Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He

• Veröffentlicht in: Физическая инженерия поверхности
• Datum: 2004
• Hauptverfasser: Воронов, Д.Л., Девизенко, А.Ю., Зубарев, Е.Н., Кондратенко, В.В., Пеньков, А.В., Севрюкова, В.А., Бобков, В.В., Перегон, Т.И., Тищенко, Л.П.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2004
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98475
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He / Д.Л. Воронов, А.Ю. Девизенко, Е.Н. Зубарев, В.В. Кондратенко, А.В. Пеньков , В.А. Севрюкова, В.В. Бобков, Т. И. Перегон, Л. П. Тищенко // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 1-2. — С. 54–59. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

С помощью рентгеновской дифракции и электронной микроскопии поперечных срезов исследованны структурные изменения в многослойных периодических композициях Mo/Sі во время облучения ионами He. Установлено, что облучение вызывает уменьшение периода многослойной композиции, которое сопровождается умень...