Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике

For the formation of AlN protective coatings resistant to impact loads, magnetron and diode sputtering methods, as well as ion beam sputtering, are suitable. Depending on the process conditions, different contents of X-ray amorphous and crystalline phases are obtained in the volume of nanostructured...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2005
Автори: Belyanin, A. F., Samoylovich, M. I., Jitkovsky, V. D., Kameneva, A. L.
Формат: Стаття
Мова:Українська
Опубліковано: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2005
Теми:
Онлайн доступ:https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.5.35
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси