Дослідження теплофізичних властивостей кристалічного кремнію

The thermophysical properties of Si (c) have been studied theoretically. Using the Comsol Multiphysics software package, mathematical modeling of temperature distribution in the Si (c) plate is carried out. It has been shown that femtosecond laser pulses can efficiently warm samples of crystalline s...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2012
Автори: Gavrylyuk, O. O., Semchuk, O. Yu.
Формат: Стаття
Мова:Українська
Опубліковано: Chuiko Institute of Surface Chemistry National Academy of Sciences of Ukraine 2012
Онлайн доступ:https://www.cpts.com.ua/index.php/cpts/article/view/183
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Chemistry, Physics and Technology of Surface

Репозитарії

Chemistry, Physics and Technology of Surface
_version_ 1856543808317030400
author Gavrylyuk, O. O.
Semchuk, O. Yu.
author_facet Gavrylyuk, O. O.
Semchuk, O. Yu.
author_sort Gavrylyuk, O. O.
baseUrl_str
collection OJS
datestamp_date 2022-06-29T10:22:53Z
description The thermophysical properties of Si (c) have been studied theoretically. Using the Comsol Multiphysics software package, mathematical modeling of temperature distribution in the Si (c) plate is carried out. It has been shown that femtosecond laser pulses can efficiently warm samples of crystalline silicon. The near-surface region with thickness of 5 microns is heated most efficiently.
first_indexed 2025-07-22T19:30:53Z
format Article
id oai:ojs.pkp.sfu.ca:article-183
institution Chemistry, Physics and Technology of Surface
language Ukrainian
last_indexed 2025-12-17T12:06:57Z
publishDate 2012
publisher Chuiko Institute of Surface Chemistry National Academy of Sciences of Ukraine
record_format ojs
spelling oai:ojs.pkp.sfu.ca:article-1832022-06-29T10:22:53Z Study on of Thermophysical Properties of Crystalline Silicon Исследование теплофизических свойств кристаллического кремния Дослідження теплофізичних властивостей кристалічного кремнію Gavrylyuk, O. O. Semchuk, O. Yu. The thermophysical properties of Si (c) have been studied theoretically. Using the Comsol Multiphysics software package, mathematical modeling of temperature distribution in the Si (c) plate is carried out. It has been shown that femtosecond laser pulses can efficiently warm samples of crystalline silicon. The near-surface region with thickness of 5 microns is heated most efficiently. Теоретически исследованы теплофизические свойств Si (c). С помощью программного пакета Comsol Multiphysics промоделировано распределение температуры в пластинке Si (c). Показано, что фемтосекундными лазерными импульсами можно эффективно прогревать образцы кристаллического кремния; наиболее эффективно прогревается приповерхностная область толщиной до 5 мкм. Теоретично досліджені теплофізичні властивості Si (c). За допомогою програмного пакету Comsol Multiphysics промодельовано розподіл температури у пластинці Si (c). Показано, що фемтосекундними лазерними імпульсами можна ефективно прогрівати зразки кристалічного кремнію; найбільш ефективно прогрівається приповерхнева область товщиною до 5.мкм. Chuiko Institute of Surface Chemistry National Academy of Sciences of Ukraine 2012-08-01 Article Article application/pdf https://www.cpts.com.ua/index.php/cpts/article/view/183 Chemistry, Physics and Technology of Surface; Vol. 3 No. 3 (2012): Chemistry, Physics and Technology of Surface / Himia, Fizika ta Tehnologia Poverhni; 352-355 Химия, физика и технология поверхности; Том 3 № 3 (2012): Химия, физика и технология поверхности; 352-355 Хімія, фізика та технологія поверхні; Том 3 № 3 (2012): Хімія, фізика та технологія поверхні; 352-355 2518-1238 2079-1704 uk https://www.cpts.com.ua/index.php/cpts/article/view/183/180 Copyright (c) 2012 O. O. Gavrylyuk, O. Yu. Semchuk
spellingShingle Gavrylyuk, O. O.
Semchuk, O. Yu.
Дослідження теплофізичних властивостей кристалічного кремнію
title Дослідження теплофізичних властивостей кристалічного кремнію
title_alt Study on of Thermophysical Properties of Crystalline Silicon
Исследование теплофизических свойств кристаллического кремния
title_full Дослідження теплофізичних властивостей кристалічного кремнію
title_fullStr Дослідження теплофізичних властивостей кристалічного кремнію
title_full_unstemmed Дослідження теплофізичних властивостей кристалічного кремнію
title_short Дослідження теплофізичних властивостей кристалічного кремнію
title_sort дослідження теплофізичних властивостей кристалічного кремнію
url https://www.cpts.com.ua/index.php/cpts/article/view/183
work_keys_str_mv AT gavrylyukoo studyonofthermophysicalpropertiesofcrystallinesilicon
AT semchukoyu studyonofthermophysicalpropertiesofcrystallinesilicon
AT gavrylyukoo issledovanieteplofizičeskihsvojstvkristalličeskogokremniâ
AT semchukoyu issledovanieteplofizičeskihsvojstvkristalličeskogokremniâ
AT gavrylyukoo doslídžennâteplofízičnihvlastivostejkristalíčnogokremníû
AT semchukoyu doslídžennâteplofízičnihvlastivostejkristalíčnogokremníû