Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
The thermal stability of ohmic and rectifying contact systems AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNₓ—Au, AuGe—TiBₓ—Au, AuGe—TiBₓ—Mo—Au, and Ti—Au, TiNₓ—Au, TiBₓ—Au to n-type gallium arsenide epitaxial structures with a thickness of 3–5 μm and a carrier concentration of (5...6)·1015 cm–3 is considered. I...
Збережено в:
| Опубліковано в: | Технологія та конструювання в електронній апаратурі |
|---|---|
| Дата: | 2002 |
| Випуск: | 6 |
| Сторінки: | 54-56 |
| ISSN: | 3083-6549 |
| Автори та афіліації: |
|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | В'єтнамська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2002
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.54 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
| Завантажити файл: | |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipment| _version_ | 1873277338732462080 |
|---|---|
| author | Ivanov, V. N. Konakova, R. V. Milenin, V. V. Stovpovoi, M. A. |
| author_facet | Ivanov, V. N. Konakova, R. V. Milenin, V. V. Stovpovoi, M. A. |
| author_institution_txt_mv | [
{
"author": "V. N. Ivanov",
"institution": "Research Institute «Orion», Kyiv, Ukraine",
"orcid": ""
},
{
"author": "R. V. Konakova",
"institution": "V. Ye. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, NAS of Ukraine, Kyiv, Ukraine",
"orcid": ""
},
{
"author": "V. V. Milenin",
"institution": "V. Ye. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, NAS of Ukraine, Kyiv, Ukraine",
"orcid": ""
},
{
"author": "M. A. Stovpovoi",
"institution": "Research Institute «Orion», Kyiv, Ukraine",
"orcid": ""
}
] |
| author_sort | Ivanov, V. N. |
| baseUrl_str | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/oai |
| collection | OJS |
| container_end_page | 56 |
| container_issue | 6 |
| container_start_page | 54 |
| container_title | Технологія та конструювання в електронній апаратурі |
| container_volume | |
| datestamp_date | 2026-08-11T15:29:27Z |
| description | The thermal stability of ohmic and rectifying contact systems AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNₓ—Au, AuGe—TiBₓ—Au, AuGe—TiBₓ—Mo—Au, and Ti—Au, TiNₓ—Au, TiBₓ—Au to n-type gallium arsenide epitaxial structures with a thickness of 3–5 μm and a carrier concentration of (5...6)·1015 cm–3 is considered. It is shown that contacts with TiNₓ, TaNₓ, and TiBₓ layers slightly change their parameters after heat treatment at 550°C for 1 hour. Contacts with Ti and Ta layers change their characteristics sharply during heat treatment at 550°C. |
| first_indexed | 2026-08-12T01:01:25Z |
| format | Article |
| fulltext |
��
�������� �
���
��
������������������
��������
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
��������������
��������
�
�
�� !�� �����
"����������������������� ��
� ��
�
#$%�����&'
��$�� � (
��)
�����������������������������
���
����
������������������ �������� �����
��������
*
��
���� �(
����+,,�-"�
��.��,/0�+1+*
2&34567�839:5 ;5<= >4
("+�1(�""?@1A*BC,D
0ED+(,�?"@,�"F�,�+,�@,�"F��,�1+1
F�1@%D+,�G1EE,DFHI�%FJ&0@,?"@1I
��������������������� !"����"��� �
