Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия
The paper demonstrates the possibility of controlling the parameters of gallium arsenide epitaxial layers using radiation treatment with fast neutrons. From a technological perspective, neutron irradiation is proposed to be divided into two types depending on the radiation dose. The first one (radia...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технологія та конструювання в електронній апаратурі |
|---|---|
| Datum: | 2002 |
| Heft: | 6 |
| Сторінки: | 7-9 |
| ISSN: | 3083-6549 |
| Автори та афіліації: |
|
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2002
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.07 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
| Завантажити файл: |
|
Institution
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1873277323730485248 |
|---|---|
| author | Zavadsky, V. A. Lenkov, S. V. Lukomsky, D. V. Mokritsky, V. A. |
| author_facet | Zavadsky, V. A. Lenkov, S. V. Lukomsky, D. V. Mokritsky, V. A. |
| author_institution_txt_mv | [
{
"author": "V. A. Zavadsky",
"institution": "Odessa National Maritime Academy, Odesа, Ukraine",
"orcid": ""
},
{
"author": "S. V. Lenkov",
"institution": "National Aviation University, Kyiv, Ukraine",
"orcid": ""
},
{
"author": "D. V. Lukomsky",
"institution": "National Aviation University, Kyiv, Ukraine",
"orcid": ""
},
{
"author": "V. A. Mokritsky",
"institution": "Odessa National Maritime Academy, Odesа, Ukraine",
"orcid": ""
}
] |
| author_sort | Zavadsky, V. A. |
| baseUrl_str | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai |
| collection | OJS |
| container_end_page | 9 |
| container_issue | 6 |
| container_start_page | 7 |
| container_title | Технологія та конструювання в електронній апаратурі |
| container_volume | |
| datestamp_date | 2026-08-11T15:29:27Z |
| description | The paper demonstrates the possibility of controlling the parameters of gallium arsenide epitaxial layers using radiation treatment with fast neutrons. From a technological perspective, neutron irradiation is proposed to be divided into two types depending on the radiation dose. The first one (radiation doses up to 1·1015 cm–2) can serve as a means of improving the properties of the layers by increasing carrier mobility and operation speed. The second one (radiation doses exceeding 5·1015 cm–2) reduces the concentration and mobility of charge carriers. |
| first_indexed | 2026-08-12T01:01:10Z |
| format | Article |
| fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�
���������
�� ����
������
����
��
�
���
������
�
��������
� !��
"
�!
��
����
�!
#������
��������������� ��
��
���
$%&%'�
�!
&���(
������������������ �
���������������������
���
�������
���
��������������������
�
�
�
)�������
#������
���!
*�����
�����*� �
#�������
���!
����
����+�����
��������
�
,
�!
%����
-��!
���������.�
��������
�
/012345
627318629!3:;2<!=7><<2!?2
@ABC-BD
#&A)ED-BC
&FG�HFIB
-DJ�H#-KIB
-K
L'B�K%GBKAM-FJ
KHGD-B�
NKAABC
��������� ����!��"�#� $%&� '(�)*
+'(��&��)�),("�)�)�%�&��(�&��)�+%)�
���")�'#�-.� "'�( � �&"(�)��� /�'')*� "
%���0#1�&��)�2)����3��4&�4���)�4-�
"�&-�)��(3�&����)�
C������
�������
�����
�
��
���*���
���
�
��.0
�
��
�������
�����OP��
�
�+��.*�
��
�������0
�����
�����
�
*�
�������
Q�R!
@
�+����
���������
������O���
���
���
��
���*����
���������
����
���������
��S�
��P*�S���
O
�����OP�����
�����0
��
�����
�
�
��������+�����
��� �
Q��
�R�
���
�0
�+��
����T��
��T����O
����+�����
�
�����*�+��0
���
���U��*.
�����OP�����
������������
������0
���
�
�����������������
���*.T������
�
)����0
�.
�
H�����
Q�"VR!
@
���
� W��
��U�
�
��������
�����P
��P*�S���0
��
��P����
��
�������������
�U��+���
U.�
�.0
*�
���
����*�
��
�����
��
���
������O�.�
�����
$LG(
��������
�����
�
���O�
�������������
�����0
����
����
��X�P�+����*�
�����
��*�
LG
Y2Z<!
