Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки

A technology is proposed for forming transition layers of palladium silicide through a solid-phase reaction of a palladium film with a silicon substrate directly during deposition, without the need for subsequent thermal treatment. Studies of the elemental composition and crystalline structure of...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2005
Автори: Anufriev, L. P., Baranov, V. V., Solovjov, J. A., Tarasikov, M. V.
Формат: Стаття
Мова:Українська
Опубліковано: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2005
Теми:
Онлайн доступ:https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.4.55
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси