Buchumschlag

Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением

The formation of small-sized contact windows by plasma-chemical etching and the main factors of polymer residue formation after etching are considered. The composition of polymer residues and the mechanism of their removal by chemical methods using PRX solutions have been studied. An indirect evalua...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2003
Hauptverfasser:	Ivanchikov, A. E., Kisel, A. M., Medvedeva, A. B., Plebanovich, V. I., Ponomar, V. N., Shikulo, V. E.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2003
Schlagworte:	плазмохимическое травление удаление полимерных загрязнений полимерные остатки растворы PRX термический метод удаления операция «оплавление контактов» разброс толщины диоксида кремния
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.5.46
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
von: Иванчиков, А.Э., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Оптоэлектронные свойства в гидрогенизированных тонких пленках a-Si1−xGex:H (x = 0−1), полученных плазмохимическим осаждением
von: Najafov, B. A., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей
von: Polozov, B. P., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
von: Poltavtsev, Yu. G., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
von: Borisenko, A. G., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Долговременные корреляции в диффузионном движении молекул воды и атомов благородных газов в растворах гелия и аргона
von: Voloshin, V. P., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Прогнозирование разброса параметров полевых транзисторов с барьером Шоттки на GaAs
von: Gorev, N. B., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
von: Fedorovich, O. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Прогнозирование содержания углерода в полупродукте на выпуске из большегрузных 350-т конвертеров с применением непараметрической статистики
von: Бондарь, В. И., et al.
Veröffentlicht: (2023)

Термоэлектрические свойства сплавов системы TlInTe2–TlYbTe2
von: Zarbaliyev, M. M., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Температурные и концентрационные зависимости подвижности носителей заряда в твердых растворах (PbS)1–x(Sm2S3)x
von: Hasanov, G. A., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Математические модели формирования химической связи твердых растворов CdSb–ZnSb
von: Ashcheulov, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Режим работы двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства, обеспечивающий минимальную интенсивность отказов
von: Dudin, S. V., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Two Worlds of Cultural Succession
von: L. Ponomar
Veröffentlicht: (2022)

Folk Attire as a Cultural Phenomenon in Polish Studies. Atlas Polskich Strojow Ludowych. Stroje ludowe jako fenomen kulturowy / Praca zbiorowa pod redakcją Anny Weroniki Brzezińskiej i Marioli Tymochowicz. Wrocław: Polskie Towarzystwo Ludoznawcze, 2013
von: L. Ponomar
Veröffentlicht: (2019)

The Evacuated Collection at the Kirovohrad Regional Art Museum
von: L. Ponomar
Veröffentlicht: (2016)

The Preserved Heritage (Volyn Local Historical Museum for Now)
von: L. Ponomar
Veröffentlicht: (2014)

Trends of Researching Folk Attire in the Light of Modern Interpretation
von: L. Ponomar
Veröffentlicht: (2021)

Sign Function of Clothes in the Mid-XXth - Early XXIst Centuries Ukrainian Ritual Culture: Manifestations of Local Traditions (After the Expeditionary Materials)
von: L. Ponomar
Veröffentlicht: (2015)

Chernihivshchyna Folk Attire: Traditions and Prospects
von: L. Ponomar
Veröffentlicht: (2017)

State, Method and Intermediate Results of the Drafting of Post-quantum Cryptographic Primitives
von: V. A. Ponomar
Veröffentlicht: (2017)

Поиск радиовспышек, вызванных столкновениями метеороидов с Луной
von: Вольвач, А.Е., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Моделирование крупномасштабных движений галактик, вызванных одиночным аттрактором
von: Тугай, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Comparative Analysis of Post-Quantum Asymmetric Encrypt Algorithms
von: V. V. Onopriienko, et al.
Veröffentlicht: (2019)

Определение групп рисков при заболеваниях, вызванных COVID-19
von: Вагис, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2020)

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
von: Ivanchykau, A. E., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
von: Ivanchykou, A. E., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Разработка конструкций керамических имплантатов из композита на основе диоксида циркония. 1. Дентальные имплантаты
von: Лашнева, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Разработка конструкций керамических имплантатов из композита на основе диоксида циркония. II. Керамическая головка эндопротеза тазобедренного сустава
von: Лашнева, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Отражение эмоциональной значимости визуальных стимулов в характеристиках вызванных ЭЭГ-потенциалов
von: Коваленко, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Применение метода зрительных и слуховых вызванных потенциалов мозга в детской неврологии
von: Колкер, И.А.
Veröffentlicht: (2003)

Значение определения иммуноглобулина G в диагностике поражений миокарда, вызванных энтеровирусной инфекцией
von: Прилуцкий, А.С., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Эффективное сечение рассеяния для неоднородностей спорадического Е-слоя, вызванных атмосферной турбулентностью
von: Кызьюров, Ю.В.
Veröffentlicht: (2005)

Патоморфология экспериментальных легочных повреждений, вызванных действием алкоголя и эндотоксина Escherichia coli
von: Бабанин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)

The diagnostics of semiconductor structures at development and manufacturing products
von: L. D. Bujko, et al.
Veröffentlicht: (2002)

Иммунофлуоресцентный анализ нарушений в структуре синаптонемных комплексов, вызванных ксенобиотиками в сперматоцитах мыши
von: Ацаева, М.М., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Связь характеристик вызванных ЭЭГ-потенциалов с уровнем нейротизма у взрослых здоровых испытуемых
von: Коваленко, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Эмоциональная значимость стимула и черты личности: отражение в паттерне вызванных ЭЭГ-потенциалов
von: Коваленко, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Transformation of Weakly Magnetic Minerals (Hematite, Goethite) to Magnetic Magnetite in Aqueous Medium of Iron (II) Salts
von: T. S. Antonenko, et al.
Veröffentlicht: (2018)

Уменьшение повреждаемости статора мощных турбогенераторов, вызванных вибрацией в торцевой зоне (анализ, гипотезы, эксперимент)
von: Шумилов, Ю.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)