#U��+����
���
����*�
�����������O
�����������0
�.�
���
������O�.�
����
��������
�����
�
��
�
�+���
������
������
��
���.�
���*����
$�!!!��([�����*\ �
�
��S�
����������.�
�����*
�
������*
$�*!
�������(!
B�
�+����*
U.�
�.�
���
�����
�
��������
�]�V
I�@
���S��
������
��
���
�����
���
^N0�V�!
'�
��
���
0
�����
�P*�� ��
*�
���*
��
������
X��O��
\
�����
�P
�.����+��
��
*���
$__�_`(
��W����
���V
**
�
���*�
0
��*
��\�V
**!
@��*
�U��+���
"
�
*���
�.���S��
�U��P���
�����
�U��+���
"
�
*��!
N�**�0��
�����
O
������P�
���
��G?
�P*�� ��
������� �����.*
��
��0
���*
�
����
����*
a2b$c>(
���*�
��*
�V
**
��
����
�0
���
d�
**
�
���
��!
I���.�
����
��*�W���
*�S��
���*
����
����*�
�P
�����
�����
��W����
_�V
**
�
���*�
��*
�"]V
**!
@
��+��
��
�����P����W��
����0
��
��.
�����OP�����
*���������O�.�
�*���
���.�
�����P�
��
KB0���]!
H��+�
����+��.
��
�����O����
��
���
���
�����
����P������
��
X��*���
Q�R
Eaqp
S
�
p=0 �
$�(
���
5&
"
���W��O
X�
�����,
6�"
�XX��
�����
O
�����
�����
��
���*�
���
e��0
�+���"��
��
��e,
7
"
��������
��
�����W����
�
�����
�����
�
��S���
��
��
���,
8�"
�.���
��**�0����
��
��
��
�������
�P�
���
��G?,
9
"
�������*��
��O��
�XX��
�����
O
X�
�����!
��(�(�)(� +'(��&��)�),("�).� %�&��(�&� � �&"(�)��� /�'')*�� �4'$,(���/�� �(3�&����)
:�'*� ���-��4'$,(�)*� ;<;=;>�"�?@A
��������� �
���
����
���
��� �
����������
����
�������
�–3
����
��� ����
�2���
���
�������
�
�� ���
�������
�
����
-
��������
-
�����
���!
���
�������
�
�� ���
�������
�
����
-
��������
-
�����
���!
���
�������
�
�� ���
�������
�
����
-
��������
-
�����
���!
������"
0,01888 0,01895 +0,4 1,39·1017 1,35·1017 –17,3 2380 2880 +21,0
0,01632 0,01638 +0,4 1,53·1017 1,26·1017 –17,7 2498 3029 +21,3
#���$
������%��&
��"
����%�� ��
0,06176 0,36151 +485,3 1,86·1016 4,8·1015 –74,1 5430 3591 –33,86
0,05840 0,51560 +782,8 2,39·1016 4,40·1015 –81,59 4475 2770 –38,10
'
��"
����%�� ��
����$
������%����������
0,00563 0,00639 +13,44 3,70·1017 3,04·1017 –17,80 2996 3207 +7,04
0,00520 0,00517 –0,70 6,86·1017 5,76·1017 –16,00 1751 2100 +19,9
'
��"
����%�� ��
����$
������%���
�"��
0,00191 0,00199 +4,81 1,45·1018 1,2·1018 –17,24 2261 2595 +14,80
0,05690 0,05550 –2,50 1,05·1018 8,63·1017 –17,8 104 130 +25,1
f
���������
�� ����
������
����
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
d��+���
������.�
����*�
���
�����
��
�
�����
�U��+���
��P�*�
�[���]
�*\�
���
�����
��������.
�
�U����!
'����
�U��+���
U����
�.����*�
��P�*�
���
�����
����O���
�����
�������
�����
�
�
���O0
�.�
���+� �
��P���
���
���
��O���
+
�
���
����P*�S0
��
U.��
�P*���
O
*�
���*
@��0���0'��!