#��� $� �%&'�(�!()* $���������&$�� �
�����+,-./01/+,��+,-./012$/+,�
+,-./034$/+,��+,-./034$/56/+,�
03/+,��032$/+,��034$/+,���7' ���� �!"�
�&�����8��8��������� ��� 9�!! (�
+��K���������L��
��������M��������
�����&
�
� ���
��L���
�
����L��%FJ&��
N�����
�
��� ���M&
�L�����K������
���������������K����
������O��
K
���N��K�K
���P�������������������
O��
��Q���O�
���Q���L����R��K
�����
�K��K
O��
��
�N��M���L�
����
����
�S4T9�������U��
��
����L��Q��
����
�O�&
�����
�����V����M����K�������N�QL�������N������&
��N����M���
����LU��������K���������
����
����&
K��M�L�������
����
��������
�G�������
Q��
��W
��������
��K�������������
�R�Q��N��Q����
�����K
&
O��
��
�N��M���L��
����
�������N����
���N�O
����K&
��������%FJ&��
N����#���O���K���
��M�� ������ ��&
������ �� �- ���O
�.���O
����
� �����K���������K�V��
��!��X����Q������LU��M���N�O��) �@�U��
�������Q�&
��O
������P������Q��O
���M����
��
O������R
Q
�&
�������
O��
��
���������
��
� �������
O��
�
��Q��N���
���N�NP���L����������NQ�����Y!WZ[
(�
�
Q����������������
���� ���O���
����
���N��&
Q��P
��K����
��L��
�
�����
����������������
�
&
�����
O��
K
�����������K����
QK��� �����
�����&
��
����
�����N���������Q���� ���
O�����
RR�Q
&
���W���KLK�NL���LK���������K����
����P
K�
���Q&
��U��
����
N��� �?��MU���O���M���N������
����
&
��K�����������������������
����� ��K����
QK� �"�&
��
���
�Q����M��O������������M������V�����������&
O��
���Q���O���
��������M��������
�M���V������M&
�L���RR�
�L������LK
�K�����K
����������� ���
��
�&
���MQ����
����
�O������
����
�����K��R�L��K����&
����� ���
O
������������
���M����
Q
�����K������&
����R�Q��� ����������\���
K����
�����
� �����
�
R&
R�Q
���� ��������
���
��
��#����
K���]5^
�
)����&
N�����L��
�����O����
��������
O��
� �����������
��Q�����P� ����Q�����M��O��M����
��#≤���Å)�����&
����L�����
�]5^
�
\���Q���
��
����
��L���
���K�����&
K�PM���
�
�
��L��
��
��
��L��R�Q��� �����
�
K����������
V�����N�����L��
���O�L���������
O��&
������������R��K
�����
����������L����������&
���
�����
����������
F�������P�K����NP��
�����Q���O����U����������&
K�PM���K��R�L�������
�N��
����
��
��
�����
����
F�
�O������
������ ��K����
��������R��K
��&
���
���K
O��
��
�N��M���L��
����
����
�&
���MQ����
�M� ��
��
�
��M�L�� ����
���L� �����
��
���
�����P
����_���W`�K
K�:&�
�����
���������
&
������
������ #� �)a!�!��KX` �b�
�����
���L��L��&
P
���
�M�����������P
��
�����
Q��
���P
�����&
��V
��
'�����
O��
��
����
�L������
�
�M�K�����K�K� &
�������� ������L���
������K��R������ �������K�&
����
Q
��������� �������
�� *F+&Z�@� � F� ��N�O��
�K���������������
��
����
����NL����������������
K� ��������
����������������
K���M�����R�������
�O
��
�#,/")�����������
��N��Q���
"N��Q�L��������L���
��
���
�
�M��������
��
�&
���L����������
����������
������M���
�K��� �#+��
�&
�����M�K�V�����������
���M����������
�� )�(���&
���M���Q�������R
�
�����M�����
�������������M&
���������NLK�K� �������LK�
����
����K�
������&
�
��,/"
+��L���
��
����
��������N��Q������
Q���
���M
������������M�����K� �������L��
����
����������&
������Q��������������������M����
����������
���M&
�����O
��
�������������
�,/"�������K��������
&
O��
�K��
���N�Q�����U��
����
