Зображення обкладинки

Проблеми хіміко-динамічного полірування в технології кремнієвих p-i-n фотодіодів

During the preparation of silicon substrates for the manufacture of silicon p-i-n photodiodes, the effect of the presence of chemical-dynamic polishing and the depth of etching on the electrical parameters of the FD was observed. The quality of the polishing operation also affected the optical and p...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2023
Автор:	Kukurudziak, M. S.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	Chuiko Institute of Surface Chemistry National Academy of Sciences of Ukraine 2023
Теми:	кремній фотодіод хіміко-динамічне полірування дислокація
Онлайн доступ:	https://www.cpts.com.ua/index.php/cpts/article/view/658
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Chemistry, Physics and Technology of Surface

Репозитарії

Chemistry, Physics and Technology of Surface

Схожі ресурси

Метод «очищення» поверхні фоточутливих елементів кремнієвих p-i-n фотодіодів від дислокацій
за авторством: Kukurudziak, M. S.
Опубліковано: (2023)

Утворення дефектів на поверхні Si-підкладок в процесі термічного напилення золота
за авторством: Kukurudziak, Mykola, та інші
Опубліковано: (2023)

Кремнієвий p–i–n-фотодіод із підвищеною імпульсною чутливістю
за авторством: Kukurudziak, Mykola, та інші
Опубліковано: (2021)

Р–i–n-фотодіод на основі високоомного кремнію p-типу з підвищеною чутливістю на довжині хвилі 1060 нм
за авторством: Kukurudziak , Mykola, та інші
Опубліковано: (2020)

Спектральна фоточутливість дифузійних Ge-p-i-n-фотодіодів
за авторством: Fedorenko, Artem
Опубліковано: (2020)

ВПЛИВ ДИСПЕРСНОЇ СИСТЕМИ НА ПОКАЗНИКИ ПОЛІРУВАННЯ СКЛА, СИТАЛІВ ТА ОПТИЧНИХ І НАПІВПРОВІДНИКОВИХ КРИСТАЛІВ
за авторством: Філатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2020)

Формування поверхневого зміцненого шару при хіміко-термічній обробці заліза, поєднаній з електроіскровим легуванням
за авторством: Іващенко, Є.В., та інші
Опубліковано: (2010)

ПОЛІРУВАННЯ ОПТИЧНИХ ПОВЕРХОНЬ ДЕТАЛЕЙ З ПОЛІСТИРОЛУ
за авторством: Філатов, Юрій, та інші
Опубліковано: (2024)

ПОЛІРУВАННЯ ОПТИЧНИХ ПОВЕРХОНЬ ДЕТАЛЕЙ З ПОЛІМЕРНИХ МАТЕРІАЛІВ
за авторством: Філатов, Юрій, та інші
Опубліковано: (2023)

ВПЛИВ РЕОЛОГІЧНИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ ДИСПЕРСНОЇ СИСТЕМИ НА ПОКАЗНИКИ ПОЛІРУВАННЯ ПІДКЛАДОК ІЗ СИТАЛУ
за авторством: Філатов, Юрій, та інші
Опубліковано: (2019)

ПОЛІРУВАННЯ ДЕТАЛЕЙ ОПТОТЕХНІКИ З НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МАТЕРІАЛІВ
за авторством: Філатов, Юрій, та інші
Опубліковано: (2025)

Поліпшення параметрів кремнієвих варикапів при використанні лазерного гетерування
за авторством: Vikulin, I. M., та інші
Опубліковано: (2018)

ВИЗНАЧЕННЯ ДИСКРЕТНОГО ОПТИМАЛЬНОГО ЗА КОМБІНОВАНИМ КВАДРАТИЧНИМ КРИТЕРІЄМ ЗАКОНУ КЕРУВАННЯ ІНЕРЦІЙНИМ ОБ'ЄКТОМ МЕТОДОМ ДИНАМІЧНОГО ПРОГРАМУВАННЯ
за авторством: Шуруб, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2026)

Дослідження динамічних ВАХ Si-фотодіодів в області малих струмів за допомогою комп’ютеризованого вимірювального комплексу
за авторством: Kshevetskyi, Oleg, та інші
Опубліковано: (2025)

Хіміко-механічне полірування монокристалів CdTe бромвиділяючими розчинами H₂O₂—HBr—етиленгліколь
за авторством: Стратійчук, І.Б.
Опубліковано: (2011)

РОЗСІЮВАННЯ НАНОЧАСТИНОК ШЛАМУ І ЗНОСУ ПОЛІРУВАЛЬ-НОГО ПОРОШКУ ПІД ЧАС ПОЛІРУВАННЯ МІДІ І АЛЮМІНІЮ
за авторством: Філатов, Юрій, та інші
Опубліковано: (2025)

Теоретичні розрахунки поширення температурного поля в кремнієвих періодичних структурах під час термічного відпалу
за авторством: Havryliuk, O. O., та інші
Опубліковано: (2017)

