Grigoriev, N. N., Kravetsky, M. Y., Pashchenko, G. A., Sypko, S. A., & Fomin, A. V. (2003). Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Grigoriev, N. N., M. Yu Kravetsky, G. A. Pashchenko, S. A. Sypko, und A. V. Fomin. Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2003.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Grigoriev, N. N., et al. Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2003.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.