Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He
С помощью рентгеновской дифракции и электронной микроскопии поперечных срезов исследованны структурные изменения в многослойных периодических композициях Mo/Sі во время облучения ионами He. Установлено, что облучение вызывает уменьшение периода многослойной композиции, которое сопровождается умень...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2004 |
| Hauptverfasser: | , , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2004
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98475 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He / Д.Л. Воронов, А.Ю. Девизенко, Е.Н. Зубарев, В.В. Кондратенко, А.В. Пеньков , В.А. Севрюкова, В.В. Бобков, Т. И. Перегон, Л. П. Тищенко // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 1-2. — С. 54–59. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98475 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Воронов, Д.Л. Девизенко, А.Ю. Зубарев, Е.Н. Кондратенко, В.В. Пеньков, А.В. Севрюкова, В.А. Бобков, В.В. Перегон, Т.И. Тищенко, Л.П. 2016-04-15T07:24:11Z 2016-04-15T07:24:11Z 2004 Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He / Д.Л. Воронов, А.Ю. Девизенко, Е.Н. Зубарев, В.В. Кондратенко, А.В. Пеньков , В.А. Севрюкова, В.В. Бобков, Т. И. Перегон, Л. П. Тищенко // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 1-2. — С. 54–59. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98475 621.785.3:539.216.2 С помощью рентгеновской дифракции и электронной микроскопии поперечных срезов исследованны структурные изменения в многослойных периодических композициях Mo/Sі во время облучения ионами He. Установлено, что облучение вызывает уменьшение периода многослойной композиции, которое сопровождается уменьшением толщиныслоев молибдена и кремния, возрастанием толщиныперемешанных зон и уменьшением их плотности. В многослойном покрытии развиваются сжимающие напряжения За допомогою рентгенівської дифракції та електронної мікроскопії поперечних зрізів досліджені структурні зміни в багатошарових періодичних композиціях Mo/Si під час опромінювання іонами He. Встановлено, що опромінювання викликає зменшення періоду багатошарової композиції, яке супроводжується зменшенням товщини шарів молібдену та кремнію, зростанням товщини перемішаних зон та зменшенням їх густини. В багатошаровому покритті розвиваються стискуючі напруги. The structural changes in Mo/Si multilayer coatings induced by He ions irradiation were studied. The electron microscopy of cross-sections and low-angle x-ray diffraction were used. It was shown that irradiation lead to shrinkage of multilayer’s period and thicknesses of Mo and Si layers, growth of mixed zones, decreasing of mixed zone density. Compressing stresses in the coating were formed during irradiation. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He Початкові стадії перемішування в багатошарових періодичних покриттях Mo / Si при опроміненні іонами He Initial stage of intermixing in Mo/Si multilayer coatings during He ion irradiation Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He |
| spellingShingle |
Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He Воронов, Д.Л. Девизенко, А.Ю. Зубарев, Е.Н. Кондратенко, В.В. Пеньков, А.В. Севрюкова, В.А. Бобков, В.В. Перегон, Т.И. Тищенко, Л.П. |
| title_short |
Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He |
| title_full |
Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He |
| title_fullStr |
Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He |
| title_full_unstemmed |
Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He |
| title_sort |
начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях mo/si при облучении ионами he |
| author |
Воронов, Д.Л. Девизенко, А.Ю. Зубарев, Е.Н. Кондратенко, В.В. Пеньков, А.В. Севрюкова, В.А. Бобков, В.В. Перегон, Т.И. Тищенко, Л.П. |
| author_facet |
Воронов, Д.Л. Девизенко, А.Ю. Зубарев, Е.Н. Кондратенко, В.В. Пеньков, А.В. Севрюкова, В.А. Бобков, В.В. Перегон, Т.И. Тищенко, Л.П. |
| publishDate |
2004 |
| language |
Russian |
| container_title |
Физическая инженерия поверхности |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Початкові стадії перемішування в багатошарових періодичних покриттях Mo / Si при опроміненні іонами He Initial stage of intermixing in Mo/Si multilayer coatings during He ion irradiation |
| description |
С помощью рентгеновской дифракции и электронной микроскопии поперечных срезов исследованны
структурные изменения в многослойных периодических композициях Mo/Sі во время облучения ионами
He. Установлено, что облучение вызывает уменьшение периода многослойной композиции, которое сопровождается уменьшением толщиныслоев молибдена и кремния, возрастанием толщиныперемешанных
зон и уменьшением их плотности. В многослойном покрытии развиваются сжимающие напряжения
За допомогою рентгенівської дифракції та електронної мікроскопії поперечних зрізів досліджені структурні зміни в багатошарових періодичних композиціях Mo/Si під час опромінювання іонами He. Встановлено, що опромінювання викликає зменшення періоду багатошарової композиції, яке супроводжується зменшенням товщини шарів молібдену та кремнію, зростанням товщини перемішаних зон та зменшенням їх густини. В багатошаровому покритті розвиваються стискуючі напруги.
