Исследование фазового состава, структуры и свойств многослойных вакуумно-дуговых нанокристаллических покрытий Ti-Mo-N

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2010
• Main Authors: Андреев, А.А., Соболь, О.В., Горбань, В.Ф., Столбовой, В.А., Мамон, В.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2010
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/98842
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Исследование фазового состава, структуры и свойств многослойных вакуумно-дуговых нанокристаллических покрытий Ti-Mo-N / А.А. Андреев, О.В. Соболь, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой, В.В. Мамон // Физическая инженерия поверхности. — 2010. — Т. 8, № 1. — С. 28–35. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Проведено дослідження впливу товщини шарів і умов одержання на фазовий склад, структуру і механічні характеристики (твердість і модуль пружності) вакуумно-дугових багатошарових наноструктурних покриттів Tі-Mo₂N. Показано, що при малій товщині шарів (≈2 нм) можливий эпітаксіальний ріст ізострук...