��K�
@�N�O���
�K�����������
���M�����
��K
�������M
�L��
���
��K�LK� K���
�����LK� ������K� ��� ���&
���
�������V���a!�XZKK��� ��� ���
���� ����������c%
A���K�
�K��������V�����M����
�K���������K������&
�L�����
Q���
���������
�Td����������
���a!�X`�KK
�� ��� �
����
Q���
���M����L���
��
����
���
,���������
�M�������P
��
����
��L���
���KL7
���� �K
O��
��
����
����T>S<We4WT>�� T>S<W
e�f$WT>��T>S<We5g$WT>��T>S<We5g$WhiWT>�
����L�����L���
�M������
��
�
��M�L������
���L���
����
Q��
���P��������V
� ����P
���T>�
�S<�!j��
�̀ ���Å����������������\����P
���e4��e�f$��e5g$����&
���!������hiW������T>W������@�V
K�����L&
���
��e�f$��e5g$�NL���LN������
��O���R��K
�������M
�K��R��������
� �0������������
��
����
�����N��Q&
�L������� ��
�M����K��N��N��
����
����c%�����O�&
�
��!�K
������������ �'�����K�R����
�� ��R
�
Q&
�������
�M�������L���N��Q�L�����
QK����
��
����
&
��� ��������
����
��K�����K��������P����
�
0�����
QK����
�K�
����
��L��������
����
�������&
���
��
�������M�
��
KK���
O����M�F1I �"N��Q�L��
�K
O��
K
�
����
��K
������� ��
�M����K
O��
��
�N��N��
�����
���K�������������������
����c%�����O�&
�
��O���
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
��
�������� �
���
��
������������������
��������
����R��K
�����
��N��M���L��
����
�����LN
��&
�
�M���
��
�
��M�L������
���L�S4T9�����������P��
�����V
� �F�
�O�������L���K���P
��
����
����
�&
���MQ����
�M���
���KL�e5WT>��e5f;WT>��e5g
k
WT>
�e5g;WhiWT>��
����L�������
�
�M��������������M
��
��
�
��M��������
����P
��������
�e5��e5f;�
e5g;���������M�!����Å��hiW����Å��T>W�����Å
%��������L������V�
����L�������K
O��
��
��&
��
��T>S<We5g$WT>��
����L�������� ��������K�&
�N��N��
�����������������O��
��!�K
�
0�����R��K
�����
��
����
����
Q �����
���
�M
K�Q�����
���L��
�K����K�!���K
K�
� ��N
������K
K
K�����K�R����
�� ��R
�
��������
� �0��
Q���
���M
QK����
��F1I�
�lWm&����
���
��
��
Q�
����L�
���������
�M��L�����N��M����n���
�
�R�
����
��&
��M����
�
�
��
QK����
�������K�������L����K��N��&
N��
�����O��
��!�O���
F� ������ �� ��
�����L� ��Q��M���L�
QK����
�
����M�� ��������
����
���K
O��
��
����
&
����
�:&S4T9���R��K
������L�����������L������
��&
��������
����������K��N��N��
�����
��K����
���K&
�������������������
����c%�����O��
��!�O��� �,Q���
&
������L������L���
�����O�������M����������
���&
�
���K
O��
��
����
����� �R��K
������L�� T>S<�
���
�
O��
���
��
�������������
�����L������
���
"�V
���
��o���c%����
QK���������
O
�L�ρ �"���
�
���K��N��N��
����
��o���c%�������������
������
&
O
�����ρ�
����
��L������
������N�R���LK�����K���
����������
�
�����
O��
�������
������������������&
K��
�
��K��R�L�����
�e4f;�
�e5g;�����������������&
�
�����
�����K���Q������
Q������������� ������
K�����
Q��
�� ��NM�
����
���������
���L�
���
��&
��
��L�������S4T9
"�V
���
��o���c%�����U��������K���L������
��&
��
��L������
��� �0�
����K����N��Q������N�R���LK
����K
�e4f;�
�e5g;���N�������������
���
���������&
�
��K����
O��
�������V��
����������V���P����
�������
���
�K�K�����
Q��
��O����������V������
QK����
�K
����
����
�
�
Q�L�<�
�����L��
����&
��� ���L�����K��N��N��
����
��o����c%�
����
��L�
����
������N�R���LK
�����K
�e4f;�
�e5g; �"
�Q�&
���M��O������
