Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He

С помощью рентгеновской дифракции и электронной микроскопии поперечных срезов исследованны структурные изменения в многослойных периодических композициях Mo/Sі во время облучения ионами He. Установлено, что облучение вызывает уменьшение периода многослойной композиции, которое сопровождается умень...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Физическая инженерия поверхности
Datum:2004
Hauptverfasser: Воронов, Д.Л., Девизенко, А.Ю., Зубарев, Е.Н., Кондратенко, В.В., Пеньков, А.В., Севрюкова, В.А., Бобков, В.В., Перегон, Т.И., Тищенко, Л.П.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2004
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98475
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He / Д.Л. Воронов, А.Ю. Девизенко, Е.Н. Зубарев, В.В. Кондратенко, А.В. Пеньков , В.А. Севрюкова, В.В. Бобков, Т. И. Перегон, Л. П. Тищенко // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 1-2. — С. 54–59. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-98475
record_format dspace
spelling Воронов, Д.Л.
Девизенко, А.Ю.
Зубарев, Е.Н.
Кондратенко, В.В.
Пеньков, А.В.
Севрюкова, В.А.
Бобков, В.В.
Перегон, Т.И.
Тищенко, Л.П.
2016-04-15T07:24:11Z
2016-04-15T07:24:11Z
2004
Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He / Д.Л. Воронов, А.Ю. Девизенко, Е.Н. Зубарев, В.В. Кондратенко, А.В. Пеньков , В.А. Севрюкова, В.В. Бобков, Т. И. Перегон, Л. П. Тищенко // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 1-2. — С. 54–59. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98475
621.785.3:539.216.2
С помощью рентгеновской дифракции и электронной микроскопии поперечных срезов исследованны структурные изменения в многослойных периодических композициях Mo/Sі во время облучения ионами He. Установлено, что облучение вызывает уменьшение периода многослойной композиции, которое сопровождается уменьшением толщиныслоев молибдена и кремния, возрастанием толщиныперемешанных зон и уменьшением их плотности. В многослойном покрытии развиваются сжимающие напряжения
За допомогою рентгенівської дифракції та електронної мікроскопії поперечних зрізів досліджені структурні зміни в багатошарових періодичних композиціях Mo/Si під час опромінювання іонами He. Встановлено, що опромінювання викликає зменшення періоду багатошарової композиції, яке супроводжується зменшенням товщини шарів молібдену та кремнію, зростанням товщини перемішаних зон та зменшенням їх густини. В багатошаровому покритті розвиваються стискуючі напруги.
The structural changes in Mo/Si multilayer coatings induced by He ions irradiation were studied. The electron microscopy of cross-sections and low-angle x-ray diffraction were used. It was shown that irradiation lead to shrinkage of multilayer’s period and thicknesses of Mo and Si layers, growth of mixed zones, decreasing of mixed zone density. Compressing stresses in the coating were formed during irradiation.
ru
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Физическая инженерия поверхности
Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He
Початкові стадії перемішування в багатошарових періодичних покриттях Mo / Si при опроміненні іонами He
Initial stage of intermixing in Mo/Si multilayer coatings during He ion irradiation
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He
spellingShingle Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He
Воронов, Д.Л.
Девизенко, А.Ю.
Зубарев, Е.Н.
Кондратенко, В.В.
Пеньков, А.В.
Севрюкова, В.А.
Бобков, В.В.
Перегон, Т.И.
Тищенко, Л.П.
title_short Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He
title_full Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He
title_fullStr Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He
title_full_unstemmed Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He
title_sort начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях mo/si при облучении ионами he
author Воронов, Д.Л.
Девизенко, А.Ю.
Зубарев, Е.Н.
Кондратенко, В.В.
Пеньков, А.В.
Севрюкова, В.А.
Бобков, В.В.
Перегон, Т.И.
Тищенко, Л.П.
author_facet Воронов, Д.Л.
Девизенко, А.Ю.
Зубарев, Е.Н.
Кондратенко, В.В.
Пеньков, А.В.
Севрюкова, В.А.
Бобков, В.В.
Перегон, Т.И.
