ТЕПЛОВІ ЕФЕКТИ ПРИ ВЗАЄМОДІЇ ПОТУЖНОГО ЛАЗЕРНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ З ПОВЕРХНЕЮ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МАТЕРІАЛІВ

ТЕПЛОВІ ЕФЕКТИ ПРИ ВЗАЄМОДІЇ ПОТУЖНОГО ЛАЗЕРНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ З ПОВЕРХНЕЮ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МАТЕРІАЛІВ

Досліджено процес розігріву поверхні твердого тіла кількома лазерними пучками, що створюють на його поверхні одно– та двомірну інтерференційні картини. Показано, що за допомогою інтенсивного лазерного випромінювання можна проводити мікро–нано структурування поверхні напівпровідників. Встановлено, що...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2013
Hauptverfasser: Семчук, О. Ю., Гаврилюк, О. О.
Format: Artikel
Sprache:Ukrainian
Veröffentlicht: Vinnytsia National Technical University 2013
Schlagworte:
лазерне випромінювання
температура
напівпровідник
лазер-індуковані структури
поверхня
наноструктури
абляція
Online Zugang:https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/282
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Optoelectronic Information-Power Technologies

Institution

Optoelectronic Information-Power Technologies
id oai:oeipt.vntu.edu.ua:article-282
record_format ojs
spelling oai:oeipt.vntu.edu.ua:article-2822016-07-07T12:28:09Z ТЕПЛОВІ ЕФЕКТИ ПРИ ВЗАЄМОДІЇ ПОТУЖНОГО ЛАЗЕРНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ З ПОВЕРХНЕЮ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МАТЕРІАЛІВ Семчук, О. Ю. Гаврилюк, О. О. лазерне випромінювання температура напівпровідник лазер-індуковані структури поверхня наноструктури абляція Досліджено процес розігріву поверхні твердого тіла кількома лазерними пучками, що створюють на його поверхні одно– та двомірну інтерференційні картини. Показано, що за допомогою інтенсивного лазерного випромінювання можна проводити мікро–нано структурування поверхні напівпровідників. Встановлено, що фемтосекундними лазерними імпульсами можна ефективно прогрівати зразки кристалічного кремнію товщиною до 20 мкм. Ключові слова: лазерне випромінювання, температура, напівпровідник, лазер-індуковані структури, поверхня, наноструктури, абляція. Vinnytsia National Technical University 2013-10-11 Article Article application/pdf https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/282 Optoelectronic Information-Power Technologies; Vol. 24 No. 2 (2012); 127-137 Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї; Том 24 № 2 (2012); 127-137 Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї; Том 24 № 2 (2012); 127-137 2311-2662 1681-7893 uk https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/282/281 Авторське право (c) 2015 Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї
institution Optoelectronic Information-Power Technologies
baseUrl_str
datestamp_date 2016-07-07T12:28:09Z
collection OJS
language Ukrainian
topic лазерне випромінювання
температура
напівпровідник
лазер-індуковані структури
поверхня
наноструктури
абляція
spellingShingle лазерне випромінювання
температура
напівпровідник
лазер-індуковані структури
поверхня
наноструктури
абляція
Семчук, О. Ю.
Гаврилюк, О. О.
ТЕПЛОВІ ЕФЕКТИ ПРИ ВЗАЄМОДІЇ ПОТУЖНОГО ЛАЗЕРНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ З ПОВЕРХНЕЮ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МАТЕРІАЛІВ
topic_facet лазерне випромінювання
температура
напівпровідник
лазер-індуковані структури
поверхня
наноструктури
абляція
format Article
author Семчук, О. Ю.
Гаврилюк, О. О.
author_facet Семчук, О. Ю.
Гаврилюк, О. О.
author_sort Семчук, О. Ю.
title ТЕПЛОВІ ЕФЕКТИ ПРИ ВЗАЄМОДІЇ ПОТУЖНОГО ЛАЗЕРНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ З ПОВЕРХНЕЮ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МАТЕРІАЛІВ
title_short ТЕПЛОВІ ЕФЕКТИ ПРИ ВЗАЄМОДІЇ ПОТУЖНОГО ЛАЗЕРНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ З ПОВЕРХНЕЮ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МАТЕРІАЛІВ
title_full ТЕПЛОВІ ЕФЕКТИ ПРИ ВЗАЄМОДІЇ ПОТУЖНОГО ЛАЗЕРНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ З ПОВЕРХНЕЮ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МАТЕРІАЛІВ
title_fullStr ТЕПЛОВІ ЕФЕКТИ ПРИ ВЗАЄМОДІЇ ПОТУЖНОГО ЛАЗЕРНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ З ПОВЕРХНЕЮ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МАТЕРІАЛІВ
title_full_unstemmed ТЕПЛОВІ ЕФЕКТИ ПРИ ВЗАЄМОДІЇ ПОТУЖНОГО ЛАЗЕРНОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ З ПОВЕРХНЕЮ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МАТЕРІАЛІВ
title_sort теплові ефекти при взаємодії потужного лазерного випромінювання з поверхнею напівпровідникових матеріалів
description Досліджено процес розігріву поверхні твердого тіла кількома лазерними пучками, що створюють на його поверхні одно– та двомірну інтерференційні картини. Показано, що за допомогою інтенсивного лазерного випромінювання можна проводити мікро–нано структурування поверхні напівпровідників. Встановлено, що фемтосекундними лазерними імпульсами можна ефективно прогрівати зразки кристалічного кремнію товщиною до 20 мкм. Ключові слова: лазерне випромінювання, температура, напівпровідник, лазер-індуковані структури, поверхня, наноструктури, абляція.
publisher Vinnytsia National Technical University
publishDate 2013
url https://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/282
work_keys_str_mv AT semčukoû teplovíefektiprivzaêmodíípotužnogolazernogovipromínûvannâzpoverhneûnapívprovídnikovihmateríalív
AT gavrilûkoo teplovíefektiprivzaêmodíípotužnogolazernogovipromínûvannâzpoverhneûnapívprovídnikovihmateríalív
first_indexed 2025-09-24T17:28:56Z
last_indexed 2025-09-24T17:28:56Z
_version_ 1850410220699779072

Ähnliche Einträge