Формирование элементного состава гетероструктур A³B⁵ при эпитаксиииз ионизированных потоков
Приведены результаты исследований процессов формирования атомного состава нанослоев соединений А³В⁵ и их твердых растворов при молекулярно-лучевой эпитаксии из ионизированных потоков. Показана важная роль одновременной ионизации как элементов А³ , так и элементов В⁵ для компьютерного управления сост...
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2004 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2004
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98474 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Формирование элементного состава гетероструктур A³B⁵ при эпитаксиииз ионизированных потоков / В. Г. Вербицкий,С.В. Осинский // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 1-2. — С. 49–53. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |