Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий
Получены вакуумно-дуговые TiN покрытия, осаждаемые в условиях имплантации металлических и газовых ионов, обладающие сверхвысокой твердостью 40 ÷ 53 ГПа. Синтез покрытий осуществлялся при температурах подложки от 105 до 320 °C, что расширяет круг обрабатываемых материалов, включая нанесение покрыт...
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2006 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2006
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98796 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий / А.А. Андреев, В.М. Шулаев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 3-4. — С. 179–183. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |