Київський скануючий ядерний мікрозонд з методикою прецизійного програмованого опромінення зразка мікропучком іонів
В Києві збудована високотехнологічна установка – скануючий ядерний мікрозонд (ЯМЗ) з трьома ядерно-фізичними методиками. Дві з цих методик застосовуються для мікроаналітичних досліджень хімічного складу зразка, а третя – дозволяє виконувати його прецизійне програмоване опромінення (ППО) мікропучком...
Saved in:
| Date: | 2012 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2012
|
| Series: | Вопросы атомной науки и техники |
| Subjects: | |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Київський скануючий ядерний мікрозонд з методикою прецизійного програмованого опромінення зразка мікропучком іонів / С.О. Лебедь, О.Г. Кухаренко, М.Г. Толмачов, О.В. Третяк // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 5. — С. 131-138. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
oai:nasplib.isofts.kiev.ua:123456789-109031 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
oai:nasplib.isofts.kiev.ua:123456789-1090312025-02-23T17:06:57Z Київський скануючий ядерний мікрозонд з методикою прецизійного програмованого опромінення зразка мікропучком іонів Киевский сканирующий ядерный микрозонд с методикой прецизионного программированного облучения образца микропучком ионов Kyiv scanning nuclear microprobe with pricise programing irradiation technique of sample by ion microbeam Лебедь, С.О. Кухаренко, О.Г. Толмачов, М.Г. Третяк, О.В. Диагностика и методы исследований В Києві збудована високотехнологічна установка – скануючий ядерний мікрозонд (ЯМЗ) з трьома ядерно-фізичними методиками. Дві з цих методик застосовуються для мікроаналітичних досліджень хімічного складу зразка, а третя – дозволяє виконувати його прецизійне програмоване опромінення (ППО) мікропучком протонів (або альфа-частинок) з енергією 1…2 МеВ. У роботі надана інформація щодо головних особливостей цих методик і техніки експерименту. Наведено приклад комбінованого застосування трьох методик для виконання послідовно (або одночасно) керованої модифікації напівпровідникового зразка радіаційними дефектами і мікроаналізу його складу. Показано, що інсталяція методики ППО на Київському ЯМЗ відкриває додаткову можливість щодо виготовлення 3-D мікроструктур за новою безмасковою технологією. В Киеве построена высокотехнологичная установка – сканирующий ядерний микрозонд (ЯМЗ) с тремя ядерно-физическими методиками. Две из этих методик используются для микроаналитических исследований химического состава образца, а третья позволяет выполнять его прецизионное программированное облучение (ППО) микропучком протонов (или альфа-частиц) с энергией 1…2 МэВ. В статье содержится информация об основных особенностях этих методик и о технике эксперимента. Представлен пример комбинированного использования трех методик с целью выполнить последовательно (или одновременно) контролируемую модификацию полупроводникового образца радиационными дефектами и микроанализ его состава. Показано, что ввод в эксплуатацию методики ППО на Киевском ЯМЗ открывает дополнительную возможность для изготовления 3-D микроструктур по новой безмасочной технологии. The scanning nuclear microprobe (NMP) with three nuclear physic techniques is constructed in Kyiv. The NMP is high technology set up. Two of the above mentioned techniques are used for micro analytical studies of chemical element contamination in the specimen. The third technique allows performing the precise programming irradiation (PPI) of the sample by 1…2 MeV protons (or alpha particles). The peculiarities and hardware of the techniques are described in this paper. There is an example of combined application of third techniques for performing of controlled modification of semiconductor specimen by radiation-induced defects and micro analysis of its composition, sequentially or simultaneously. It is presented that PPI technique of the Kyiv NMP opens an additional possibility for mask less fabrication of 3-D microstructures using new technology. Автори висловлюють вдячність доктору Я. Лєккі з Інституту ядерної фізики (м. Краків, Польща) за надану допомогу при виконанні PIXE мікроаналітичних досліджень. 2012 Article Київський скануючий ядерний мікрозонд з методикою прецизійного програмованого опромінення зразка мікропучком іонів / С.О. Лебедь, О.Г. Кухаренко, М.Г. Толмачов, О.В. Третяк // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 5. — С. 131-138. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/109031 621.384; 537.534.2 ru Вопросы атомной науки и техники application/pdf Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Диагностика и методы исследований Диагностика и методы исследований |
