Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке
Приведены данные о влиянии стерильности вакуумной плавильной камеры на содержание фоновых и легирующих примесей в монокристаллах кремния, полученных способом электронно-лучевой бестигельной зонной плавки. Data are given about the effect of sterility of vacuum melting chamber on content of background...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Современная электрометаллургия |
|---|---|
| Datum: | 2011 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
2011
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96283 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке / Е.А. Аснис, Н.В. Пискун, И.И. Статкевич // Современная электрометаллургия. — 2011. — № 4 (105). — С. 12-13. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |