Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке
Приведены данные о влиянии стерильности вакуумной плавильной камеры на содержание фоновых и легирующих примесей в монокристаллах кремния, полученных способом электронно-лучевой бестигельной зонной плавки. Data are given about the effect of sterility of vacuum melting chamber on content of background...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Современная электрометаллургия |
|---|---|
| Datum: | 2011 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
2011
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96283 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке / Е.А. Аснис, Н.В. Пискун, И.И. Статкевич // Современная электрометаллургия. — 2011. — № 4 (105). — С. 12-13. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862750229105737728 |
|---|---|
| author | Аснис, Е.А. Пискун, Н.В. Статкевич, И.И. |
| author_facet | Аснис, Е.А. Пискун, Н.В. Статкевич, И.И. |
| citation_txt | Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке / Е.А. Аснис, Н.В. Пискун, И.И. Статкевич // Современная электрометаллургия. — 2011. — № 4 (105). — С. 12-13. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Современная электрометаллургия |
| description | Приведены данные о влиянии стерильности вакуумной плавильной камеры на содержание фоновых и легирующих примесей в монокристаллах кремния, полученных способом электронно-лучевой бестигельной зонной плавки.
Data are given about the effect of sterility of vacuum melting chamber on content of background and alloying impurities in silicon single crystals produced by electron beam crucibleless zonal melting.
|
| first_indexed | 2025-12-07T21:04:50Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-96283 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0233-7681 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T21:04:50Z |
| publishDate | 2011 |
| publisher | Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Аснис, Е.А. Пискун, Н.В. Статкевич, И.И. 2016-03-13T19:30:23Z 2016-03-13T19:30:23Z 2011 Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке / Е.А. Аснис, Н.В. Пискун, И.И. Статкевич // Современная электрометаллургия. — 2011. — № 4 (105). — С. 12-13. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 0233-7681 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96283 669.187.826 Приведены данные о влиянии стерильности вакуумной плавильной камеры на содержание фоновых и легирующих примесей в монокристаллах кремния, полученных способом электронно-лучевой бестигельной зонной плавки. Data are given about the effect of sterility of vacuum melting chamber on content of background and alloying impurities in silicon single crystals produced by electron beam crucibleless zonal melting. ru Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України Современная электрометаллургия Электронно-лучевые процессы Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке Refining of silicon from background and alloying impurities in electron beam crucibleless zonal melting Article published earlier |
| spellingShingle | Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке Аснис, Е.А. Пискун, Н.В. Статкевич, И.И. Электронно-лучевые процессы |
| title | Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке |
| title_alt | Refining of silicon from background and alloying impurities in electron beam crucibleless zonal melting |
| title_full | Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке |
| title_fullStr | Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке |
| title_full_unstemmed | Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке |
| title_short | Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке |
| title_sort | очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке |
| topic | Электронно-лучевые процессы |
| topic_facet | Электронно-лучевые процессы |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/96283 |
| work_keys_str_mv | AT asnisea očistkakremniâotfonovyhilegiruûŝihprimeseipriélektronnolučevoibestigelʹnoizonnoiplavke AT piskunnv očistkakremniâotfonovyhilegiruûŝihprimeseipriélektronnolučevoibestigelʹnoizonnoiplavke AT statkevičii očistkakremniâotfonovyhilegiruûŝihprimeseipriélektronnolučevoibestigelʹnoizonnoiplavke AT asnisea refiningofsiliconfrombackgroundandalloyingimpuritiesinelectronbeamcruciblelesszonalmelting AT piskunnv refiningofsiliconfrombackgroundandalloyingimpuritiesinelectronbeamcruciblelesszonalmelting AT statkevičii refiningofsiliconfrombackgroundandalloyingimpuritiesinelectronbeamcruciblelesszonalmelting |