Метод проектирования топологии тонкопленочной микросборки с размерами пленочных элементов 10–50 мкм

The proposed method makes it possible to design thin-film elements with minimum sizes of 10–50 μm. The increase in microassembly integration is achieved by compensating for systematic errors in the structural parameters of thin-film elements, by modifying the algorithm for calculating resistor dimen...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2004
Автор: Spirin, V. G.
Формат: Стаття
Мова:Українська
Опубліковано: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2004
Теми:
Онлайн доступ:https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2004.5.06
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment
_version_ 1864489361477730304
author Spirin, V. G.
author_facet Spirin, V. G.
author_sort Spirin, V. G.
baseUrl_str https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai
collection OJS
datestamp_date 2026-05-06T11:52:10Z
description The proposed method makes it possible to design thin-film elements with minimum sizes of 10–50 μm. The increase in microassembly integration is achieved by compensating for systematic errors in the structural parameters of thin-film elements, by modifying the algorithm for calculating resistor dimensions, and by applying specific approaches to the placement of components and resistors.
first_indexed 2026-05-07T01:00:17Z
format Article
id oai:tkea.com.ua:article-1115
institution Technology and design in electronic equipment
keywords_txt_mv keywords
language Ukrainian
last_indexed 2026-05-07T01:00:17Z
publishDate 2004
publisher PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
record_format ojs
spelling oai:tkea.com.ua:article-11152026-05-06T11:52:10Z Method for designing the topology of thin-film microassembly with film element sizes of 10–50 μm Метод проектирования топологии тонкопленочной микросборки с размерами пленочных элементов 10–50 мкм Spirin, V. G. design topology thin-film microassembly resistor dimensions проектирование топология тонкопленочная микросборка размеры резисторов The proposed method makes it possible to design thin-film elements with minimum sizes of 10–50 μm. The increase in microassembly integration is achieved by compensating for systematic errors in the structural parameters of thin-film elements, by modifying the algorithm for calculating resistor dimensions, and by applying specific approaches to the placement of components and resistors. Рассматриваемый метод позволяет проектировать тонкопленочные элементы с минимальными размерами 10-50 мкм. Повышение интеграции микросборки достигается за счет компенсации систематических погрешностей конструктивных параметров тонкопленочных элементов, изменением алгоритма расчета размеров резисторов, особенностями размещения компонентов и резисторов. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2004-10-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2004.5.06 Technology and design in electronic equipment; No. 5 (2004): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 6-10 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 5 (2004): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 6-10 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2004.5.06/1018 Copyright (c) 2004 Spirin V. G. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
spellingShingle проектирование
топология
тонкопленочная микросборка
размеры резисторов
Spirin, V. G.
Метод проектирования топологии тонкопленочной микросборки с размерами пленочных элементов 10–50 мкм
title Метод проектирования топологии тонкопленочной микросборки с размерами пленочных элементов 10–50 мкм
title_alt Method for designing the topology of thin-film microassembly with film element sizes of 10–50 μm
title_full Метод проектирования топологии тонкопленочной микросборки с размерами пленочных элементов 10–50 мкм
title_fullStr Метод проектирования топологии тонкопленочной микросборки с размерами пленочных элементов 10–50 мкм
title_full_unstemmed Метод проектирования топологии тонкопленочной микросборки с размерами пленочных элементов 10–50 мкм
title_short Метод проектирования топологии тонкопленочной микросборки с размерами пленочных элементов 10–50 мкм
title_sort метод проектирования топологии тонкопленочной микросборки с размерами пленочных элементов 10–50 мкм
topic проектирование
топология
тонкопленочная микросборка
размеры резисторов
topic_facet design
topology
thin-film microassembly
resistor dimensions
проектирование
топология
тонкопленочная микросборка
размеры резисторов
url https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2004.5.06
work_keys_str_mv AT spirinvg methodfordesigningthetopologyofthinfilmmicroassemblywithfilmelementsizesof1050mm
AT spirinvg metodproektirovaniâtopologiitonkoplenočnojmikrosborkisrazmeramiplenočnyhélementov1050mkm