Simulating study of plasmachemical erosion of a-C:H films in a ECR discharge plasma

• Veröffentlicht in: Вопросы атомной науки и техники
• Datum: 2011
• Hauptverfasser: Konovalov, V.G., Makhov, M.N., Ryzhkov, I.V., Shapoval, A.N., Shtan’, A.F., Skorik, O.A., Solodovchenko, S.I., Timoshenko, A.I., Voitsenya, V.S.
• Format: Artikel
• Sprache: Englisch
• Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
• Schlagworte: Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90955
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Simulating study of plasmachemical erosion of a-C:H films in a ECR discharge plasma / V.G. Konovalov, M.N. Makhov, I.V. Ryzhkov, A.N. Shapoval, A.F. Shtan’, O.A. Skorik, S.I. Solodovchenko, A.I. Timoshenko, V.S. Voitsenya // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 146-148. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.

The dynamics of interference figure of the reflection spectrum for stainless steel and copper mirrors with specially
 deposited carbon-containing film (ɚ-C:H) were studied when the film was gradually eroded under impact of a deuterium
 plasma produced in conditions of electron cyclotron resonance (ECR). The refraction coefficient of the film was
 estimated and the rate of the film removal was obtained. Досліджувалася динаміка інтерференційної картини спектру віддзеркалення сталевих і мідних дзеркал з штучно нанесеною вуглецьвмісною плівкою (a-C:H) по мірі розпилювання в дейтерієвій плазмі ЕЦР-розряду. Проведена оцінка коефіцієнта заломлення плівки. Отримана кількісна оцінка швидкості розпилювання. Исследовалась динамика интерференционной картины спектра отражения стальных и медных зеркал с искусственно нанесенной углеродсодержащей пленкой (a-C:H) по мере распыления в дейтериевой плазме ЭЦР-разряда. Проведена оценка коэффициента преломления пленки. Получена количественная оценка скорости распыления.