Василенко, Н. А., & Василенко, А. О. (2014). Comparison of physicochemical properties of nitride films produced by various reactive sputtering methods. Інститут енергетичних машин і систем ім. А. М. Підгорного Національної академії наук України.
Chicago Style (17th ed.) CitationВасиленко, Наталья Афанасьевна, and Алексей Олегович Василенко. Comparison of Physicochemical Properties of Nitride Films Produced by Various Reactive Sputtering Methods. Інститут енергетичних машин і систем ім. А. М. Підгорного Національної академії наук України, 2014.
MLA (8th ed.) CitationВасиленко, Наталья Афанасьевна, and Алексей Олегович Василенко. Comparison of Physicochemical Properties of Nitride Films Produced by Various Reactive Sputtering Methods. Інститут енергетичних машин і систем ім. А. М. Підгорного Національної академії наук України, 2014.