Simulating study of plasmachemical erosion of a-C:H films in a ECR discharge plasma
The dynamics of interference figure of the reflection spectrum for stainless steel and copper mirrors with specially
 deposited carbon-containing film (ɚ-C:H) were studied when the film was gradually eroded under impact of a deuterium
 plasma produced in conditions of electron cyclot...
Збережено в:
| Опубліковано в: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2011 |
| ISSN: | 1562-6016 |
| Автори: | , , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90955 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Simulating study of plasmachemical erosion of a-C:H films in a ECR discharge plasma / V.G. Konovalov, M.N. Makhov, I.V. Ryzhkov, A.N. Shapoval, A.F. Shtan’, O.A. Skorik, S.I. Solodovchenko, A.I. Timoshenko, V.S. Voitsenya // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 146-148. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862732741707038720 |
|---|---|
| author | Konovalov, V.G. Makhov, M.N. Ryzhkov, I.V. Shapoval, A.N. Shtan’, A.F. Skorik, O.A. Solodovchenko, S.I. Timoshenko, A.I. Voitsenya, V.S. |
| author_facet | Konovalov, V.G. Makhov, M.N. Ryzhkov, I.V. Shapoval, A.N. Shtan’, A.F. Skorik, O.A. Solodovchenko, S.I. Timoshenko, A.I. Voitsenya, V.S. |
| citation_txt | Simulating study of plasmachemical erosion of a-C:H films in a ECR discharge plasma / V.G. Konovalov, M.N. Makhov, I.V. Ryzhkov, A.N. Shapoval, A.F. Shtan’, O.A. Skorik, S.I. Solodovchenko, A.I. Timoshenko, V.S. Voitsenya // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 146-148. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | The dynamics of interference figure of the reflection spectrum for stainless steel and copper mirrors with specially
deposited carbon-containing film (ɚ-C:H) were studied when the film was gradually eroded under impact of a deuterium
plasma produced in conditions of electron cyclotron resonance (ECR). The refraction coefficient of the film was
estimated and the rate of the film removal was obtained.
Досліджувалася динаміка інтерференційної картини спектру віддзеркалення сталевих і мідних дзеркал з штучно нанесеною вуглецьвмісною плівкою (a-C:H) по мірі розпилювання в дейтерієвій плазмі ЕЦР-розряду. Проведена оцінка коефіцієнта заломлення плівки. Отримана кількісна оцінка швидкості розпилювання.
Исследовалась динамика интерференционной картины спектра отражения стальных и медных зеркал с искусственно нанесенной углеродсодержащей пленкой (a-C:H) по мере распыления в дейтериевой плазме ЭЦР-разряда. Проведена оценка коэффициента преломления пленки. Получена количественная оценка скорости распыления.
|
| first_indexed | 2025-12-07T19:33:07Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-90955 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T19:33:07Z |
| publishDate | 2011 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Konovalov, V.G. Makhov, M.N. Ryzhkov, I.V. Shapoval, A.N. Shtan’, A.F. Skorik, O.A. Solodovchenko, S.I. Timoshenko, A.I. Voitsenya, V.S. 2016-01-06T12:03:16Z 2016-01-06T12:03:16Z 2011 Simulating study of plasmachemical erosion of a-C:H films in a ECR discharge plasma / V.G. Konovalov, M.N. Makhov, I.V. Ryzhkov, A.N. Shapoval, A.F. Shtan’, O.A. Skorik, S.I. Solodovchenko, A.I. Timoshenko, V.S. Voitsenya // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 146-148. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.50.Sw https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90955 The dynamics of interference figure of the reflection spectrum for stainless steel and copper mirrors with specially
 deposited carbon-containing film (ɚ-C:H) were studied when the film was gradually eroded under impact of a deuterium
 plasma produced in conditions of electron cyclotron resonance (ECR). The refraction coefficient of the film was
