Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He

• Опубліковано в: : Физическая инженерия поверхности
• Дата: 2004
• Автори: Воронов, Д.Л., Девизенко, А.Ю., Зубарев, Е.Н., Кондратенко, В.В., Пеньков, А.В., Севрюкова, В.А., Бобков, В.В., Перегон, Т.И., Тищенко, Л.П.
• Формат: Стаття
• Мова: Російська
• Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2004
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98475
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He / Д.Л. Воронов, А.Ю. Девизенко, Е.Н. Зубарев, В.В. Кондратенко, А.В. Пеньков , В.А. Севрюкова, В.В. Бобков, Т. И. Перегон, Л. П. Тищенко // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 1-2. — С. 54–59. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

С помощью рентгеновской дифракции и электронной микроскопии поперечных срезов исследованны
 структурные изменения в многослойных периодических композициях Mo/Sі во время облучения ионами
 He. Установлено, что облучение вызывает уменьшение периода многослойной композиции, которое сопровождается уменьшением толщиныслоев молибдена и кремния, возрастанием толщиныперемешанных
 зон и уменьшением их плотности. В многослойном покрытии развиваются сжимающие напряжения За допомогою рентгенівської дифракції та електронної мікроскопії поперечних зрізів досліджені структурні зміни в багатошарових періодичних композиціях Mo/Si під час опромінювання іонами He. Встановлено, що опромінювання викликає зменшення періоду багатошарової композиції, яке супроводжується зменшенням товщини шарів молібдену та кремнію, зростанням товщини перемішаних зон та зменшенням їх густини. В багатошаровому покритті розвиваються стискуючі напруги. The structural changes in Mo/Si multilayer coatings
 induced by He ions irradiation were studied. The electron
 microscopy of cross-sections and low-angle x-ray diffraction
 were used. It was shown that irradiation lead to
 shrinkage of multilayer’s period and thicknesses of Mo
 and Si layers, growth of mixed zones, decreasing of mixed
 zone density. Compressing stresses in the coating were
 formed during irradiation.