Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия

The paper demonstrates the possibility of controlling the parameters of gallium arsenide epitaxial layers using radiation treatment with fast neutrons. From a technological perspective, neutron irradiation is proposed to be divided into two types depending on the radiation dose. The first one (radia...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Технологія та конструювання в електронній апаратурі
Datum:2002
Heft:6
Сторінки:7-9
ISSN:3083-6549
Автори та афіліації:
  • V. A. Zavadsky — Odessa National Maritime Academy, Odesа, Ukraine
  • S. V. Lenkov — National Aviation University, Kyiv, Ukraine
  • D. V. Lukomsky — National Aviation University, Kyiv, Ukraine
  • V. A. Mokritsky — Odessa National Maritime Academy, Odesа, Ukraine
Hauptverfasser: Zavadsky, V. A., Lenkov, S. V., Lukomsky, D. V., Mokritsky, V. A.
Format: Artikel
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2002
Schlagworte:
Online Zugang:https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.07
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Technology and design in electronic equipment
Завантажити файл: Pdf

Institution

Technology and design in electronic equipment
_version_ 1873277323730485248
author Zavadsky, V. A.
Lenkov, S. V.
Lukomsky, D. V.
Mokritsky, V. A.
author_facet Zavadsky, V. A.
Lenkov, S. V.
Lukomsky, D. V.
Mokritsky, V. A.
author_institution_txt_mv [ { "author": "V. A. Zavadsky", "institution": "Odessa National Maritime Academy, Odesа, Ukraine", "orcid": "" }, { "author": "S. V. Lenkov", "institution": "National Aviation University, Kyiv, Ukraine", "orcid": "" }, { "author": "D. V. Lukomsky", "institution": "National Aviation University, Kyiv, Ukraine", "orcid": "" }, { "author": "V. A. Mokritsky", "institution": "Odessa National Maritime Academy, Odesа, Ukraine", "orcid": "" } ]
author_sort Zavadsky, V. A.
baseUrl_str https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai
collection OJS
container_end_page 9
container_issue 6
container_start_page 7
container_title Технологія та конструювання в електронній апаратурі
container_volume
datestamp_date 2026-08-11T15:29:27Z
description The paper demonstrates the possibility of controlling the parameters of gallium arsenide epitaxial layers using radiation treatment with fast neutrons. From a technological perspective, neutron irradiation is proposed to be divided into two types depending on the radiation dose. The first one (radiation doses up to 1·1015 cm–2) can serve as a means of improving the properties of the layers by increasing carrier mobility and operation speed. The second one (radiation doses exceeding 5·1015 cm–2) reduces the concentration and mobility of charge carriers.
