Исследование распределения азота в образцах, полученных ионно-стимулированным осаждением пленок Cr на алюминий при бомбардировке ионами азота

• Veröffentlicht in: Физическая инженерия поверхности
• Datum: 2003
• Hauptverfasser: Гончаров, А.В., Гугля, А.Г., Марченко, И.Г., Неклюдов, И.М.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2003
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98446
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Исследование распределения азота в образцах, полученных ионно-стимулированным осаждением пленок Cr на алюминий при бомбардировке ионами азота / А.В. Гончаров, А.Г. Гугля, И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 3-4. — С. 294–299. — Бібліогр.: 22 назв. — рос.

Работа посвящена разработке методов поверхностного упрочнения изделий из алюминиевых сплавов методом ионно-стимулированного осаждения пленок Cr-N. Авторами исследовано распределение азота в пленках и в алюминиевой подложке. Для исследования привлекались методы вторичной ионной масс спектрометрии,...