K����P
����+���.�
����.�
����P.���
�
+
�
���
*��.�
��P��
�U��+���
$��
����V
�*\�(
�
�.�����
��0
+��O���
������
�����
���U���.�
����
����
P�� ��
�
��� �
��
����
��X�P�+�����
�����
����
���
�P*�0
� �
� 5
�*��OT��
�
������
����
�
��P���
��
���0
��S���
O
����
����
P�� ��!
'��
�
�*
�
����O
��
�P0
*�����
��
P�����
�
���
�������W��
���*���!
'��
U��OT��
��P��
�U��+���
��U�����
�
��*�������
*�
������
���
����������.*�
��X��
�*�!
L
�
���0
�� �
�
�
�*��OT����
������
�����
����
����
P�0
� ��
�
��
�����S���
�
�
��P���
����
����+��.
����O0
����
�����
������
��� !
BP*������
����*�
���
���
P���O
��S�
��
P�����
�
���
�������W��
���*���!
L
�
���U�����
�
����T�
����.
��
���X����
P�0
����*��
�
�
����
��O����
�P*�����
�
����
������0
�����
�
�����S���
�
�
��+��O����
P��+���
���0
���
�����
����
����
P�� ��
�
��P.
�U��+���
���
0
����*�
$�*!
�� �
��(�
���
B��
B
"
������
����
��0
��
����
P�� ���
µ��
µ
"
�����S���
O
"
��
�
�����
�U��+��� �
���
��
�
�����!
'��
��P��
�U��+���
$�!!!��([���]
�*\�
�P*������
����*�
���
P�����
��O0
��
�
��+��O���
������
�����
����
����
P�� ��
�
��
P�����
�
��P.
�U��+���
$����.�
;�
@�
C(!
'��
B�g�[��
��
�*\
P���O
��U�����
�
���+T����
����*�
0
���
���
������O����
���
��P�����*�
�
���
�
���0
���
�����
�������W��
���*���!
'��
��P��
�U��+�0
�� �
U��OT��
V[���V
�*\��
��U�����
�
P��+�
��O�.�
�P*�����
����*�
����
P���� W��
�
��P.
�U��+�0
��
�
��
P���� W��
�
���
�������W��
���*���!
K����P
�P*�����
������
�����
����
����
P�� ��
�
��P.
�U��+���
���
����*�
����P.���
�
+
�
��
�*��OT�����
����U���
��P��O
�
�*�
����+���.*
�
��U�
�
Q��
�!
]]R�
��U�����
�
�
��T��
��U�
�
���
��+��O���
������
�����
��
���.�
���*����
�
���
B�
≤
$V�!!!�V�(�'�
$�(
���
�'
"
��P�
�U��+���
���
����*�!
'��
�
�*
*��OT�*
��P�*
���
��
�
���
U��OT��
P��+����
+��������
���XX�����
�!
G
�����
O
�����
�
�U��+����
���
����*�
P���0
��
�
P��+�
��O���
�
�����
�
��P.
�U��+��� !
#U0
��+����
��P�*�
���
�����
U��OT�
V[���V
�*\�
�.P.0
���
U��OT��
�P*�����
����
��X�P�+�����
�����
�
�����!
#����*
�
�
��
������ �
�*�
��*��������
����0
����
P�� ��
����������.*�
��X��
�*�!
G+�
��*�
+
�
�������
�.������
����
����
P�� ��
���
����
��
������������O��*�
P�����5
BhB�[>ij$\DB�'(� $ (
���
DB
"
���XX�����
�
�����
���P��W��
������
O
�.0
������
����
����
P�� ��!
'��
�U��+����
��P�*�
���
�����
$�!!!���([���]
�*\�
�
��+��O���
������
�����
���U���.�
����
����
P�� ��
�
��������
$�!!!���([����
�*\
���P����O�
+
�
����+���
B
P�����
��
��O��
�
��+��O���
������
�����
��0
��
����
�
���
������O��*
�����
��
�
�
��P.
�U��+�0
�� !
G�����
�
*�
�
O�
+
�
���
P�����*��
O
����
���S�.�
�����
��!
