ТЕПЛОВІ ЕФЕКТИ ПРИ ВЗАЄМОДІЇ ПОТУЖНОГО ЛАЗЕРНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ З ПОВЕРХНЕЮ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МАТЕРІАЛІВ
Досліджено процес розігріву поверхні твердого тіла кількома лазерними пучками, що створюють на його поверхні одно– та двомірну інтерференційні картини. Показано, що за допомогою інтенсивного лазерного випромінювання можна проводити мікро–нано структурування поверхні напівпровідників. Встановлено, що...
Збережено в:
| Дата: | 2013 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
Vinnytsia National Technical University
2013
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/282 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Optoelectronic Information-Power Technologies |
Репозитарії
Optoelectronic Information-Power Technologies| _version_ | 1856543768572854272 |
|---|---|
| author | Семчук, О. Ю. Гаврилюк, О. О. |
| author_facet | Семчук, О. Ю. Гаврилюк, О. О. |
| author_sort | Семчук, О. Ю. |
| baseUrl_str | |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2016-07-07T12:28:09Z |
| description | Досліджено процес розігріву поверхні твердого тіла кількома лазерними пучками, що створюють на його поверхні одно– та двомірну інтерференційні картини. Показано, що за допомогою інтенсивного лазерного випромінювання можна проводити мікро–нано структурування поверхні напівпровідників. Встановлено, що фемтосекундними лазерними імпульсами можна ефективно прогрівати зразки кристалічного кремнію товщиною до 20 мкм. Ключові слова: лазерне випромінювання, температура, напівпровідник, лазер-індуковані структури, поверхня, наноструктури, абляція. |
| first_indexed | 2025-09-24T17:28:56Z |
| format | Article |
| id | oai:oeipt.vntu.edu.ua:article-282 |
| institution | Optoelectronic Information-Power Technologies |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-09-24T17:28:56Z |
| publishDate | 2013 |
| publisher | Vinnytsia National Technical University |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:oeipt.vntu.edu.ua:article-2822016-07-07T12:28:09Z ТЕПЛОВІ ЕФЕКТИ ПРИ ВЗАЄМОДІЇ ПОТУЖНОГО ЛАЗЕРНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ З ПОВЕРХНЕЮ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МАТЕРІАЛІВ Семчук, О. Ю. Гаврилюк, О. О. лазерне випромінювання температура напівпровідник лазер-індуковані структури поверхня наноструктури абляція Досліджено процес розігріву поверхні твердого тіла кількома лазерними пучками, що створюють на його поверхні одно– та двомірну інтерференційні картини. Показано, що за допомогою інтенсивного лазерного випромінювання можна проводити мікро–нано структурування поверхні напівпровідників. Встановлено, що фемтосекундними лазерними імпульсами можна ефективно прогрівати зразки кристалічного кремнію товщиною до 20 мкм. Ключові слова: лазерне випромінювання, температура, напівпровідник, лазер-індуковані структури, поверхня, наноструктури, абляція. Vinnytsia National Technical University 2013-10-11 Article Article application/pdf https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/282 Optoelectronic Information-Power Technologies; Vol. 24 No. 2 (2012); 127-137 Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї; Том 24 № 2 (2012); 127-137 Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї; Том 24 № 2 (2012); 127-137 2311-2662 1681-7893 uk https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/282/281 Авторське право (c) 2015 Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї |
| spellingShingle | лазерне випромінювання температура напівпровідник лазер-індуковані структури поверхня наноструктури абляція Семчук, О. Ю. Гаврилюк, О. О. ТЕПЛОВІ ЕФЕКТИ ПРИ ВЗАЄМОДІЇ ПОТУЖНОГО ЛАЗЕРНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ З ПОВЕРХНЕЮ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МАТЕРІАЛІВ |
| title | ТЕПЛОВІ ЕФЕКТИ ПРИ ВЗАЄМОДІЇ ПОТУЖНОГО ЛАЗЕРНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ З ПОВЕРХНЕЮ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МАТЕРІАЛІВ |
| title_full | ТЕПЛОВІ ЕФЕКТИ ПРИ ВЗАЄМОДІЇ ПОТУЖНОГО ЛАЗЕРНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ З ПОВЕРХНЕЮ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МАТЕРІАЛІВ |
| title_fullStr | ТЕПЛОВІ ЕФЕКТИ ПРИ ВЗАЄМОДІЇ ПОТУЖНОГО ЛАЗЕРНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ З ПОВЕРХНЕЮ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МАТЕРІАЛІВ |
| title_full_unstemmed | ТЕПЛОВІ ЕФЕКТИ ПРИ ВЗАЄМОДІЇ ПОТУЖНОГО ЛАЗЕРНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ З ПОВЕРХНЕЮ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МАТЕРІАЛІВ |
| title_short | ТЕПЛОВІ ЕФЕКТИ ПРИ ВЗАЄМОДІЇ ПОТУЖНОГО ЛАЗЕРНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ З ПОВЕРХНЕЮ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МАТЕРІАЛІВ |
| title_sort | теплові ефекти при взаємодії потужного лазерного випромінювання з поверхнею напівпровідникових матеріалів |
| topic | лазерне випромінювання температура напівпровідник лазер-індуковані структури поверхня наноструктури абляція |
| topic_facet | лазерне випромінювання температура напівпровідник лазер-індуковані структури поверхня наноструктури абляція |
| url | https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/282 |
| work_keys_str_mv | AT semčukoû teplovíefektiprivzaêmodíípotužnogolazernogovipromínûvannâzpoverhneûnapívprovídnikovihmateríalív AT gavrilûkoo teplovíefektiprivzaêmodíípotužnogolazernogovipromínûvannâzpoverhneûnapívprovídnikovihmateríalív |