���
�
�
Q�L������VV���L��
����
��L�
����
����NL��`�W`��K�������Q�L���N��Q���\������
���K��N��N��
�����
�Q���������LK���WZ��K
b�
���Q��M���L�������������
V��������������
��
���M�&�K����LK
�����
���
��
�K
��
�����G�������
����������K��N��N��
��
�
O����F1I��
����G����
���K
O��
K
�
����
��K
�����������T>We4WT>S<W
S4T9&����
�������
���������V
����
��o����c%��
��O��
��!�O������
�����������
��
� �F
�����O����
��Q��M������� �����
�
����
����F1I������
���f&�N&
��Q�L���O����
�F����V�����K��F1I��
�����G������
K�����
Q��
�����
��O��P���N�R���L�����
�e4f;�
�
e5g;������������f&�N��Q�L���
����
���Q��O
���M��K
�K��MU��
���
�����
���Q�������KL���K�P��
��!W��F
F�����������
�����L���Q��M���L�
QK����
���L&
���L�N��M����n���
�
�R�
�����
����M����
�
���L������
����T>We5WS4T9��T>We5f;WS4T9�
T>We5g;WS4T9�
�T>WhiWe5g;WS4T9����
������
���K��N��N��
�������V�������
�� �F
�����O���N��M&
���L���������������Q��M��������K��N��N��
������&
��������������
�������KL������
��� �"���
��N��M�&
�L� n���
�� �R��K
������L�� �K��R�LK
� ����K
e5f;�
�e5g;���
�QL�������N��������K�����
K
��O�K
����
�L�T>We5WS4T9��O��������
����������������
������LK
�����������"V�&���
�����������
����
�&
�
������O���LK
���
����
����T>We5g;WS4T9�
e5f;W#e5g;)WS4T9�����N�����Yj��p[
0�
������L������N�
�������L����Q�������������M
Q�
��O��
�����������O����L��
������N
�M����
� ��&
�
�L���Q�����$K�����WS4T9$�
�������
�
�����
�
�&
���MQ����
������N�L��
����
��L������
����������&
Q���
�����K����N
�M�L����
N�������N��M���K�n��&
�
�+�N�����K�������
���
����������
��K����
O��&
�������V��
����N��M���L������
���������
����&
P�����������V
����
��o���c%�
��������
���
�
K�����
Q��
������LQL����������
�����P���������
�� �����
�����K������N��M����n���
qqq
��
K��N��Q�K��
�
���
�Q��
���U
�
���������
��
K�� ������L���K
O��
��
����
�L�T>We�f;#e5g$)W
T>S<WS4T9�
� �L���K���P
��
����
�L� T>W
e5f;#e5g;)WS4T9�K� ������N
�M�����N����M���
���K&
����������������c%�N�Q�
QK����
�����
��
O��
����&
��K�����
��N�
���!
=��!"������'��� %!�� ��� #��� $���������%���:�-1+>
ρ,�����
2
���� ��
���
�� ������ ��� �-
� �
500°� 550°� 600°�
Au—Ta—AuGe—GaAs 10–5 10–5 10–3 7·10–3
Au—T�Nx—AuGe—GaAs 10–5 10–5 10–5 3·10–5
Au—TiBx—AuGe—GaAs 10–5 10–5 10–5 3·10–5
Au—Mo—TiBx—AuGe—GaAs 10–5 10–5 10–5 2·10–5
��N�
����
�&��������"����ϕ
�
� �������� ���!"���� �:�� ���&$
���8��8�� ��� � '��!���������������
��� �-
���
500º� 550º� 600º�
�������������
� ����� � ��,
��
n ��,
��
n ��,
��
n ��,
��
n
Au—Ti—GaAs 0,70 1,18 0,75 1,10 0,72 1,22 0,57 2,45
Au—TiNx—GaAs 0,60 1,08 0,60 1,08 0,67 1,15 0,68 1,37
Au—TiBx—GaAs 0,78 1,23 0,78 1,23 0,78 1,25 0,76 1,30
Au—Mo—TiBx—GaAs 0,78 1,20 0,78 1,20 0,78 1,23 0,76 1,30
?��T
��j
���
�
X���
X! ������ �����! ���������������`���������������������@��g
F1I��
���� G����� �� �K
O��
K
�
����
��K
� T>We4W
T>S<WS4T97
AW�������K��N��N��
\�BW����������K��N��N��
���
��o���c%
��
�������� �
���
��
������������������
��������
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
,%0"ErA"F1++HD�,%�"J+,(,
! �1����
�� ���
����K
�����
����
����0������ �+ �1����&
��
���* �*
��K��� W�' 7�'
���!pjj
� �n���' �%����K���L����
N��L����������������
��� ��&
�
� W�' 7�'
���!pp!