first_indexed 2026-08-12T01:01:10Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � � ��������� �� ���� ������ ���� �� � ��� ������ � �������� � !�� " �! �� ���� �! #������ ��������������� �� �� ��� $%&%'� �! &���( ������������������ � ��������������������� ��� ������� ��� �������������������� � � � )������� #������ ���! *����� �����*� � #������� ���! ���� ����+����� �������� � , �! %���� -��! ���������.� �������� � /012345 627318629!3:;2<!=7><<2!?2 @ABC-BD #&A)ED-BC &FG�HFIB -DJ�H#-KIB -K L'B�K%GBKAM-FJ KHGD-B� NKAABC ��������� ����!��"�#� $%&� '(�)* +'(��&��)�),("�)�)�%�&��(�&��)�+%)� ���")�'#�-.� "'�( � �&"(�)��� /�'')*� " %���0#1�&��)�2)����3��4&�4���)�4-� "�&-�)��(3�&����)� C������ ������� ����� � �� ���*��� ��� � ��.0 � �� ������� �����OP�� � �+��.*� �� �������0 ����� ����� � *� ������� Q�R! @ �+���� ��������� ������O��� ��� ��� �� ���*���� ��������� ���� ��������� ��S� ��P*�S��� O �����OP����� �����0 �� ����� � � ��������+����� ��� � Q�� �R� ��� �0 �+�� ����T�� ��T����O ����+����� � �����*�+��0 ��� ���U��*. �����OP����� ������������ ������0 ��� � ����������������� ���*.T������ � )����0 �. � H����� Q�"VR! @ ��� � W�� ��U� � �������� �����P ��P*�S���0 �� ��P���� �� ������������� �U��+��� U.� �.0 *� ��� ����*� �� ����� �� ��� ������O�.� ����� $LG( �������� ����� � ���O� ������������� �����0 ���� ���� ��X�P�+����*� ����� ��*� LG Y2Z<! #U��+���� ��� ����*� �����������O �����������0 �.� ��� ������O�.� ���� �������� ����� � �� � �+��� ������ ������ �� ���.� ���*���� $�!!!��([�����*\ � � ��S� ����������.� �����* � ������* $�*! �������(! B� �+����* U.� �.� ��� ����� � �������� �]�V I�@ ���S�� ������ �� ��� ����� ��� ^N0�V�! '� �� ��� 0 ����� �P*�� �� *� ���* �� ������ X��O�� \ ����� �P �.����+�� �� *��� $__�_`( ��W���� ���V ** � ���*� 0 ��* ��\�V **! @��* �U��+��� " � *��� �.���S�� �U��P��� ����� �U��+��� " � *��! N�**�0�� ����� O ������P� ��� ��G? �P*�� �� ������� �����.* �� ��0 ���* � ���� ����* a2b$c>( ���*� ��* �V ** �� ���� �0 ��� d� ** � ��� ��! I���.� ���� ��*�W��� *�S�� ���* ���� ����*� �P ����� ����� ��W���� _�V ** � ���*� ��* �"]V **! @ ��+�� �� �����P����W�� ����0 �� ��. �����OP����� *���������O�.� �*��� ���.� �����P� �� KB0���]! H��+� ����+��. �� �����O���� �� ��� ��� ����� ����P������ �� X��*��� Q�R Eaqp S � p=0 � $�( ��� 5& " ���W��O X� �����, 6�" �XX�� ����� O ����� ����� �� ���*� ��� e��0 �+���"�� �� ��e, 7 " �������� �� �����W���� � ����� ����� � ��S��� �� �� ���, 8�" �.��� ��**�0���� �� �� �� ������� �P� ��� ��G?, 9 " �������*�� ��O�� �XX�� ����� O X� �����! ��(�(�)(� +'(��&��)�),("�).� %�&��(�&� � �&"(�)��� /�'')*�� �4'$,(���/�� �(3�&����) :�'*� ���-��4'$,(�)*� ;<;=;>�"�?@A ��������� � ��� ���� ��� ��� � ���������� ���� ������� �–3 ���� ��� ���� �2��� ��� ������� � �� ��� ������� � ���� - �������� - ����� ���! ��� ������� � �� ��� ������� � ���� - �������� - ����� ���! ��� ������� � �� ��� ������� � ���� - �������� - ����� ���! ������" 0,01888 0,01895 +0,4 1,39·1017 1,35·1017 –17,3 2380 2880 +21,0 0,01632 0,01638 +0,4 1,53·1017 1,26·1017 –17,7 2498 3029 +21,3 #���$ ������%��& ��" ����%�� �� 0,06176 0,36151 +485,3 1,86·1016 4,8·1015 –74,1 5430 3591 –33,86 0,05840 0,51560 +782,8 2,39·1016 4,40·1015 –81,59 4475 2770 –38,10 ' ��" ����%�� �� ����$ ������%���������� 0,00563 0,00639 +13,44 3,70·1017 3,04·1017 –17,80 2996 3207 +7,04 0,00520 0,00517 –0,70 6,86·1017 5,76·1017 –16,00 1751 2100 +19,9 ' ��" ����%�� �� ����$ ������%��� �"�� 0,00191 0,00199 +4,81 1,45·1018 1,2·1018 –17,24 2261 2595 +14,80 0,05690 0,05550 –2,50 1,05·1018 8,63·1017 –17,8 104 130 +25,1 f ��������� �� ���� ������ ���� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � d��+��� ������.