L
�
��P��� �
��������S�
O
��0
W��
��������
��
�������
*����
����
��P��+�.�
��
�����
�������
*�����P*��
��P����
��
���
�������
�U��+���
��
�����
��
���
������O�.�
�����
����0
����
����� !
kkk
����*
�U��P�*�
��� ���
�U��+���
���
����*�
��
����
��X�P�+�����
����*�
�.
���
������O�.�
�����
��������
�����
�������
�
������W�*
��P��O
�
�*!
�!
@�� ���
���
�����
��
����
��X�P�+�����
��0
��*�
�.
���
������O�.�
�����
��������
�����
��0
���
���P��
�
��W��
�������*
����
�����
������
�
P��+��� �
��P.
�U��+��� 5
��
���
�U��+����
��
���0
�
���
���+T��
�����
��
������
�
�����
���
��
��0
��*�
�.
����T��
� !
'�
�
�*�
���P����
����
��P�
*�S��
�������
�+�
�
O
������*
�
�����
�
�����
�
�����
�
�U��+����
���
����*�!
�!
'���S����
�U����S������
������
��
����.�
�P��*���
P�����*��
�
����*�
���
B��
µ��
�
������0
� �
�
��+�
����*
��
P��+����!
'��
�
�*
�.��� �
0
�
���
������.�
���+� !
'���.�
������� �
�
��+�0
����*
B≥$V�!!!�V�(�'!
@
�
�*
���+��
�U��+����
1016 1017 1018 n
0
, �*–3
1, 2, 3 4
5
1, 2, 3 4 5
1016 1017 1018 n
0
, �*–3
�(
B
B�
100
10–1
10–2
U(
µ
µ�
1,0
0,5
0
d�����*��
O
�
����
��O����
�P*�����
������
�����
$�(
�
�����S���
�
$4(
�
��+��O���
������
�����
����0
����
P�� ��
�
��������
�����
���
��P��+�.�
��P��
�U0
��+���
���
����*�5
"
�[���]
�*\�,
"
V[���]
�*\�,
"�[���V
�*\�,
"
V[���V
�*\�,
"
�[����
�*\�
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
_
���������
�� ����
������
����
���+T��
�����
��
�����!
'���U�.�
�XX��
��
��0
+��
�
�
S���
��
���" ��lG!
@
����
���+��
��� �0
� �
�
��
B≤$V�!!!�V�(�'!
d���O
��P��O
�
�*
�U��0
+���
�� �
�
��*�������
���
����������.*�
��X��
�*�
����
O
��
�����P������W���
���
� �� !
�����
�XX��
������ �
��*�+�����
��
��+����
O
��
P��+����
�*����
��.
VV�"���lG!
!
'�������S�
��O��
����.�
���+��
*�S�
U.
O
�.P���
��������*
��U�
����.�
�
�*��
����
����0
+�����
��T�
��
���
�P
*�S���P��O����
�
����� �0
���
����S����
���
����
���*
���
�����!
)��+T�0
���
�
���
��.
���
�
�*
�P*�� �
������
��������0
��
�
���������
����
����
P�� ��!
%��*�
����
P���O
������
����
���
O
�U��P�����
����
����
���
m��0
��������.�
��X��
"
���*��O
"
������� n�
���0
��U�
���W��
�
���
���U���.�
����
����
P�� ��!
@
����
���+��
*�S�
U.
O
�U��������
��P�����*
���
U��OT��
��P��
�U��+���
����������.�
��X��
���
�.�
����W��
�
����
���U����
�����
���.�
���*�0
���!
L
�
�Uo �� �
���O���
��*��������
�����
�
��*�+�����
��
��+����
O
�����
�XX��
�!
]!
@�P����
���
�U��+���
��
P�����
�
���
��0
�����W��
���*���
�
���
S�����
�
���
$�����S0
��
���
���
������O�.�
����(!
V!
@
��������+����*
�����
�
�U��+����
���
��0
��*�
���
�����
��
���������
�����
��*�
���
��0
����O�.�
�����
��������
�����
������
��P����
O
��
���
����
�
P�����*��
�
�
��P.
�U��+��� !