ПІДВИЩЕННЯ ЕФЕКТИВНОСТІ ДИНАМІЧНОГО КЕРУВАННЯ РЕЖИМАМИ РОЗПОДІЛЬНИХ МЕРЕЖ
за авторством: Жаркін, А.Ф. , та інші
Опубліковано: (2025)

Вплив ступеня дисоціації аміаку на структуру та властивості неіржавіючих азотованих сталей
за авторством: Хижняк, В.Г., та інші
Опубліковано: (2009)

Борування конструкційних сталей з використанням насичуючих паст
за авторством: Погрібний, М.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Легування поверхневого шару ливарної заготовки в процесі лиття
за авторством: Цоцко, В.І., та інші
Опубліковано: (2009)

Дифузійне хромонікелювання сталі 5ХНМ
за авторством: Михайлів, Н.П.
Опубліковано: (2009)

Формування багатошарових електроіскрових покриттів на залізі у вуглецевовмісних середовищах
за авторством: Храновська, К.М., та інші
Опубліковано: (2011)

МАТЕМАТИЧНА ТА КОМП’ЮТЕРНА МОДЕЛІ АСИНХРОННОГО ДВИГУНА З ФАЗНИМ РОТОРОМ У РЕЖИМІ ДИНАМІЧНОГО ГАЛЬМУВАННЯ З САМОЗБУДЖЕННЯМ
за авторством: Шамардіна, В.М., та інші
Опубліковано: (2024)

Хіміко-динамічне полірування поверхні CdTe травильними композиціями (NH4)2Cr2O7–HCl–щавлева кислота
за авторством: Chukhnenko, P. S., та інші
Опубліковано: (2012)

ПЕРЕНЕСЕННЯ ЕНЕРГІЇ МІЖ ОБРОБЛЮВАНОЮ ОПТИЧНОЮ ПОВЕРХНЕЮ ТА ДИСПЕРСНОЮ СИСТЕМОЮ ПРИ ПОЛІРУВАННІ
за авторством: Філатов, Ю. Д., та інші
Опубліковано: (2022)

ПІДВИЩЕННЯ ЕФЕКТИВНОСТІ ДИНАМІЧНОГО РОЗПОДІЛЕННЯ ПАМ’ЯТІ В ОПТОЕЛЕКТРОННИХ СИСТЕМАХ
за авторством: Бевз, О. М., та інші
Опубліковано: (2013)

Зменшення рекомбінаційних втрат у дифузійних приповерхневих емітерних шарах фоточутливих кремнієвих структур n+-p-p+
за авторством: Kostylyov, V.P., та інші
Опубліковано: (2023)

Деякі проблеми розробки люмінесцентного трансформатора для кремнієвих сонячних елементів
за авторством: Azovskyi, V. A., та інші
Опубліковано: (2020)

Оптимізація вмісту вуглецю і марганцю в сталі 110Г13Л: Processy litʹâ, 2020, Tom 142, №4, p.26-33
за авторством: Локтіонов-Ремізовський, В. А., та інші
Опубліковано: (2020)

ПОРІВНЯННЯ ДВОХ ПІДХОДІВ ДО МОДЕЛЮВАННЯ ГРАНИЦІ ПРУЖНОСТІ СПЛАВІВ WC–Co ПІД ЧАС РОЗТЯГУВАННЯ
за авторством: Литошенко, Н. В.
Опубліковано: (2018)

Дискретні фотоприймачі середньохвильового ІЧ-діапазону спектру на основі HgCdTe
за авторством: Tsybrii, Z. F., та інші
Опубліковано: (2017)

Problems of chemical-dynamic polishing in the technology of silicon p-i-n photodiodes
за авторством: M. S. Kukurudziak
Опубліковано: (2023)

Концентраторний фотоенергетичний модуль на основі кремнієвих фотоперетворювачів
за авторством: Chernenko, Volodymyr, та інші
Опубліковано: (2023)

ДОСЛІДЖЕННЯ СТАНУ РОБОЧОЇ ПОВЕРХНІ ІНСТРУМЕНТУ ПРИ ПОЛІРУВАННІ ПІДКЛАДОК З НІТРИДУ АЛЮМІНІЮ
за авторством: Філатов, Ю. Д., та інші
Опубліковано: (2018)

Ідентифікація жорстких нелінійних моделей хіміко-технологічних систем
за авторством: Пасічник, Р.М., та інші
Опубліковано: (2010)

Монополізованість періодики НАН України хіміко-біологічного спрямування
за авторством: Радченко, А.І., та інші
Опубліковано: (2019)

Хіміко-аналітичні характеристики триазену 3,5-дихлораніліну
за авторством: Мага, І.М.
Опубліковано: (2010)

ПОЛІРУВАННЯ ПЛОСКИХ ПОВЕРХОНЬ ДЕТАЛЕЙ ОПТОТЕХНІКИ З МІДІ І АЛЮМІНІЮ
за авторством: Філатов, Юрій, та інші
Опубліковано: (2025)

Анализ структурно-химического состояния и классификация оксидных и металлических фаз системы кремний−кальций−барий−кислород. Сплавы силикокальцийбария. Сообщение 2
за авторством: Белов, Б.Ф., та інші
Опубліковано: (2018)