� ����*� ��� ����� �� � ����� �U��+��� ��P�*� �[���] �*\� ��� ����� ��������. � �U����! '���� �U��+��� U���� �.����*� ��P�*� ��� ����� ����O��� ����� ������� ����� � � ���O0 �.� ���+� � ��P��� ��� ��� ��O��� + � ��� ����P*�S0 �� U.�� �P*��� O *� ���* @��0���0'��! K����P ����+���.� ����.� ����P.��� � + � ��� *��.� ��P�� �U��+��� $�� ����V �*\�( � �.����� ��0 +��O��� ������ ����� ���U���.� ���� ���� P�� �� � ��� � �� ���� ��X�P�+����� ����� ���� ��� �P*�0 � � � 5 �*��OT�� � ������ ���� � ��P��� �� ���0 ��S��� O ���� ���� P�� ��! '�� � �* � ����O �� �P0 *����� �� P����� � ��� �������W�� ���*���! '�� U��OT�� ��P�� �U��+��� ��U����� � ��*������� *� ������ ��� ����������.*� ��X�� �*�! L � ���0 �� � � � �*��OT���� ������ ����� ���� ���� P�0 � �� � �� �����S��� � � ��P��� ���� ����+��. ����O0 ���� ����� ������ ��� ! BP*������ ����*� ��� ��� P���O ��S� �� P����� � ��� �������W�� ���*���! L � ���U����� � ����T� ����. �� ���X���� P�0 ����*�� � � ���� ��O���� �P*����� � ���� ������0 ����� � �����S��� � � ��+��O���� P��+��� ���0 ��� ����� ���� ���� P�� �� � ��P. �U��+��� ��� 0 ����*� $�*! �� � ��(� ��� B�� B " ������ ���� ��0 �� ���� P�� ��� µ�� µ " �����S��� O " �� � ����� �U��+��� � ��� �� � �����! '�� ��P�� �U��+��� $�!!!��([���] �*\� �P*������ ����*� ��� P����� ��O0 �� � ��+��O��� ������ ����� ���� ���� P�� �� � �� P����� � ��P. �U��+��� $����.� ;� @� C(! '�� B�g�[�� �� �*\ P���O ��U����� � ���+T���� ����*� 0 ��� ��� ������O���� ��� ��P�����*� � ��� � ���0 ��� ����� �������W�� ���*���! '�� ��P�� �U��+�0 �� � U��OT�� V[���V �*\�� ��U����� � P��+� ��O�.� �P*����� ����*� ���� P���� W�� � ��P. �U��+�0 �� � �� P���� W�� � ��� �������W�� ���*���! K����P �P*����� ������ ����� ���� ���� P�� �� � ��P. �U��+��� ��� ����*� ����P.��� � + � �� �*��OT����� ����U��� ��P��O � �*� ����+���.* � ��U� � Q�� �! ]]R� ��U����� � � ��T�� ��U� � ��� ��+��O��� ������ ����� �� ���.� ���*���� � ��� B� ≤ $V�!!!�V�(�'� $�( ��� �' " ��P� �U��+��� ��� ����*�! '�� � �* *��OT�* ��P�* ��� �� � ��� U��OT�� P��+���� +�������� ���XX����� �! G ����� O ����� � �U��+���� ��� ����*� P���0 �� � P��+� ��O��� � ����� � ��P. �U��+��� ! #U0 ��+���� ��P�*� ��� ����� U��OT� V[���V �*\� �.P.0 ��� U��OT�� �P*����� ���� ��X�P�+����� ����� � �����! #����* � � �� ������ � �*� ��*�������� ����0 ���� P�� �� ����������.*� ��X�� �*�! G+� ��*� + � ������� �.������ ���� ���� P�� �� ��� ���� �� ������������O��*� P�����5 BhB�[>ij$\DB�'(� $ ( ��� DB " ���XX����� � ����� ���P��W�� ������ O �.0 ������ ���� ���� P�� ��! '�� �U��+���� ��P�*� ��� ����� $�!!!���([���] �*\� � ��+��O��� ������ ����� ���U���.� ���� ���� P�� �� � �������� $�!!!���([���� �*\ ���P����O� + � ����+��� B P����� �� ��O�� � ��+��O��� ������ ����� ��0 �� ���� � ��� ������O��* ����� �� � � ��P. �U��+�0 �� ! G����� � *� � O� + � ��� P�����*�� O ���� ���S�.� ����� ��! L � ��P��� � ��������S� O ��0 W�� �������� �� ������� *���� ���� ��P��+�.� �� ����� ������� *�����P*�� ��P���� �� ��� ������� �U��+��� �� ����� �� ��� ������O�.