Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx

• Datum: 2013
• Автори та афіліації: O. O. Gavrylyuk — Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка Національної академії наук України; O. Yu. Semchuk — Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка Національної академії наук України
• Ключові слова: keywords
• Hauptverfasser: Gavrylyuk, O. O., Semchuk, O. Yu.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainisch
• Veröffentlicht: Chuiko Institute of Surface Chemistry National Academy of Sciences of Ukraine 2013
• Online Zugang: https://surfacezbir.com.ua/index.php/surface/article/view/506
• Назва журналу: Surface

The last achievements in the field of creation of technologies of receiving silicon nanocrystals and the nanocomposite films containing nanocrystals of silicon in a dielectric matrix are described. The special attention is paid to two methods - temperature and laser annealing of  nonsto...