APA (7th ed.) Citation

Grigoriev, N. N., Kravetsky, M. Y., Pashchenko, G. A., Sypko, S. A., & Fomin, A. V. (2003). Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Grigoriev, N. N., M. Yu Kravetsky, G. A. Pashchenko, S. A. Sypko, and A. V. Fomin. Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2003.

MLA (8th ed.) Citation

Grigoriev, N. N., et al. Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers, 2003.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.