� ����� ����0 ���� ����� ! kkk ����* �U��P�*� ��� ��� �U��+��� ��� ����*� �� ���� ��X�P�+����� ����*� �. ��� ������O�.� ����� �������� ����� ������� � ������W�* ��P��O � �*! �! @�� ��� ��� ����� �� ���� ��X�P�+����� ��0 ��*� �. ��� ������O�.� ����� �������� ����� ��0 ��� ���P�� � ��W�� �������* ���� ����� ������ � P��+��� � ��P. �U��+��� 5 �� ��� �U��+���� �� ���0 � ��� ���+T�� ����� �� ������ � ����� ��� �� ��0 ��*� �. ����T�� � ! '� � �*� ���P���� ���� ��P� *�S�� ������� �+� � O ������* � ����� � ����� � ����� � �U��+���� ��� ����*�! �! '���S���� �U����S������ ������ �� ����.� �P��*��� P�����*�� � ����*� ��� B�� µ�� � ������0 � � � ��+� ����* �� P��+����! '�� � �* �.��� � 0 � ��� ������.� ���+� ! '���.� ������� � � ��+�0 ����* B≥$V�!!!�V�(�'! @ � �* ���+�� �U��+���� 1016 1017 1018 n 0 , �*–3 1, 2, 3 4 5 1, 2, 3 4 5 1016 1017 1018 n 0 , �*–3 �( B B� 100 10–1 10–2 U( µ µ� 1,0 0,5 0 d�����*�� O � ���� ��O���� �P*����� ������ ����� $�( � �����S��� � $4( � ��+��O��� ������ ����� ����0 ���� P�� �� � �������� ����� ��� ��P��+�.� ��P�� �U0 ��+��� ��� ����*�5 " �[���] �*\�, " V[���] �*\�, "�[���V �*\�, " V[���V �*\�, " �[���� �*\� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � _ ��������� �� ���� ������ ���� ���+T�� ����� �� �����! '���U�.� �XX�� �� ��0 +�� � � S��� �� ���" ��lG! @ ���� ���+�� ��� �0 � � � �� B≤$V�!!!�V�(�'! d���O ��P��O � �* �U��0 +��� �� � � ��*������� ��� ����������.*� ��X�� �*� ���� O �� �����P������W��� ��� � �� ! ����� �XX�� ������ � ��*�+����� �� ��+���� O �� P��+���� �*���� ��. VV�"���lG! ! '�������S� ��O�� ����.� ���+�� *�S� U. O �.P��� ��������* ��U� ����.� � �*�� ���� ����0 +����� ��T� �� ��� �P *�S���P��O���� � ����� �0 ��� ����S���� ��� ���� ���* ��� �����! )��+T�0 ��� � ��� ��. ��� � �* �P*�� � ������ ��������0 �� � ��������� ���� ���� P�� ��! %��*� ���� P���O ������ ���� ��� O �U��P����� ���� ���� ��� m��0 ��������.� ��X�� " ���*��O " ������� n� ���0 ��U� ���W�� � ��� ���U���.� ���� ���� P�� ��! @ ���� ���+�� *�S� U. O �U�������� ��P�����* ��� U��OT�� ��P�� �U��+��� ����������.� ��X�� ��� �.� ����W�� � ���� ���U���� ����� ���.� ���*�0 ���! L � �Uo �� � ���O��� ��*�������� ����� � ��*�+����� �� ��+���� O ����� �XX�� �! ]! @�P���� ��� �U��+��� �� P����� � ��� ��0 �����W�� ���*��� � ��� S����� � ��� $�����S0 �� ��� ��� ������O�.� ����(! V! @ ��������+����* ����� � �U��+���� ��� ��0 ��*� ��� ����� �� ��������� ����� ��*� ��� ��0 ����O�.� ����� �������� ����� ������ ��P���� O �� ��� ���� � P�����*�� � � ��P. �U��+��� ! '��0 �.� ��� " *��.� ��P. �U��+��� �� �[���V �*\�! #� *�S� ���S� O ����� ��* ���+T��� ����� � ����� $���.T��� �����S��� � ���� ���� P�� �� � �����0 +��� U.� ������ �� ( � ��� �� � � ���U���� �X0 X�� ���� �� ����� � ��+��O��� ������ ������ ���0 U���.� ���� ���� P�� �� U���� �[���� �*\ ! @ ���� ��� \ ��P. �U��+��� U���� V[���V �*\�! #������� �XX�� ��� ��P���� �� \ �*��OT���� ������ ����� � �����S��� � ���� ���� P�� ��! �� ���.T��� � ����� � � �����*� ���� �U��+��� ������ ����0 ���� O ���� Y2Z< �� ������ ����� �������W�� ���0 *��� �� *���� V[���f �*\ ! BG'#AMd#@K--FD BG�#E-B%B �! %�� ���� G! '! I�����P*. ������ �*��� � ��� �0 ���U��P����� ��������� �� ����� p7\Z9 ��� �U��+�0 ��� α0+�� ���*� �� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���!" �__f!" � �!" G! �" _! �! %�� ���� G! '! ��������� � *� ������������� ��� ������� ��� �� ����� ���.