Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников
A physical model has been developed for operations of contactless chemical‑mechanical polishing and chemical cutting. Analytical expressions were obtained that relate the geometry of the formed surface and the processing rate to the physical parameters of the ongoing processes. These results can be...
Збережено в:
| Дата: | 2003 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2003
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.2.36 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
| Завантажити файл: |  |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
Особенности изготовления Cd1–xZnxTe-детектора ионизирующего излучения
за авторством: Tomashik, Z. F., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Tomashik, Z. F., та інші
Опубліковано: (2013)
Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников
за авторством: Григорьев, Н.Н., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Григорьев, Н.Н., та інші
Опубліковано: (2003)
ПРИМЕНЕНИЕ ТЕОРИИ ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫХ УРАВНЕНИЙ С ИМПУЛЬСНЫМ ВОЗДЕЙСТВИЕМ К АНАЛИЗУ ПРОЦЕССОВ В ИМПУЛЬСНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯХ НАПРЯЖЕНИЯ
за авторством: Шидловская , Н.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Шидловская , Н.А., та інші
Опубліковано: (2013)
ПРИМЕНЕНИЕ ТЕОРИИ ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫХ УРАВНЕНИЙ С ИМПУЛЬСНЫМ ВОЗДЕЙСТВИЕМ К АНАЛИЗУ ПРОЦЕССОВ В ИМПУЛЬСНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯХ НАПРЯЖЕНИЯ
за авторством: Шидловская , Н.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Шидловская , Н.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Устройство для бесконтактного измерения электропроводности полупроводников
за авторством: Ascheulov, A. A., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Ascheulov, A. A., та інші
Опубліковано: (2007)
Устройство для бесконтактного измерения электропроводности полупроводников
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)
Разработка конструкции и технологии изготовления диодов Ганна для КВЧ-терапии
за авторством: Иванов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Иванов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2004)
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
за авторством: Poltavtsev, Yu. G., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Poltavtsev, Yu. G., та інші
Опубліковано: (2003)
Расчет транспортных свойств детекторов гамма-излучения на основе полуизолирующих полупроводников
за авторством: Zakharchenko, A. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Zakharchenko, A. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Выращивание гетероструктур GaSb/InAs жидкофазной эпитаксией без растворения подложки
за авторством: Maronchuk, I. E., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Maronchuk, I. E., та інші
Опубліковано: (2003)
Химическая связь сурьмы. Технологические аспекты
за авторством: Ashcheulov, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Ashcheulov, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)
Поляриметрия подложек компакт-дисков
за авторством: Савенков, С.Н., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Савенков, С.Н., та інші
Опубліковано: (2005)
Устройство для управления шаговым двигателем на ПЛИС
за авторством: Vichuzhanin, V. V.
Опубліковано: (2006)
за авторством: Vichuzhanin, V. V.
Опубліковано: (2006)
Использование КНИ-транзистора в качестве генератора колебаний напряжения
за авторством: Нинидзе, Г.К., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Нинидзе, Г.К., та інші
Опубліковано: (2005)
Механизм возникновения шумовых максимумов в элементах с нелинейными вольт-амперными характеристиками
за авторством: Головко, А.Г.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Головко, А.Г.
Опубліковано: (2004)
Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (2002)
Особенности разработки термостабилизированных германиевых фотодиодов
за авторством: Рюхтин, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Рюхтин, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
за авторством: Полтавцев, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Полтавцев, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2003)
Однокристальная микро-ЭВМ с аналого-цифровым преобразователем
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
Схемотехническое моделирование и синтез активных СВЧ-фильтров на полевых транзисторах Шоттки
за авторством: Филинюк, Н.А., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Филинюк, Н.А., та інші
Опубліковано: (2005)
Проектирование высоковольтных КМОП ИС ключей и коммутаторов на основе объемного кремния
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++-p+-перехода
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2003)
Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
Однокристальная микро-ЭВМ для систем с высокоразвитыми локальными сетями
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
Энергонезависимая память на элементах FLOTOX для БИС электронных карт
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2002)
Проектирование схемы считывания для матриц ИК-фотодиодов среднего диапазона длин волн
за авторством: Рева, В.П., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Рева, В.П., та інші
Опубліковано: (2004)
Активное термостатирование полупроводниковых СВЧ-генераторов
за авторством: Кравченко, А.В., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Кравченко, А.В., та інші
Опубліковано: (2005)
БИС электронных пластиковых карт с предварительной оплатой
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2001)
Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
за авторством: Иванов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Иванов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2002)
Оптимизация уровня безотказности в сложных устройствах микроэлектроники
за авторством: Креденцер, Б.П., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Креденцер, Б.П., та інші
Опубліковано: (2002)
Экспресс-метод контроля качества полупроводниковых диодных кристаллов
за авторством: Павлюк, С.П., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Павлюк, С.П., та інші
Опубліковано: (2004)
Схемное решение построения каскадного регистра сдвига
за авторством: Куценко, Г.В.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Куценко, Г.В.
Опубліковано: (2004)
Слаботочные диоды Ганна на основе арсенида галлия для КВЧ-аппаратов
за авторством: Яцуненко, А.Г., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Яцуненко, А.Г., та інші
Опубліковано: (2005)
Малосигнальная модель транзистора в разработке СВЧ малошумящих усилителей
за авторством: Емцев, П.А.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Емцев, П.А.
Опубліковано: (2004)
КМОП БИС 16-разрядного микропроцессора, устойчивого к воздействию γ-радиации
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2004)
Схемное решение построения матричного регистра
за авторством: Куценко, Г.В.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Куценко, Г.В.
Опубліковано: (2005)
Силовая микросхема для блоков управления газоразрядными источниками света
за авторством: Гаврилюк, Г.И., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Гаврилюк, Г.И., та інші
Опубліковано: (2002)
КМОП ИС задающего генератора с кварцевой стабилизацией частоты
за авторством: Золотаревский, В.И., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Золотаревский, В.И., та інші
Опубліковано: (2003)
Исследование поляриметрических характеристик подложек оптических дисковых носителей
за авторством: Петров, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Петров, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Выбор обмотки якоря бесконтактного совмещённого синхронного генератора
за авторством: Дёгтев, В.Г., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Дёгтев, В.Г., та інші
Опубліковано: (2009)