Исследование фазового состава, структуры и свойств многослойных вакуумно-дуговых нанокристаллических покрытий Ti-Mo-N
Проведено дослідження впливу товщини шарів і умов одержання на фазовий склад, структуру і механічні характеристики (твердість і модуль пружності) вакуумно-дугових багатошарових наноструктурних покриттів Tі-Mo₂N. Показано, що при малій товщині шарів (≈2 нм) можливий эпітаксіальний ріст ізострук...
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2010 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2010
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98842 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Исследование фазового состава, структуры и свойств многослойных вакуумно-дуговых нанокристаллических покрытий Ti-Mo-N / А.А. Андреев, О.В. Соболь, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой, В.В. Мамон // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 1. — С. 28–35. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |