Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии

• Published in: Современная электрометаллургия
• Date: 2009
• Main Authors: Егоров, С.Г., Червоный, И.Ф., Воляр, Р.Н.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України 2009
• Subjects: Вакуумно-индукционная плавка
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96009
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии / С.Г. Егоров, И.Ф. Червоный, Р.Н. Воляр // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 36-39. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Исследован процесс выращивания монокристаллов кремния способом индукционной бестигельной зонной плавки с применением подогревающего индуктора. При помощи математического моделирования установлены параметры электромагнитного поля подогревающего индуктора и определены условия, при которых электромагнитное поле подогревающего индуктора оказывает влияние на условия выращивания монокристаллов. Process of growing single crystals of silicon by the method of induction crucible-free zonal melting with use of preheating inductor was investigated. Using the mathematical modeling, the parameters of electromagnetic field of phreheating inductor were established and conditions, at which the electromagnetic field of preheating inductor has an influence on the conditions of single crystal growing, were defined.