Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx

• Date: 2013
• Author Affiliations: O. O. Gavrylyuk — Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка Національної академії наук України; O. Yu. Semchuk — Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка Національної академії наук України
• Keywords: keywords
• Main Authors: Gavrylyuk, O. O., Semchuk, O. Yu.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Chuiko Institute of Surface Chemistry National Academy of Sciences of Ukraine 2013
• Online Access: https://surfacezbir.com.ua/index.php/surface/article/view/506
• Journal Title: Surface

The last achievements in the field of creation of technologies of receiving silicon nanocrystals and the nanocomposite films containing nanocrystals of silicon in a dielectric matrix are described. The special attention is paid to two methods - temperature and laser annealing of  nonsto...