The structural changes in Mo/Si multilayer coatings
induced by He ions irradiation were studied. The electron
microscopy of cross-sections and low-angle x-ray diffraction
were used. It was shown that irradiation lead to
shrinkage of multilayer’s period and thicknesses of Mo
and Si layers, growth of mixed zones, decreasing of mixed
zone density. Compressing stresses in the coating were
formed during irradiation.
|
| issn |
1999-8074 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98475 |
| citation_txt |
Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He / Д.Л. Воронов, А.Ю. Девизенко, Е.Н. Зубарев, В.В. Кондратенко, А.В. Пеньков , В.А. Севрюкова, В.В. Бобков, Т. И. Перегон, Л. П. Тищенко // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 1-2. — С. 54–59. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT voronovdl načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe AT devizenkoaû načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe AT zubareven načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe AT kondratenkovv načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe AT penʹkovav načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe AT sevrûkovava načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe AT bobkovvv načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe AT peregonti načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe AT tiŝenkolp načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe AT voronovdl počatkovístadííperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihpokrittâhmosipriopromínennííonamihe AT devizenkoaû počatkovístadííperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihpokrittâhmosipriopromínennííonamihe AT zubareven počatkovístadííperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihpokrittâhmosipriopromínennííonamihe AT kondratenkovv počatkovístadííperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihpokrittâhmosipriopromínennííonamihe AT penʹkovav počatkovístadííperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihpokrittâhmosipriopromínennííonamihe AT sevrûkovava počatkovístadííperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihpokrittâhmosipriopromínennííonamihe AT bobkovvv počatkovístadííperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihpokrittâhmosipriopromínennííonamihe AT peregonti počatkovístadííperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihpokrittâhmosipriopromínennííonamihe AT tiŝenkolp počatkovístadííperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihpokrittâhmosipriopromínennííonamihe AT voronovdl initialstageofintermixinginmosimultilayercoatingsduringheionirradiation AT devizenkoaû initialstageofintermixinginmosimultilayercoatingsduringheionirradiation AT zubareven initialstageofintermixinginmosimultilayercoatingsduringheionirradiation AT kondratenkovv initialstageofintermixinginmosimultilayercoatingsduringheionirradiation AT penʹkovav initialstageofintermixinginmosimultilayercoatingsduringheionirradiation AT sevrûkovava initialstageofintermixinginmosimultilayercoatingsduringheionirradiation AT bobkovvv initialstageofintermixinginmosimultilayercoatingsduringheionirradiation AT peregonti initialstageofintermixinginmosimultilayercoatingsduringheionirradiation AT tiŝenkolp initialstageofintermixinginmosimultilayercoatingsduringheionirradiation |
| first_indexed |
2025-12-07T15:13:46Z |
| last_indexed |
2025-12-07T15:13:46Z |
| _version_ |
1850862916224417792 |