Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий

• Veröffentlicht in: Физическая инженерия поверхности
• Datum: 2006
• Hauptverfasser: Андреев, А.А., Шулаев, В.М., Горбань, В.Ф., Столбовой, В.А.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2006
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98796
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий / А.А. Андреев, В.М. Шулаев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 3-4. — С. 179–183. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Получены вакуумно-дуговые TiN покрытия, осаждаемые в условиях имплантации металлических и газовых ионов, обладающие сверхвысокой твердостью 40 ÷ 53 ГПа. Синтез покрытий осуществлялся при температурах подложки от 105 до 320 °C, что расширяет круг обрабатываемых материалов, включая нанесение покрыт...