Теоретичне вивчення лазерного відпалу нестехіометричних плівок SiOx

• Date: 2014
• Main Author: Gavrylyuk, O. O.
• Format: Article
• Language: English
• Published: Chuiko Institute of Surface Chemistry National Academy of Sciences of Ukraine 2014
• Subjects: оксид кремнію; нанокристали; лазерний відпал; рівняння теплопровідності
• Online Access: https://www.cpts.com.ua/index.php/cpts/article/view/307
• Journal Title: Chemistry, Physics and Technology of Surface

The mathematical modeling of temperature distribution in SiOx film was carried out. The use of laser annealing in SiOx films is shown to be advisable and multi-pulse annealing being more effective than single-pulse one. The maximum temperature after the laser pulse in the center of the laser beam do...