� ���� ����.� ��*�����0 �� �� ��* S�!" �___!" � �" !" G! �"] ! ! qr>s:=6 t!� u21=:;=6 Z! vs7>s3:9 =w 7>w>x;36> xsy<;24 <;s?x;?s> zy 3=:3{3:9 s2732;3=: $>ww>x; =w <1244 7=<>< =w s2732;3=: ( �� ps=9s21 =w ;r> u|} �__f }js3:9 u>>;3:9!" }2:0cs2:x3<x=� qZ!" �__f!" p! V�! ]! K! �! ���f�� GGGH! G����U X��*������� ������0 ��� �.� ���������������.� � ��� �� ~ @! A! K���� �0 *��� �! B! &���.�� G! '! %�� ���� � ��!" ��!�_ �__�! V! %������� H! @!� ������ �! K!� ��P�� A! G! @�P*�S0 ��� � ������������ ��������� � ����P���� �� ������ �� L��� ����� ������! G��! '��������������.� ���0 U��.!\ �_ff!" � �!" G! ]�"V�! �! I�������� @! K!� d�������� @! K! @�� ��� �������0 ����� �U��U� �� �� ����*� �. �� �����O�.� ����U��P�0 �� ���� �*���� ��. �� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���!" ����!" � �!" G! �V"��! �! �>4y2>6 Z! /!� �s>{2 b!� �>:9>s /! c! >; 24! |2732;3=: s><3<;2:x> =w Y2Z<0z2<>7 13xs=�26> }xr=;;�y0z2ss3>s 7>0 63x><! }=1> jry<3x=0;>xr:=4=93x24 2<j>x;<!" %�>�!5 �-�DH'HDG A��� �__f! �������� �� ��� ���� ������ � �� ��������� �� � ������� �� ����������� ������������ � �� ���� � ���������� �� ������ ����������������� ���������������� �������������������� � !� ��"� � �!�#� �����$� �������%���"&�#� '� ��(����� �� ��)*� +�������� (���� �,��(�"&����"� &�������%"���(��"�� ����$���������������"������%������������-$ ��%������� -.� ����(���*�/ ��0"� � ������&"������������������1�2������$�'3��3$ 4�����$� � *� +��!��������$� 53$� ��������� ������� � �� ��� 6�789:1� ;<68=>?6@@8*A6; �������� ������� � ��������������������� �� �� �(���"�� ��� �"���"&� �"�"&-�#�����(�������� ��"���(� ��� ��� �"����� �������� ���. ������ ���0"�(���(���B �(���"�����(��"�"&�������� ����� �(�B �(���"��������"&������������ �B �(���"��������"&����&(�����������$������"�� �-C�(�$���� ����� ��$���"���� � �� %�"�"� �D������ �B �(���"������"&�������$���"�� D$����� ��%�"��"�$���"������"����"� &��� ��* �������������� �!�"� �#$��%&%'(�)��*&(�+,�-./012��34-0567-880$9-3:� +�%;,!%'(�)<$��!(##�����$���,;,�,=#>�"��?@:��A=,�%'(�)B?C DEE.FD.GH��DEE.DI.CE:
id oai:tkea.com.ua:article-1316
institution Technology and design in electronic equipment
issn 3083-6549
keywords_txt_mv
language English
last_indexed 2026-08-12T01:01:10Z
publishDate 2002
publisher PE &quot;Politekhperiodika&quot;, Book and Journal Publishers
record_format ojs
resource_txt_mv wwwtkeacomua/68/1dfb6ce940db9dfc944aba5448524268.pdf
spelling oai:tkea.com.ua:article-13162026-08-11T15:29:27Z Influence of fast neutron irradiation on epitaxial gallium arsenide Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия Zavadsky, V. A. Lenkov, S. V. Lukomsky, D. V. Mokritsky, V. A. GaAs epitaxial layers fast neutron irradiation carrier mobility GaAs эпитаксиальные слои облучение быстрыми нейтронами подвижность носителей заряда The paper demonstrates the possibility of controlling the parameters of gallium arsenide epitaxial layers using radiation treatment with fast