'��0
�.�
���
"
*��.�
��P.
�U��+���
��
�[���V
�*\�!
#�
*�S�
���S�
O
�����
��*
���+T���
�����
�
�����
$���.T���
�����S���
�
����
����
P�� ��
�
�����0
+���
U.�
������
�� (
�
��� �� �
�
���U����
�X0
X��
����
��
�����
�
��+��O���
������
������
���0
U���.�
����
����
P�� ��
U����
�[����
�*\ !
@
����
���
\
��P.
�U��+���
U����
V[���V
�*\�!
#�������
�XX��
���
��P����
��
\
�*��OT����
������
�����
�
�����S���
�
����
����
P�� ��!
��
���.T���
�
�����
�
�
�����*�
����
�U��+���
������
����0
����
O
����
Y2Z<
��
������
�����
�������W��
���0
*���
��
*����
V[���f
�*\ !
BG'#AMd#@K--FD
BG�#E-B%B
�!
%��
����
G!
'!
I�����P*.
������ �*���
�
���
�0
���U��P�����
���������
��
�����
p7\Z9
���
�U��+�0
���
α0+��
���*�
��
���������
�
����
����������
�
����
������
������
���!"
�__f!"
�
�!"
G!
�" _!
�!
%��
����
G!
'!
���������
�
*�
�������������
���
�������
���
�� �����
���.�
����
����.�
��*�����0
��
��
��*
S�!"
�___!"
�
�" !"
G!
�"] !
!
qr>s:=6
t!�
u21=:;=6
Z!
vs7>s3:9
=w
7>w>x;36>
xsy<;24
<;s?x;?s>
zy
3=:3{3:9
s2732;3=:
$>ww>x;
=w
<1244
7=<><
=w
s2732;3=:
(
��
ps=9s21
=w
;r>
u|}
�__f
}js3:9
u>>;3:9!"
}2:0cs2:x3<x=�
qZ!"
�__f!"
p!
V�!
]!
K!
�!
���f��
GGGH!
G����U
X��*�������
������0
���
�.�
���������������.�
�
���
��
~
@!
A!
K����
�0
*���
�!
B!
&���.��
G!
'!
%��
����
�
��!"
��!�_
�__�!
V!
%�������
H!
@!�
������
�!
K!�
��P��
A!
G!
@�P*�S0
���
�
������������
���������
�
����P����
��
������
��
L���
�����
������!
G��!
'��������������.�
���0
U��.!\
�_ff!"
�
�!"
G!
]�"V�!
�!
I��������
@!
K!�
d��������
@!
K!
@�� ���
�������0
�����
�U��U�
��
��
����*�
�.
��
�����O�.�
����U��P�0
��
����
�*����
��.
��
���������
�
����
����������
�
����
������
������
���!"
����!"
�
�!"
G!
�V"��!
�!
�>4y2>6
Z!
/!�
�s>{2
b!�
�>:9>s
/!
c!
>;
24!
|2732;3=:
s><3<;2:x>
=w
Y2Z<0z2<>7
13xs=�26>
}xr=;;�y0z2ss3>s
7>0
63x><!
}=1>
jry<3x=0;>xr:=4=93x24
2<j>x;<!"
%�>�!5
�-�DH'HDG
A���
�__f!