| spellingShingle |
Диагностика и методы исследований Диагностика и методы исследований Лебедь, С.О. Кухаренко, О.Г. Толмачов, М.Г. Третяк, О.В. Київський скануючий ядерний мікрозонд з методикою прецизійного програмованого опромінення зразка мікропучком іонів Вопросы атомной науки и техники |
| description |
В Києві збудована високотехнологічна установка – скануючий ядерний мікрозонд (ЯМЗ) з трьома ядерно-фізичними методиками. Дві з цих методик застосовуються для мікроаналітичних досліджень хімічного складу зразка, а третя – дозволяє виконувати його прецизійне програмоване опромінення (ППО) мікропучком протонів (або альфа-частинок) з енергією 1…2 МеВ. У роботі надана інформація щодо головних особливостей цих методик і техніки експерименту. Наведено приклад комбінованого застосування трьох методик для виконання послідовно (або одночасно) керованої модифікації напівпровідникового зразка радіаційними дефектами і мікроаналізу його складу. Показано, що інсталяція методики ППО на Київському ЯМЗ відкриває додаткову можливість щодо виготовлення 3-D мікроструктур за новою безмасковою технологією. |
| format |
Article |
| author |
Лебедь, С.О. Кухаренко, О.Г. Толмачов, М.Г. Третяк, О.В. |
| author_facet |
Лебедь, С.О. Кухаренко, О.Г. Толмачов, М.Г. Третяк, О.В. |
| author_sort |
Лебедь, С.О. |
| title |
Київський скануючий ядерний мікрозонд з методикою прецизійного програмованого опромінення зразка мікропучком іонів |
| title_short |
Київський скануючий ядерний мікрозонд з методикою прецизійного програмованого опромінення зразка мікропучком іонів |
| title_full |
Київський скануючий ядерний мікрозонд з методикою прецизійного програмованого опромінення зразка мікропучком іонів |
| title_fullStr |
Київський скануючий ядерний мікрозонд з методикою прецизійного програмованого опромінення зразка мікропучком іонів |
| title_full_unstemmed |
Київський скануючий ядерний мікрозонд з методикою прецизійного програмованого опромінення зразка мікропучком іонів |
| title_sort |
київський скануючий ядерний мікрозонд з методикою прецизійного програмованого опромінення зразка мікропучком іонів |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2012 |
| topic_facet |
Диагностика и методы исследований |
| citation_txt |
Київський скануючий ядерний мікрозонд з методикою прецизійного програмованого опромінення зразка мікропучком іонів / С.О. Лебедь, О.Г. Кухаренко, М.Г. Толмачов, О.В. Третяк // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 5. — С. 131-138. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT lebedʹso kiívsʹkijskanuûčijâdernijmíkrozondzmetodikoûprecizíjnogoprogramovanogoopromínennâzrazkamíkropučkomíonív AT kuharenkoog kiívsʹkijskanuûčijâdernijmíkrozondzmetodikoûprecizíjnogoprogramovanogoopromínennâzrazkamíkropučkomíonív AT tolmačovmg kiívsʹkijskanuûčijâdernijmíkrozondzmetodikoûprecizíjnogoprogramovanogoopromínennâzrazkamíkropučkomíonív AT tretâkov kiívsʹkijskanuûčijâdernijmíkrozondzmetodikoûprecizíjnogoprogramovanogoopromínennâzrazkamíkropučkomíonív AT lebedʹso kievskijskaniruûŝijâdernyjmikrozondsmetodikojprecizionnogoprogrammirovannogooblučeniâobrazcamikropučkomionov AT kuharenkoog kievskijskaniruûŝijâdernyjmikrozondsmetodikojprecizionnogoprogrammirovannogooblučeniâobrazcamikropučkomionov AT tolmačovmg kievskijskaniruûŝijâdernyjmikrozondsmetodikojprecizionnogoprogrammirovannogooblučeniâobrazcamikropučkomionov AT tretâkov kievskijskaniruûŝijâdernyjmikrozondsmetodikojprecizionnogoprogrammirovannogooblučeniâobrazcamikropučkomionov AT lebedʹso kyivscanningnuclearmicroprobewithpriciseprogramingirradiationtechniqueofsamplebyionmicrobeam AT kuharenkoog kyivscanningnuclearmicroprobewithpriciseprogramingirradiationtechniqueofsamplebyionmicrobeam AT tolmačovmg kyivscanningnuclearmicroprobewithpriciseprogramingirradiationtechniqueofsamplebyionmicrobeam AT tretâkov kyivscanningnuclearmicroprobewithpriciseprogramingirradiationtechniqueofsamplebyionmicrobeam |
| first_indexed |
2025-07-22T04:09:05Z |
| last_indexed |
2025-07-22T04:09:05Z |
| _version_ |
1838318716994977792 |