` �G��M�N�� �B �1 �"K
O��
��
����
��K�����W����������&
�
�1`F� �'�������Q���
��
�������������/�0 W!pp� W�� ��j�
��!� W�% �!�j!W!�pj
� �G��M�N�� �B �1��0�����D �1 �"N��Q����
���K
O��
� ��
��&
��
��������������������L��� ���� �����
���
�����n���
���
�������S4T9�
�S4s������K�V� W�!ppj W�� �`������ W�% ����W
���
� �ht8>du�S ��T>d<v�w �x ��h<t<d�y �2 ��zi>{�l �y �]>334dt�i|
]}~ivv;t�84dd5<d�~<5u~v��4v4�i��<�5v4k5466t�udi{��:&�4���C&S4T9���
e~5��]i65��w5639 W�!ppj W�mi6 �`�� W�s �!j!W!j�
� �T~3<��h �h �2||<}v�i|�95�v<d5�u�i��T>�e5WS4T9�]}~ivv;t
84dd5<d� 9>835}di�� 3<v46&9<35}i��>}vid� |5<6�&<||<}v� vd4�959vid9
}~4d4}v<d59v5}9����� �m4} �]}5 �e<}~�i6 �g W�!ppj W�mi6 !���f�� W
s � ��`�W��`Z
Z � '�VR�Q�L�� �Q�
K�������
��
� K����
QKL� �� �����
� �
����
������K�����W��s�
�K�����WS4T9���0������ �@ �F �(���
�&
����
�G �% �(����O��
��� W�(
��7�,,"�,/0�+1+*��!pp�
j �gi6vi=<v9�f �] ���i�4;i=4�� �m ��h56<�5��m �m �<v�46 �si{<d
]}~ivv;t�84dd5<d��5i�<9�T>We5g;X:W:�WS4T9����l~<359vdt�|id
]>9v45�486<�x<=<6i�3<�v W����! Wmi6 �p W�s �Z�WZZ
p �h56<�5��m �m ��2d3i6i=5}~�� �g ���i�4;i=4�� �m �<v �46 ��<4}v5i�9
8<v{<<���~49<9�4���<6<}vdi�5}��di}<99<9�4v� v~<�e5g;#e5f;)WS4T9
~<v<di9vd>}v>d<9� 5�v<d|4}<9� ��� � � �id<4�� s~t9 � ]i} W� !ppp W
mi6 �`���f�� W�s �9��ZW9���
�����������
�����������
���������
������
������������
����������
��
� ���� ����
���
������� ��
�������
��������
����
�������
� ���������
�������
���� ���
�
�������
�������
������
��
� �� �����
����
��!� �
��
�����
�������"
�� ������ ���
�
��������
� ! ����
������
���
������
�
��
������� ������#
$�� ������
�� � ����
��
���
�����
��� ������ �
�� �
�
���� �� �
��
���� ��������
��
! ����
�
��������
�� ����
��"!����
��% ���
����������#
& � ���
��
�����
�
�������
� ���
'
�� ������
�� � ���
� �����
����������
����� �
�����
�����������
� ! ���
�
�������������
�������
��� �
� ��������
�������� ���
���
���� �
�
������ � �����
�
���
�
������ #
(����� ��������
����������
�
� ����
������� ��������#
)�
! ��� �� �
�����
�
���� ��
��� ���
�
���� ����
������ ��
������
�� ����
�� �������
��
���� � �
������
���� ����
� ������
��� *� ����
��
����
� ����������
� �������� ����
����
����������
�
�������� ���
��� ������ �
���������#
&����
��
��������
�����
+$���
��
��� ��������
�
�� ������� +
,#
-#
, ��������
���� ����
����
��
���� ���
������������
��* � ��
� �������
���� �
���� ����
������� ���������
��������
����������
��������
� ��
����� �����
���� �����
�������������
.$)
�
�����
��
��� ��������
��
��������� ��
����
����������
������
� �
,#
-#
, �������#
������������� ��
�����
��
���������#'
/� �0
1&
23 ��4�
5665#'
789
�#
:���#
5;�
���#
;;<�
����#
;<8
����#
��� ����
��������
�
�������
�� ���������
�����
�������
�
��������
����� ���#
,
����
�� ������ ��
����
* ��
������ �
����* ���
�
������� ����� �
������
����
�������
� ! ���
�
���������
����
� �����
����� ���
�����
� �
������ ������
�
����� �
���
������ � �����
� ������
�������� �
������
����� �
��
���� ������#
&��� � ��
�������� ��
������ �����
� �
� �� ��� ����
�� ������
���
�
������� ������
�����
�
� � �������������
�
��� ����
���"�
���������
��*��
�
��
���������
������
��� ! �
��
� ���
�����* ���
����� ���
�����
�
��
���� � ��
�
�� ��
����� #
,
� �
������
�� ����
����
������
�
���� ����� ��
��
����* ��
