Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах

• Date: 2005
• Main Author: Javadov, N. G.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2005
• Subjects: спектральные фильтровые приборы; озонометр; фоторезистор; пленка поликристаллического кремния; размер зерна; фоточувствительность
• Online Access: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.1.40
• Journal Title: Technology and design in electronic equipment

Предложено использовать мелкозернистые пленки поли­кристаллического кремния в качестве отсекающих фоторезисторов, спектральный диапазон пропускания которых можно регулировать размером зерен. Использование пленок поликристаллического кремния вместо монохроматических фильтров на основе стекла позволяе...