Зображення обкладинки

Проблеми хіміко-динамічного полірування в технології кремнієвих p-i-n фотодіодів

During the preparation of silicon substrates for the manufacture of silicon p-i-n photodiodes, the effect of the presence of chemical-dynamic polishing and the depth of etching on the electrical parameters of the FD was observed. The quality of the polishing operation also affected the optical and p...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2023
Автор:	Kukurudziak, M. S.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	Chuiko Institute of Surface Chemistry National Academy of Sciences of Ukraine 2023
Теми:	кремній фотодіод хіміко-динамічне полірування дислокація
Онлайн доступ:	https://www.cpts.com.ua/index.php/cpts/article/view/658
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Chemistry, Physics and Technology of Surface

Репозитарії

Chemistry, Physics and Technology of Surface

Схожі ресурси

Метод «очищення» поверхні фоточутливих елементів кремнієвих p-i-n фотодіодів від дислокацій
за авторством: Kukurudziak, M. S.
Опубліковано: (2023)

Утворення дефектів на поверхні Si-підкладок в процесі термічного напилення золота
за авторством: Kukurudziak, Mykola, та інші
Опубліковано: (2023)

Кремнієвий p–i–n-фотодіод із підвищеною імпульсною чутливістю
за авторством: Kukurudziak, Mykola, та інші
Опубліковано: (2021)

Р–i–n-фотодіод на основі високоомного кремнію p-типу з підвищеною чутливістю на довжині хвилі 1060 нм
за авторством: Kukurudziak , Mykola, та інші
Опубліковано: (2020)

Спектральна фоточутливість дифузійних Ge-p-i-n-фотодіодів
за авторством: Fedorenko, Artem
Опубліковано: (2020)

ПОЛІРУВАННЯ ОПТИЧНИХ ПОВЕРХОНЬ ДЕТАЛЕЙ З ПОЛІСТИРОЛУ
за авторством: Філатов, Юрій, та інші
Опубліковано: (2024)

ВПЛИВ ДИСПЕРСНОЇ СИСТЕМИ НА ПОКАЗНИКИ ПОЛІРУВАННЯ СКЛА, СИТАЛІВ ТА ОПТИЧНИХ І НАПІВПРОВІДНИКОВИХ КРИСТАЛІВ
за авторством: Філатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2020)

ПОЛІРУВАННЯ ОПТИЧНИХ ПОВЕРХОНЬ ДЕТАЛЕЙ З ПОЛІМЕРНИХ МАТЕРІАЛІВ
за авторством: Філатов, Юрій, та інші
Опубліковано: (2023)

ПОЛІРУВАННЯ ДЕТАЛЕЙ ОПТОТЕХНІКИ З НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МАТЕРІАЛІВ
за авторством: Філатов, Юрій, та інші
Опубліковано: (2025)

ВПЛИВ РЕОЛОГІЧНИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ ДИСПЕРСНОЇ СИСТЕМИ НА ПОКАЗНИКИ ПОЛІРУВАННЯ ПІДКЛАДОК ІЗ СИТАЛУ
за авторством: Філатов, Юрій, та інші
Опубліковано: (2019)

Дослідження динамічних ВАХ Si-фотодіодів в області малих струмів за допомогою комп’ютеризованого вимірювального комплексу
за авторством: Kshevetskyi, Oleg, та інші
Опубліковано: (2025)

ПІДВИЩЕННЯ ЕФЕКТИВНОСТІ ДИНАМІЧНОГО КЕРУВАННЯ РЕЖИМАМИ РОЗПОДІЛЬНИХ МЕРЕЖ
за авторством: Жаркін, А.Ф. , та інші
Опубліковано: (2025)

Поліпшення параметрів кремнієвих варикапів при використанні лазерного гетерування
за авторством: Vikulin, I. M., та інші
Опубліковано: (2018)

МАТЕМАТИЧНА ТА КОМП’ЮТЕРНА МОДЕЛІ АСИНХРОННОГО ДВИГУНА З ФАЗНИМ РОТОРОМ У РЕЖИМІ ДИНАМІЧНОГО ГАЛЬМУВАННЯ З САМОЗБУДЖЕННЯМ
за авторством: Шамардіна, В.М., та інші
Опубліковано: (2024)

Теоретичні розрахунки поширення температурного поля в кремнієвих періодичних структурах під час термічного відпалу
за авторством: Havryliuk, O. O., та інші
Опубліковано: (2017)

ПІДВИЩЕННЯ ЕФЕКТИВНОСТІ ДИНАМІЧНОГО РОЗПОДІЛЕННЯ ПАМ’ЯТІ В ОПТОЕЛЕКТРОННИХ СИСТЕМАХ
за авторством: Бевз, О. М., та інші
Опубліковано: (2013)

ПЕРЕНЕСЕННЯ ЕНЕРГІЇ МІЖ ОБРОБЛЮВАНОЮ ОПТИЧНОЮ ПОВЕРХНЕЮ ТА ДИСПЕРСНОЮ СИСТЕМОЮ ПРИ ПОЛІРУВАННІ
за авторством: Філатов, Ю. Д., та інші
Опубліковано: (2022)

ПОРІВНЯННЯ ДВОХ ПІДХОДІВ ДО МОДЕЛЮВАННЯ ГРАНИЦІ ПРУЖНОСТІ СПЛАВІВ WC–Co ПІД ЧАС РОЗТЯГУВАННЯ
за авторством: Литошенко, Н. В.
Опубліковано: (2018)

Дискретні фотоприймачі середньохвильового ІЧ-діапазону спектру на основі HgCdTe
за авторством: Tsybrii, Z. F., та інші
Опубліковано: (2017)

Хіміко-динамічне полірування поверхні CdTe травильними композиціями (NH4)2Cr2O7–HCl–щавлева кислота
за авторством: Chukhnenko, P. S., та інші
Опубліковано: (2012)

Математична модель надійності для аналізу причин непрацездатності системи із складним загальним навантажувальним резервуванням
за авторством: Щербовських, Сергій Володимирович
Опубліковано: (2014)

Дослідження задач знаходження оптимального розподілу між підприємствами
за авторством: Iakovleva, Alla P., та інші
Опубліковано: (2016)

Метод підвищення швидкості завантаження веб-сторінок
за авторством: Курко, Владислав Сергійович, та інші
Опубліковано: (2021)

ВИКОРИСТАННЯ РЕНТГЕНІВСЬКОЇ ТОПОГРАФІЇ ДЛЯ ДОСЛІДЖЕННЯ РЕАЛЬНОЇ СТРУКТУРИ НРНТ-МОНОКРИСТАЛІВ АЛМАЗУ ТИПУ ІІа
за авторством: Супрун, Олена, та інші
Опубліковано: (2024)

ДОСЛІДЖЕННЯ СТАНУ РОБОЧОЇ ПОВЕРХНІ ІНСТРУМЕНТУ ПРИ ПОЛІРУВАННІ ПІДКЛАДОК З НІТРИДУ АЛЮМІНІЮ
за авторством: Філатов, Ю. Д., та інші
Опубліковано: (2018)

Удосконалення математичної моделі вимірювального перетворювача інтенсивності світлового потоку
за авторством: Кучерук, В. Ю., та інші
Опубліковано: (2016)

Дослідження морфології наночастинок SiO2 у полірувальних суспензіях методами АСМ і СЕМ
за авторством: Kosenok, Ya. A., та інші
Опубліковано: (2014)

МАТЕМАТИЧНА МОДЕЛЬ ОПТИЧНОГО ДАТЧИКА НАЯВНОСТІ ВОДИ У МОЛОЦІ
за авторством: Кулаков, П. І., та інші
Опубліковано: (2013)

Аналіз підходів до вдосконалення інтелектуальних технологій управління паркуванням
за авторством: Копиця, В.О., та інші
Опубліковано: (2025)

Оптимізація вмісту вуглецю і марганцю в сталі 110Г13Л: Processy litʹâ, 2020, Tom 142, №4, p.26-33
за авторством: Локтіонов-Ремізовський, В. А., та інші
Опубліковано: (2020)

Анализ структурно-химического состояния и классификация оксидных и металлических фаз системы кремний−кальций−барий−кислород. Сплавы силикокальцийбария. Сообщение 2
за авторством: Белов, Б.Ф., та інші
Опубліковано: (2018)

Релаксація розподілу надлишкових неосновних носіїв заряду в макропористому кремнію
за авторством: Karachevtseva, L. A., та інші
Опубліковано: (2018)

Фотоприймальний пристрій підвищеної надійності та тривкості до фонової освітленості для FSO
за авторством: Lipka, Volodymyr, та інші
Опубліковано: (2025)

Зміна провідності структур «пористий кремній з наночастинками срібла — кремній» при детектуванні перекису водню
за авторством: Kutova, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2018)

Вплив температурноспричинених змін будови розплаву системи Al–Si на структуру і електричний опір сплаву в твердому стані
за авторством: Khristenko, V. V., та інші
Опубліковано: (2023)

ПІДВИЩЕННЯ ПЛАСТИЧНОСТІ ВИСОКОМІЦНОГО ЧАВУНУ ВНУТРІШНЬОФОРМОВИМ МОДИФІКУВАННЯМ РОЗПЛАВУ ЗІ ЗМЕНШЕНИМ ВМІСТОМ КРЕМНІЮ: Procesi littâ, 2023, Vol 3 (153), 3-11
за авторством: Бубликов, В.Б., та інші
Опубліковано: (2023)

ХІМІКО-ТЕХНОЛОГІЧНА ОЦІНКА ПЛОДІВ ПРЕДСТАВНИКІВ РОДУ SORBUS L.
за авторством: Цимбал, О. М., та інші
Опубліковано: (2011)

Хіміко-фізичні особливості нафтодеструктувального сорбента на основі біовугілля
за авторством: Khokhlov, A. V.
Опубліковано: (2023)

Вплив глибини макропор на ефективний час життя неосновних носіїв заряду в макропористому кремнії
за авторством: Onyshchenko, V. F., та інші
Опубліковано: (2019)

Створення двосторонніх структур макропористого кремнію з нанопокриттями для сонячних елементів
за авторством: Karachevtseva, L. A., та інші
Опубліковано: (2021)