��������
��
���
����
������ � ��
���������
�� � �������
�� �����������
������������ � ��
����
�
���������� ��
������
����������������� ����������������
��������������������
� !� ��"� �
�!�#� �����$� �������%���"&�#� '� ��(����� ��
��)*� +�������� (����
�,��(�"&����"� &�������%"���(��"�� ����$���������������"������%������������-$
��%������� -.�
����(���*�/ ��0"�
� ������&"������������������1�2������$�'3��3$
4�����$� � *� +��!��������$� 53$� ��������� ������� � �� ��� 6�789:1� ;<68=>?6@@8*A6;
�������� ������� � ��������������������� ��
��
�(���"�� ���
�"���"&� �"�"&-�#�����(�������� ��"���(� ��� ���
�"����� ��������
���. ������ ���0"�(���(���B
�(���"�����(��"�"&�������� ����� �(�B
�(���"��������"&������������
�B
�(���"��������"&����&(�����������$������"�� �-C�(�$����
�����
��$���"����
� �� %�"�"� �D������ �B
�(���"������"&�������$���"�� D$�����
��%�"��"�$���"������"����"� &���
��*
�������������� �!�"�
�#$��%&%'(�)��*&(�+,�-./012��34-0567-880$9-3:�
+�%;,!%'(�)<$��!(##�����$���,;,�,=#>�"��?@:��A=,�%'(�)B?C DEE.FD.GH��DEE.DI.CE:
|
| id | oai:tkea.com.ua:article-1316 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| issn | 3083-6549 |
| keywords_txt_mv | |
| language | English |
| last_indexed | 2026-08-12T01:01:10Z |
| publishDate | 2002 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| resource_txt_mv | wwwtkeacomua/68/1dfb6ce940db9dfc944aba5448524268.pdf |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-13162026-08-11T15:29:27Z Influence of fast neutron irradiation on epitaxial gallium arsenide Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия Zavadsky, V. A. Lenkov, S. V. Lukomsky, D. V. Mokritsky, V. A. GaAs epitaxial layers fast neutron irradiation carrier mobility GaAs эпитаксиальные слои облучение быстрыми нейтронами подвижность носителей заряда The paper demonstrates the possibility of controlling the parameters of gallium arsenide epitaxial layers using radiation treatment with fast neutrons. From a technological perspective, neutron irradiation is proposed to be divided into two types depending on the radiation dose. The first one (radiation doses up to 1·1015 cm–2) can serve as a means of improving the properties of the layers by increasing carrier mobility and operation speed. The second one (radiation doses exceeding 5·1015 cm–2) reduces the concentration and mobility of charge carriers. Показана возможность управления параметрами эпитаксиальных слоев арсенида галлия с помощью радиационной обработки быстрыми нейтронами. В технологическом аспекте облучение нейтронами предлагается разделить на два вида в зависимости от дозы облучения. Первый (дозы облучения до 1·1015см–2) может служить средством улучшения свойств слоев: повышение подвижности носителей заряда и увеличение быстродействия. Второй (дозы облучения более 5·1015см–2) снижает концентрацию и подвижность носителей заряда. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2002-12-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.07 Technology and design in electronic equipment; No. 6 (2002): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 7-9 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 6 (2002): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 7-9 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.07/1215 Copyright (c) 2002 Zavadsky V. A., Lenkov S. V., Lukomsky D. V., Mokritsky V. A. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | GaAs эпитаксиальные слои облучение быстрыми нейтронами подвижность носителей заряда Zavadsky, V. A. Lenkov, S. V. Lukomsky, D. V. Mokritsky, V. A. Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия |
| title | Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия |
| title_alt | Influence of fast neutron irradiation on epitaxial gallium arsenide |
| title_full | Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия |
| title_fullStr | Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия |
| title_full_unstemmed | Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия |
| title_short | Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия |
| title_sort | влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия |
| topic | GaAs эпитаксиальные слои облучение быстрыми нейтронами подвижность носителей заряда |
| topic_facet | GaAs epitaxial layers fast neutron irradiation carrier mobility GaAs эпитаксиальные слои облучение быстрыми нейтронами подвижность носителей заряда |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.07 |
| work_keys_str_mv | AT zavadskyva influenceoffastneutronirradiationonepitaxialgalliumarsenide AT lenkovsv influenceoffastneutronirradiationonepitaxialgalliumarsenide AT lukomskydv influenceoffastneutronirradiationonepitaxialgalliumarsenide AT mokritskyva influenceoffastneutronirradiationonepitaxialgalliumarsenide AT zavadskyva vliânieoblučeniâbystryminejtronaminaépitaksialʹnyjarsenidgalliâ AT lenkovsv vliânieoblučeniâbystryminejtronaminaépitaksialʹnyjarsenidgalliâ AT lukomskydv vliânieoblučeniâbystryminejtronaminaépitaksialʹnyjarsenidgalliâ AT mokritskyva vliânieoblučeniâbystryminejtronaminaépitaksialʹnyjarsenidgalliâ |