Ion beam system for nanotrimming of functional microelectronics layers
This paper concerns with investigation of the trimming process which uses ion beam etching for high-precision adjustment of the thickness of functional microelectronics layers. The layer deposited on the substrate is etched by scanning focused ion beam; its position and power is regulated accordin...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2011 |
| Автори: | , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90892 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Ion beam system for nanotrimming of functional microelectronics layers / A.A. Bizyukov, I.A. Bizyukov, O.I. Girka, K.N. Sereda, V.V. Sleptsov, M. Gutkin, S. Mishin // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 110-112. — Бібліогр.: 3 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Phase states of macroparticles under interaction of keV ion beam with dusty plasma
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
Control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)
Charging processes of metal macroparticles in the low-temperature plasma at presence of high-energy electron beam
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2011)
Capture and transport of macroparticles in curved plasma duct at low magnetic field in the presence of an electron beam
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2014)
High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)
Particle charging in beam-plasma systems
за авторством: Bizyukov, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Bizyukov, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating
за авторством: Chunadra, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Chunadra, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)
Charging of macroparticles in a high-voltage vacuum arc sheath
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2015)
Decay of liquid metallic macroparticles in plasma-beam systems due to rayleigh instability
за авторством: Bizyukov, A.A, та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Bizyukov, A.A, та інші
Опубліковано: (2017)
Features of electron beam evaporation under surface electron beam formation
за авторством: Mysiura, I.N., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Mysiura, I.N., та інші
Опубліковано: (2014)
Effect of the parameters of a gas-discharge plasma on the equilibrium temperature and floating potential of macroparticle
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)
The size effect and x-ray fluorescenc spectra of metallic nanoparticles
за авторством: Kolyada, Yu.E., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Kolyada, Yu.E., та інші
Опубліковано: (2017)
The capacitive component of double layer current in plasma
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2017)
Longitudinal extraction of H⁻ ions from Penning discharge with metal-hydride cathode
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2017)
Effect of the external magnetic field on the dynamics and power of the self-sustained plasma-beam discharge
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2018)
About influence of energy of electrons and ions on speed of electron- and ion-stimulated plasmachemical etching of silicon
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2010)
Behavior of molybdenum target in condition of irradiation by the high current relativistic electron beam
за авторством: Donets, S.E., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Donets, S.E., та інші
Опубліковано: (2018)
Mass-separation of impurities in the ion beam systems with reversed magnetic beam focusing
за авторством: Girka, O.I., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Girka, O.I., та інші
Опубліковано: (2012)
Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2017)
Ion energy distribution and basic characteristics of plasma flows of nonself-sustained arc discharge
за авторством: Borisenko, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Borisenko, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)
Intrinsic stresses in multi-component nitride coatings produced by plasma immersion ion implantation
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2017)
Influence of negative ions on atomic oxygen production in a hollow cathode discharge in O₂/Ar mixture
за авторством: Lavrukevich, Yu., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Lavrukevich, Yu., та інші
Опубліковано: (2017)
Metal micro-detectors: development of “transparent” position sensitive detector for beam diagnostics
за авторством: O. Fedorovich, O. Kovalchuk, V. Pugatch, O. Okhrimenko, D. Storozhyk, V. Kyva
Опубліковано: (2012)
за авторством: O. Fedorovich, O. Kovalchuk, V. Pugatch, O. Okhrimenko, D. Storozhyk, V. Kyva
Опубліковано: (2012)
Dynamics and directions of extreme ultraviolet radiation from plasma of the high-current pulse diode
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2009)
Hydrogen injector based on penning discharge with metal hydride cathode
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2018)
Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2018)
Influence of hydrogen supply on emissive characteristics of pig with metal-hydride cathode
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2014)
Current waveforms for pulse microdischarge inside dielectric cell
за авторством: Kelnyk, O.I., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Kelnyk, O.I., та інші
Опубліковано: (2010)
Microplasma discharge striation in the PDP cell
за авторством: Kelnyk, O.I., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Kelnyk, O.I., та інші
Опубліковано: (2011)
Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2011)
Influence of plasma nucleus form on radiation orientation in high-current pulse plasma diode
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2010)
Effect of quasi-hydrostatic extrusion on microhardness in CuCrZr alloy
за авторством: Belyaeva, A.I., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Belyaeva, A.I., та інші
Опубліковано: (2015)
Dynamics of EUV-radiation from the partially contracted plasma diode
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Hrechko, Ya.O., та інші
Опубліковано: (2015)
Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation
за авторством: Borgun, Ie.V., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Borgun, Ie.V., та інші
Опубліковано: (2015)
Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2011)
Computer simulation of abnormal glow discharge processes in crossed electric and magnetic fields
за авторством: Isakov, A.V., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Isakov, A.V., та інші
Опубліковано: (2014)
Devices for pre-sterilszation treatment of endoscopes by ozone and ultrasound
за авторством: Taran, V.S., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Taran, V.S., та інші
Опубліковано: (2014)
On a possibility of creation of positive space charge cloud in a system with magnetic insulation of electrons
за авторством: Goncharov, A.A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Goncharov, A.A., та інші
Опубліковано: (2009)
Ethanol conversion in glow and barrier discharges
за авторством: Levko, D.S., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Levko, D.S., та інші
Опубліковано: (2014)
The pair interaction forces and the friction and diffusion coefficients of particles in momentum space
за авторством: Ognivenko, V.V.
Опубліковано: (2017)
за авторством: Ognivenko, V.V.
Опубліковано: (2017)