Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур

• Datum: 2003
• Hauptverfasser: Lebedeva, T. S., Shpilevoy, P. B., Voitovich, I. D.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainisch
• Veröffentlicht: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2003
• Schlagworte: контролируемое анодное окисление; профили анодирования; тонкопленочные структуры; экспресс-контроль; технология джозефсоновских устройств; наноструктурированные оксидные пленки
• Online Zugang: https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.5.42
• Назва журналу: Technology and design in electronic equipment

The fundamentals of the controlled anodic oxidation method ("anodic spectroscopy"), its application techniques, and the results of studies of multilayer thin-film structures are presented. Anodizing profiles of structures formed by electron-beam and magnetron deposition of Nb and A...