Василенко, Н. А., & Василенко, А. О. (2014). Comparison of physicochemical properties of nitride films produced by various reactive sputtering methods. Інститут енергетичних машин і систем ім. А. М. Підгорного Національної академії наук України.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Василенко, Наталья Афанасьевна, und Алексей Олегович Василенко. Comparison of Physicochemical Properties of Nitride Films Produced by Various Reactive Sputtering Methods. Інститут енергетичних машин і систем ім. А. М. Підгорного Національної академії наук України, 2014.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Василенко, Наталья Афанасьевна, und Алексей Олегович Василенко. Comparison of Physicochemical Properties of Nitride Films Produced by Various Reactive Sputtering Methods. Інститут енергетичних машин і систем ім. А. М. Підгорного Національної академії наук України, 2014.