��� �����
�
��
���������"
����������
�����
� �#
=�������
� ����� ����
��������
��
�������
������
��
������
'
+��
���� ��� ���
�
����! ��"
�
� �������� ����
� ��������
�
����������� +
'
������� �
��������
��
��� �
�
���
�����������
���
�
���*
����
������������#
>�����
���������
�����0
���� �
����
��
� �������� ����
� �����
������
�����������
�� ����
�
�������
�������
��
����� �
��
����"���
� �������� ���
���
� ��
����� ���
��� ������ �
�� � ����
�
������ �� ��
���������
�
� ����� ��
��
��� �����
��
���� � ����
�����
�
�
� ��� ���� #
)� �� �
��� �����
���
���
������ �
�������
��
������
������"
�����
�
����� �������
��
��
�����
�� � ��
�
�������
��� �����
�
� ��#
/����
,#
-#
, ��������
���� ���
� ����
��
������� ��
�
�������
���������
��� �� ���
��� ! ��
���� � �
� �
�����* ���
�
�������
��
��� ��������
����������� �
��
� ������ �
�� �
�
������ �����
� �
�� � ����
��
�����
�� ��
� ���
?7,<�
���
� �� �
��*
� �
�������
�
� � ��
����� �
��
��������������
��� ������#
/����
� �����
������ ���
��
��! ����"!��
����� �
�����
���
��� �����#
@
�� ��
�
���
� ��
������� �
�����
�
���
�� ������
���� �
����� �����
���
�
��������
���
��� �����
������#
1�*��
� ���
�������
�� ����
�����
��������
�� ��
� ��� ����� �
�
���
�� ��
���� ����� �
���� ���
�
��
���� � ��"
�
����� ��������#
/����
,#
-#
, ��������
�� �
� �����
��*��
���
�����*�
���
�� � ��� ����
������� ��
������
���� �� ������
�
��
� �
��� ���
���
��* � ���
�� ��������
� ������
�������
���
�
���� ����
�� ������ ��
���������� ����
�
�������
������ ��� �
�� ��������� ��
�
���*
���� �����
����������
�
��* � ����
�����
�����"�
�
�������� ��"�
� ��������
��
���� ���������
��� ����
� ���
���
�����"� �� �
�
� � ���
����������� �
�� ����#
�����������������
����
��
A(:>>
+/� �����
����� ���
� ����
��������+�
�#
/� �B
|
| id | oai:tkea.com.ua:article-1338 |
| institution | Technology and design in electronic equipment |
| issn | 3083-6549 |
| keywords_txt_mv | |
| language | Vietnamese |
| last_indexed | 2026-08-12T01:01:25Z |
| publishDate | 2002 |
| publisher | PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers |
| record_format | ojs |
| resource_txt_mv | wwwtkeacomua/80/86ef316bdc082aa2a97b7512d4f86f80.pdf |
| spelling | oai:tkea.com.ua:article-13382026-08-11T15:29:27Z Contact-forming films of titanium borides and nitrides in gallium arsenide microwave devices Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах Ivanov, V. N. Konakova, R. V. Milenin, V. V. Stovpovoi, M. A. gallium arsenide microwave devices titanium borides titanium nitrides thermal stability ohmic contacts rectifying contacts арсенид галлия СВЧ-приборы бориды титана нитриды титана термостабильность омические контакты выпрямляющие контакты The thermal stability of ohmic and rectifying contact systems AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNₓ—Au, AuGe—TiBₓ—Au, AuGe—TiBₓ—Mo—Au, and Ti—Au, TiNₓ—Au, TiBₓ—Au to n-type gallium arsenide epitaxial structures with a thickness of 3–5 μm and a carrier concentration of (5...6)·1015 cm–3&nbsp;is considered. It is shown that contacts with TiNₓ, TaNₓ, and TiBₓ layers slightly change their parameters after heat treatment at 550°C for 1 hour. Contacts with Ti and Ta layers change their characteristics sharply during heat treatment