Исследование пленок алмазоподобного углерода и соединений углерода с азотом, синтезированных вакуумно-дуговым методом

• Date: 2005
• Main Authors: Стрельницкий, В.Е., Аксенов, И.И., Васильев, В.В., Воеводин, А.А., Джонс, Дж. Г., Забински, Дж.С.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2005
• Series: Физическая инженерия поверхности
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98724
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Исследование пленок алмазоподобного углерода и соединений углерода с азотом, синтезированных вакуумно-дуговым методом / В.Е. Стрельницкий, И.И. Аксенов, В.В. Васильев, А.А. Воеводин, Дж. Г. Джонс, Дж. С. Забински // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 1-2. — С. 43–53. — Бібліогр.: 53 назв. — рос.

Исследованы свойства a-C и СNx покрытий в условиях трения скольжения. Сравнивались покрытия, полученные на идентично подготовленных поверхностях, при равных толщинах и на одинаковых подложках. Покрытия формировались методом осаждения из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы. Изучались состав, структура, микротвердость, модуль упругости, напряжения, коэффициенты трения и износа покрытий. Установлено, что а-С покрытия имели микротвердость 52 – 57 ГПа и модуль упругости – в пределах 490 – 560 ГПа. Покрытия СNx при достаточно высокой микротвердости 28 – 30 ГПа характеризовались сравнительно низким модулем упругости 160 ГПа. Отмечались заметные различия в трибологическом поведении покрытий в зависимости от влажности атмосферы, в которой производились испытания. Различия механических и трибологических свойств изучавшихся покрытий могут быть использованы для оптимального их выбора для тех или иных условий эксплуатации.