Формирование столбиковых выводов для GaAs пиксельных детекторов
In the fabrication of hybrid ionizing radiation pixel detectors, the sensor array is connected to the readout device using columnar interconnects via flip-chip technology. A process for forming Pb/Sn and In columnar interconnects on GaAs sensor arrays has been developed and investigated. A TiW/Ag sy...
Gespeichert in:
| Datum: | 2004 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2004
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2004.4.43 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Institution
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1865123547279523840 |
|---|---|
| author | Berishvili, Z. V. Jangidze, L. V. Skhiladze, G. A. Melkadze, R. G. Lezhneva, T. M. Peradze, G. G. |
| author_facet | Berishvili, Z. V. Jangidze, L. V. Skhiladze, G. A. Melkadze, R. G. Lezhneva, T. M. Peradze, G. G. |
| author_sort | Berishvili, Z. V. |
| baseUrl_str | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-05-13T21:34:08Z |
| description | In the fabrication of hybrid ionizing radiation pixel detectors, the sensor array is connected to the readout device using columnar interconnects via flip-chip technology. A process for forming Pb/Sn and In columnar interconnects on GaAs sensor arrays has been developed and investigated. A TiW/Ag system deposited by magnetron sputtering is proposed as the under-column metallization. The process conditions, sequence of operations, and parameters of the resulting columns are presented. |
| first_indexed | 2026-05-14T01:00:23Z |
| format | Article |
| id | oai:tkea.com.ua:article-1145 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-05-14T01:00:23Z |
| publishDate | 2004 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-11452026-05-13T21:34:08Z Formation of columnar leads for GaAs pixel detectors Формирование столбиковых выводов для GaAs пиксельных детекторов Berishvili, Z. V. Jangidze, L. V. Skhiladze, G. A. Melkadze, R. G. Lezhneva, T. M. Peradze, G. G. hybrid detector flip-chip technology columnar lead gallium arsenide гибридный детектор флип-чип-технология столбиковый вывод арсенид галлия In the fabrication of hybrid ionizing radiation pixel detectors, the sensor array is connected to the readout device using columnar interconnects via flip-chip technology. A process for forming Pb/Sn and In columnar interconnects on GaAs sensor arrays has been developed and investigated. A TiW/Ag system deposited by magnetron sputtering is proposed as the under-column metallization. The process conditions, sequence of operations, and parameters of the resulting columns are presented. При изготовлении гибридных пиксельных детекторов ионизирующего излучения соединение сенсорной матрицы со считывающим устройством осуществляется с помощью столбиковых выводов по флип-чип-технологии. Разработан и исследован процесс формирования столбиковых выводов из Pb/Sn и In на сенсорных GaAs-матрицах. В качестве подстолбиковой металлизации предложена система TiW/Ag, осаждаемая методом магнетронного распыления. Приведены технологические режимы, последовательность операций и параметры полученных столбиков. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2004-08-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2004.4.43 Technology and design in electronic equipment; No. 4 (2004): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature ; 43-45 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 4 (2004): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 43-45 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2004.4.43/1045 Copyright (c) 2004 Z. V. Berishvili, L. V. Jangidze, G. A. Skhiladze, R. G. Melkadze, T. M. Lezhneva, G. G. Peradze http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | гибридный детектор флип-чип-технология столбиковый вывод арсенид галлия Berishvili, Z. V. Jangidze, L. V. Skhiladze, G. A. Melkadze, R. G. Lezhneva, T. M. Peradze, G. G. Формирование столбиковых выводов для GaAs пиксельных детекторов |
| title | Формирование столбиковых выводов для GaAs пиксельных детекторов |
| title_alt | Formation of columnar leads for GaAs pixel detectors |
| title_full | Формирование столбиковых выводов для GaAs пиксельных детекторов |
| title_fullStr | Формирование столбиковых выводов для GaAs пиксельных детекторов |
| title_full_unstemmed | Формирование столбиковых выводов для GaAs пиксельных детекторов |
| title_short | Формирование столбиковых выводов для GaAs пиксельных детекторов |
| title_sort | формирование столбиковых выводов для gaas пиксельных детекторов |
| topic | гибридный детектор флип-чип-технология столбиковый вывод арсенид галлия |
| topic_facet | hybrid detector flip-chip technology columnar lead gallium arsenide гибридный детектор флип-чип-технология столбиковый вывод арсенид галлия |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2004.4.43 |
| work_keys_str_mv | AT berishvilizv formationofcolumnarleadsforgaaspixeldetectors AT jangidzelv formationofcolumnarleadsforgaaspixeldetectors AT skhiladzega formationofcolumnarleadsforgaaspixeldetectors AT melkadzerg formationofcolumnarleadsforgaaspixeldetectors AT lezhnevatm formationofcolumnarleadsforgaaspixeldetectors AT peradzegg formationofcolumnarleadsforgaaspixeldetectors AT berishvilizv formirovaniestolbikovyhvyvodovdlâgaaspikselʹnyhdetektorov AT jangidzelv formirovaniestolbikovyhvyvodovdlâgaaspikselʹnyhdetektorov AT skhiladzega formirovaniestolbikovyhvyvodovdlâgaaspikselʹnyhdetektorov AT melkadzerg formirovaniestolbikovyhvyvodovdlâgaaspikselʹnyhdetektorov AT lezhnevatm formirovaniestolbikovyhvyvodovdlâgaaspikselʹnyhdetektorov AT peradzegg formirovaniestolbikovyhvyvodovdlâgaaspikselʹnyhdetektorov |