at 550°C. Рассмотрена термостабильность омических и выпрямляющих контактных систем AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNх—Au, AuGe—TiBх—Au, AuGe—TiBх—Mo—Au и Ti—Au, TiNх—Au, TiBх—Au к эпитаксиальным структурам арсенида галлия&nbsp;n-типа толщиной 3–5 мкм и концентрацией носителей (5...6)·1015&nbsp;cм–3. Показано, что контакты со слоями TiNх, TaNх, TiBх&nbsp;мало изменяют параметры после термообработки при 550°C в течение 1 часа. Контакты со слоями Ti и Ta при термообработке 550°C резко изменяют свои характеристики. PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2002-12-30 Article Article Peer-reviewed Article application/pdf https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.54 Technology and design in electronic equipment; No. 6 (2002): Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi apparature; 54-56 Технологія та конструювання в електронній апаратурі; № 6 (2002): Технология и конструирование в электронной аппаратуре; 54-56 3083-6549 3083-6530 uk https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.54/1238 Copyright (c) 2002 Ivanov V. N., Konakova R. V., Milenin V. V., Stovpovoi M. A. http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
| spellingShingle | арсенид галлия СВЧ-приборы бориды титана нитриды титана термостабильность омические контакты выпрямляющие контакты Ivanov, V. N. Konakova, R. V. Milenin, V. V. Stovpovoi, M. A. Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах |
| title | Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах |
| title_alt | Contact-forming films of titanium borides and nitrides in gallium arsenide microwave devices |
| title_full | Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах |
| title_fullStr | Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах |
| title_full_unstemmed | Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах |
| title_short | Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах |
| title_sort | контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых свч-приборах |
| topic | арсенид галлия СВЧ-приборы бориды титана нитриды титана термостабильность омические контакты выпрямляющие контакты |
| topic_facet | gallium arsenide microwave devices titanium borides titanium nitrides thermal stability ohmic contacts rectifying contacts арсенид галлия СВЧ-приборы бориды титана нитриды титана термостабильность омические контакты выпрямляющие контакты |
| url | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.6.54 |
| work_keys_str_mv | AT ivanovvn contactformingfilmsoftitaniumboridesandnitridesingalliumarsenidemicrowavedevices AT konakovarv contactformingfilmsoftitaniumboridesandnitridesingalliumarsenidemicrowavedevices AT mileninvv contactformingfilmsoftitaniumboridesandnitridesingalliumarsenidemicrowavedevices AT stovpovoima contactformingfilmsoftitaniumboridesandnitridesingalliumarsenidemicrowavedevices AT ivanovvn kontaktoobrazuûŝieplenkiboridovinitridovtitanavarsenidgallievyhsvčpriborah AT konakovarv kontaktoobrazuûŝieplenkiboridovinitridovtitanavarsenidgallievyhsvčpriborah AT mileninvv kontaktoobrazuûŝieplenkiboridovinitridovtitanavarsenidgallievyhsvčpriborah AT stovpovoima kontaktoobrazuûŝieplenkiboridovinitridovtitanavarsenidgallievyhsvčpriborah |