Cover Image

Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий

Получены вакуумно-дуговые TiN покрытия, осаждаемые в условиях имплантации
 металлических и газовых ионов, обладающие сверхвысокой твердостью 40 ÷ 53 ГПа. Синтез
 покрытий осуществлялся при температурах подложки от 105 до 320 °C, что расширяет круг
 обрабатываемых материалов,...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Физическая инженерия поверхности
Date:2006
Main Authors: Андреев, А.А., Шулаев, В.М., Горбань, В.Ф., Столбовой, В.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2006
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98796
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий / А.А. Андреев, В.М. Шулаев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 3-4. — С. 179–183. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Similar Items