Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx
The last achievements in the field of creation of technologies of receiving silicon nanocrystals and the nanocomposite films containing nanocrystals of silicon in a dielectric matrix are described. The special attention is paid to two methods - temperature and laser annealing of  nonsto...
Збережено в:
| Дата: | 2013 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
Chuiko Institute of Surface Chemistry National Academy of Sciences of Ukraine
2013
|
| Онлайн доступ: | https://surfacezbir.com.ua/index.php/surface/article/view/506 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Surface |
| Завантажити файл: |  |