neutrons. From a technological perspective, neutron irradiation is proposed to be divided into two types depending on the radiation dose. The first one (radiation doses up to 1·1015 cm–2) can serve as a means of improving the properties of the layers by increasing carrier mobility and operation speed. The second one (radiation doses exceeding 5·1015 cm–2) reduces the concentration and mobility of charge carriers. Показана возможность управления параметрами эпитаксиальных слоев арсенида галлия с помощью радиационной обработки быстрыми нейтронами. В технологическом аспекте облучение нейтронами предлагается разделить на два вида в зависимости от дозы облучения. Первый (дозы облучения до 1·1015см–2) может служить средством улучшения свойств слоев: повышение подвижности носителей заряда и увеличение быстродействия. Второй (дозы облучения более 5·1015см–2) снижает концентрацию и подвижность носителей заряда. PE &quot;Politekhperiodika&quot;, Book and Journal Publishers 2002-12-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.07 Technology and design in electronic equipment; No. 6 (2002): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 7-9 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 6 (2002): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 7-9 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.07/1215 Copyright (c) 2002 Zavadsky V. A., Lenkov S. V., Lukomsky D. V., Mokritsky V. A. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
spellingShingle GaAs
эпитаксиальные слои
облучение быстрыми нейтронами
подвижность носителей заряда
Zavadsky, V. A.
Lenkov, S. V.
Lukomsky, D. V.
Mokritsky, V. A.
Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия
title Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия
title_alt Influence of fast neutron irradiation on epitaxial gallium arsenide
title_full Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия
title_fullStr Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия
title_full_unstemmed Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия
title_short Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия
title_sort влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия
topic GaAs
эпитаксиальные слои
облучение быстрыми нейтронами
подвижность носителей заряда
topic_facet GaAs
epitaxial layers
fast neutron irradiation
carrier mobility
GaAs
эпитаксиальные слои
облучение быстрыми нейтронами
подвижность носителей заряда
url https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.07
work_keys_str_mv AT zavadskyva influenceoffastneutronirradiationonepitaxialgalliumarsenide
AT lenkovsv influenceoffastneutronirradiationonepitaxialgalliumarsenide
AT lukomskydv influenceoffastneutronirradiationonepitaxialgalliumarsenide
AT mokritskyva influenceoffastneutronirradiationonepitaxialgalliumarsenide
AT zavadskyva vliânieoblučeniâbystryminejtronaminaépitaksialʹnyjarsenidgalliâ
AT lenkovsv vliânieoblučeniâbystryminejtronaminaépitaksialʹnyjarsenidgalliâ
AT lukomskydv vliânieoblučeniâbystryminejtronaminaépitaksialʹnyjarsenidgalliâ
AT mokritskyva vliânieoblučeniâbystryminejtronaminaépitaksialʹnyjarsenidgalliâ