 estimated and the rate of the film removal was obtained. Досліджувалася динаміка інтерференційної картини спектру віддзеркалення сталевих і мідних дзеркал з штучно нанесеною вуглецьвмісною плівкою (a-C:H) по мірі розпилювання в дейтерієвій плазмі ЕЦР-розряду. Проведена оцінка коефіцієнта заломлення плівки. Отримана кількісна оцінка швидкості розпилювання. Исследовалась динамика интерференционной картины спектра отражения стальных и медных зеркал с искусственно нанесенной углеродсодержащей пленкой (a-C:H) по мере распыления в дейтериевой плазме ЭЦР-разряда. Проведена оценка коэффициента преломления пленки. Получена количественная оценка скорости распыления. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Simulating study of plasmachemical erosion of a-C:H films in a ECR discharge plasma Імітаційні дослідження плазмохімічної ерозії a-C:H плівки в плазмі ЕЦР-розряду Имитационные исследования плазмохимической эрозии a-C:H плёнки в плазме ЭЦР-разряда Article published earlier |
| spellingShingle | Simulating study of plasmachemical erosion of a-C:H films in a ECR discharge plasma Konovalov, V.G. Makhov, M.N. Ryzhkov, I.V. Shapoval, A.N. Shtan’, A.F. Skorik, O.A. Solodovchenko, S.I. Timoshenko, A.I. Voitsenya, V.S. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title | Simulating study of plasmachemical erosion of a-C:H films in a ECR discharge plasma |
| title_alt | Імітаційні дослідження плазмохімічної ерозії a-C:H плівки в плазмі ЕЦР-розряду Имитационные исследования плазмохимической эрозии a-C:H плёнки в плазме ЭЦР-разряда |
| title_full | Simulating study of plasmachemical erosion of a-C:H films in a ECR discharge plasma |
| title_fullStr | Simulating study of plasmachemical erosion of a-C:H films in a ECR discharge plasma |
| title_full_unstemmed | Simulating study of plasmachemical erosion of a-C:H films in a ECR discharge plasma |
| title_short | Simulating study of plasmachemical erosion of a-C:H films in a ECR discharge plasma |
| title_sort | simulating study of plasmachemical erosion of a-c:h films in a ecr discharge plasma |
| topic | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/90955 |
| work_keys_str_mv | AT konovalovvg simulatingstudyofplasmachemicalerosionofachfilmsinaecrdischargeplasma AT makhovmn simulatingstudyofplasmachemicalerosionofachfilmsinaecrdischargeplasma AT ryzhkoviv simulatingstudyofplasmachemicalerosionofachfilmsinaecrdischargeplasma AT shapovalan simulatingstudyofplasmachemicalerosionofachfilmsinaecrdischargeplasma AT shtanaf simulatingstudyofplasmachemicalerosionofachfilmsinaecrdischargeplasma AT skorikoa simulatingstudyofplasmachemicalerosionofachfilmsinaecrdischargeplasma AT solodovchenkosi simulatingstudyofplasmachemicalerosionofachfilmsinaecrdischargeplasma AT timoshenkoai simulatingstudyofplasmachemicalerosionofachfilmsinaecrdischargeplasma AT voitsenyavs simulatingstudyofplasmachemicalerosionofachfilmsinaecrdischargeplasma AT konovalovvg ímítacíinídoslídžennâplazmohímíčnoíerozííachplívkivplazmíecrrozrâdu AT makhovmn ímítacíinídoslídžennâplazmohímíčnoíerozííachplívkivplazmíecrrozrâdu AT ryzhkoviv ímítacíinídoslídžennâplazmohímíčnoíerozííachplívkivplazmíecrrozrâdu AT shapovalan ímítacíinídoslídžennâplazmohímíčnoíerozííachplívkivplazmíecrrozrâdu AT shtanaf ímítacíinídoslídžennâplazmohímíčnoíerozííachplívkivplazmíecrrozrâdu AT skorikoa ímítacíinídoslídžennâplazmohímíčnoíerozííachplívkivplazmíecrrozrâdu AT solodovchenkosi ímítacíinídoslídžennâplazmohímíčnoíerozííachplívkivplazmíecrrozrâdu AT timoshenkoai ímítacíinídoslídžennâplazmohímíčnoíerozííachplívkivplazmíecrrozrâdu AT voitsenyavs ímítacíinídoslídžennâplazmohímíčnoíerozííachplívkivplazmíecrrozrâdu AT konovalovvg imitacionnyeissledovaniâplazmohimičeskoiéroziiachplenkivplazmeécrrazrâda AT makhovmn imitacionnyeissledovaniâplazmohimičeskoiéroziiachplenkivplazmeécrrazrâda AT ryzhkoviv imitacionnyeissledovaniâplazmohimičeskoiéroziiachplenkivplazmeécrrazrâda AT shapovalan imitacionnyeissledovaniâplazmohimičeskoiéroziiachplenkivplazmeécrrazrâda AT shtanaf imitacionnyeissledovaniâplazmohimičeskoiéroziiachplenkivplazmeécrrazrâda AT skorikoa imitacionnyeissledovaniâplazmohimičeskoiéroziiachplenkivplazmeécrrazrâda AT solodovchenkosi imitacionnyeissledovaniâplazmohimičeskoiéroziiachplenkivplazmeécrrazrâda AT timoshenkoai imitacionnyeissledovaniâplazmohimičeskoiéroziiachplenkivplazmeécrrazrâda AT voitsenyavs imitacionnyeissledovaniâplazmohimičeskoiéroziiachplenkivplazmeécrrazrâda |