Тищенко, Л.П.
publishDate 2004
language Russian
container_title Физическая инженерия поверхности
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
format Article
title_alt Початкові стадії перемішування в багатошарових періодичних покриттях Mo / Si при опроміненні іонами He
Initial stage of intermixing in Mo/Si multilayer coatings during He ion irradiation
description С помощью рентгеновской дифракции и электронной микроскопии поперечных срезов исследованны структурные изменения в многослойных периодических композициях Mo/Sі во время облучения ионами He. Установлено, что облучение вызывает уменьшение периода многослойной композиции, которое сопровождается уменьшением толщиныслоев молибдена и кремния, возрастанием толщиныперемешанных зон и уменьшением их плотности. В многослойном покрытии развиваются сжимающие напряжения За допомогою рентгенівської дифракції та електронної мікроскопії поперечних зрізів досліджені структурні зміни в багатошарових періодичних композиціях Mo/Si під час опромінювання іонами He. Встановлено, що опромінювання викликає зменшення періоду багатошарової композиції, яке супроводжується зменшенням товщини шарів молібдену та кремнію, зростанням товщини перемішаних зон та зменшенням їх густини. В багатошаровому покритті розвиваються стискуючі напруги. The structural changes in Mo/Si multilayer coatings induced by He ions irradiation were studied. The electron microscopy of cross-sections and low-angle x-ray diffraction were used. It was shown that irradiation lead to shrinkage of multilayer’s period and thicknesses of Mo and Si layers, growth of mixed zones, decreasing of mixed zone density. Compressing stresses in the coating were formed during irradiation.
issn 1999-8074
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98475
citation_txt Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He / Д.Л. Воронов, А.Ю. Девизенко, Е.Н. Зубарев, В.В. Кондратенко, А.В. Пеньков , В.А. Севрюкова, В.В. Бобков, Т. И. Перегон, Л. П. Тищенко // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 1-2. — С. 54–59. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT voronovdl načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe
AT devizenkoaû načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe
AT zubareven načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe
AT kondratenkovv načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe
AT penʹkovav načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe
AT sevrûkovava načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe
AT bobkovvv načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe
AT peregonti načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe
AT tiŝenkolp načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogosloinyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe
AT voronovdl počatkovístadííperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihpokrittâhmosipriopromínennííonamihe
AT devizenkoaû počatkovístadííperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihpokrittâhmosipriopromínennííonamihe
AT zubareven počatkovístadííperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihpokrittâhmosipriopromínennííonamihe
AT kondratenkovv počatkovístadííperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihpokrittâhmosipriopromínennííonamihe
AT penʹkovav počatkovístadííperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihpokrittâhmosipriopromínennííonamihe
AT sevrûkovava počatkovístadííperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihpokrittâhmosipriopromínennííonamihe
AT bobkovvv počatkovístadííperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihpokrittâhmosipriopromínennííonamihe
AT peregonti počatkovístadííperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihpokrittâhmosipriopromínennííonamihe
AT tiŝenkolp počatkovístadííperemíšuvannâvbagatošarovihperíodičnihpokrittâhmosipriopromínennííonamihe
AT voronovdl initialstageofintermixinginmosimultilayercoatingsduringheionirradiation
AT devizenkoaû initialstageofintermixinginmosimultilayercoatingsduringheionirradiation
AT zubareven initialstageofintermixinginmosimultilayercoatingsduringheionirradiation
AT kondratenkovv initialstageofintermixinginmosimultilayercoatingsduringheionirradiation
AT penʹkovav initialstageofintermixinginmosimultilayercoatingsduringheionirradiation
AT sevrûkovava initialstageofintermixinginmosimultilayercoatingsduringheionirradiation
AT bobkovvv initialstageofintermixinginmosimultilayercoatingsduringheionirradiation
AT peregonti initialstageofintermixinginmosimultilayercoatingsduringheionirradiation
AT tiŝenkolp initialstageofintermixinginmosimultilayercoatingsduringheionirradiation
first_indexed 2025-12-07T15:13:46Z
last_indexed 2025-12-07T15:13:46Z
_version_ 1850862916224417792