thickness of functional microelectronics layers. The layer deposited on the substrate is etched by scanning focused ion beam; its position and power is re...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2011
Hauptverfasser:	Bizyukov, A.A., Bizyukov, I.A., Girka, O.I., Sereda, K.N., Sleptsov, V.V., Gutkin, M., Mishin, S.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
Schlagworte:	Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90892
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Ion beam system for nanotrimming of functional microelectronics layers / A.A. Bizyukov, I.A. Bizyukov, O.I. Girka, K.N. Sereda, V.V. Sleptsov, M. Gutkin, S. Mishin // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 110-112. — Бібліогр.: 3 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Phase states of macroparticles under interaction of keV ion beam with dusty plasma
von: Bizyukov, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field
von: Bizyukov, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Charging processes of metal macroparticles in the low-temperature plasma at presence of high-energy electron beam
von: Bizyukov, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Particle charging in beam-plasma systems
von: Bizyukov, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)

High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge
von: Bizyukov, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Capture and transport of macroparticles in curved plasma duct at low magnetic field in the presence of an electron beam
von: Bizyukov, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating
von: Chunadra, A.G., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Charging of macroparticles in a high-voltage vacuum arc sheath
von: Bizyukov, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Decay of liquid metallic macroparticles in plasma-beam systems due to rayleigh instability
von: Bizyukov, A.A, et al.
Veröffentlicht: (2017)

Features of electron beam evaporation under surface electron beam formation
von: Mysiura, I.N., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Design and research of combined magnetron-ion-beam sputtering system
von: Dudin, S., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Effect of the parameters of a gas-discharge plasma on the equilibrium temperature and floating potential of macroparticle
von: Bizyukov, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2012)

The size effect and x-ray fluorescenc spectra of metallic nanoparticles
von: Kolyada, Yu.E., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Longitudinal extraction of H⁻ ions from Penning discharge with metal-hydride cathode
von: Sereda, I.N., et al.
Veröffentlicht: (2017)

The capacitive component of double layer current in plasma
von: Hrechko, Ya.O., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Effect of the external magnetic field on the dynamics and power of the self-sustained plasma-beam discharge
von: Hrechko, Ya.O., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Mass-separation of impurities in the ion beam systems with reversed magnetic beam focusing
von: Girka, O.I., et al.
Veröffentlicht: (2012)

About influence of energy of electrons and ions on speed of electron- and ion-stimulated plasmachemical etching of silicon
von: Fedorovich, O.A., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
von: Chunadra, А.G., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Influence of increased sliding speed on the structure and properties of piston rings with ion-plasma coating
von: Skoblo, T.S., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Intrinsic stresses in multi-component nitride coatings produced by plasma immersion ion implantation
von: Kalinichenko, A.I., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Behavior of molybdenum target in condition of irradiation by the high current relativistic electron beam
von: Donets, S.E., et al.
Veröffentlicht: (2018)

The forming system simulation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage
von: Martynenko, P.A.
Veröffentlicht: (2017)

Excitation of self-sustained secondary emission by gas discharge and hollow beam generation in magnetron injection gun
von: Cherenshchykov, S.A., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Ion energy distribution and basic characteristics of plasma flows of nonself-sustained arc discharge
von: Borisenko, A.G., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Axial energy spread measurements of a 27.12 MHz multicusp ion source
von: Voznyi, V.I., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Electrolysite-plasma smoothing of relief on targets modified by a high-current relativistic electron beam
von: Starovoytov, R.I., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Influence of negative ions on atomic oxygen production in a hollow cathode discharge in O₂/Ar mixture
von: Lavrukevich, Yu., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Metal micro-detectors: development of “transparent” position sensitive detector for beam diagnostics
von: O. Fedorovich, O. Kovalchuk, V. Pugatch, O. Okhrimenko, D. Storozhyk, V. Kyva
Veröffentlicht: (2012)

Dynamics and directions of extreme ultraviolet radiation from plasma of the high-current pulse diode
von: Tseluyko, A.F., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Hydrogen injector based on penning discharge with metal hydride cathode
von: Sereda, I.N., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge
von: Chunadra, А.G., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Influence of hydrogen supply on emissive characteristics of pig with metal-hydride cathode
von: Sereda, I.N., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Influence of plasma nucleus form on radiation orientation in high-current pulse plasma diode
von: Tseluyko, A.F., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor
von: Tseluyko, A.F., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Microplasma discharge striation in the PDP cell
von: Kelnyk, O.I., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Current waveforms for pulse microdischarge inside dielectric cell
von: Kelnyk, O.I., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Effect of quasi-hydrostatic extrusion on microhardness in CuCrZr alloy
von: Belyaeva, A.I., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Plasma parameters estimation in the non-self-sustained gas discharge with hollow anode
von: Misiruk, I.O., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Modeling of gas diffusion into metals on the example of titanium nitriding in gas discharge plasmas
von: Misiruk, I.O., et al.
Veröffentlicht: (2015)